【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于各类激光设备的偏转扫描装置。
技术介绍
目前，在各类激光设备如激光电视、激光投影仪、光刻机等产品中，对于激光光束的偏转扫描，从原理上有以下一些类型1、真空管振镜偏转它采用通电线圈在磁场中受力运动并带动偏转镜偏转光线，其结构由真空管玻璃壳、永久磁铁、偏转线圈、偏转反射镜、偏转轴、无磨损弹性振动轴承、支架、引线组成。这种装置偏转速度快、偏转角度大，性能可靠、工作稳定、偏转驱动功率小，但其结构复杂，周边装置的配合性较差，在固定方式上容易出现松动，其弧形表面易造成激光反射角的非线性失真。从制造工艺上看，这种结构的产品要求生产企业配备真空管生产线，设备投资成本很高，特别是现在半导体晶体管几乎全部替代了电子真空管的现实技术基础上，再组织生产这种结构的产品有较大的工艺难度。2、电机驱动光学镜片旋转偏转扫描现有技术中，另一种处于实用状态的激光偏转装置是电机驱动光学镜片旋转而对入射激光束实现偏转的技术方案，这种方案可以产生很大的偏转角，只要电机转速足够高，也可以保证高速扫描的要求。其原理结构如图1所示由互相垂直的两套同样的单元组成，包括第一电机101和第一反射镜...
【技术保护点】
一种激光光束磁电振镜式偏转扫描装置，其特征是：包括壳体（９）、磁电动圈组合体、振膜（１）、反射镜（４）；所述振膜罩设于所述壳体上，与所述壳体形成内腔，所述磁电动圈组合体设置于所述壳体上或壳体内，所述磁电动圈组合体具有振动端与所述振膜相连，所述反射镜设置于所述振膜表面。
【技术特征摘要】
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