暗视场物镜装置及使用于该装置的暗视场照明装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供的暗视场物镜装置，简便、且能够对观察对象区域照射充分的光量；该暗视场物镜装置设有呈圆环状地配置于物镜系统外侧的光源；而且，通过将来自该光源的出射光通过前端的子午面转换为平行光并出射的光学元件，转换为平行光并倾斜地照射于观察对象物；另外，以在该物镜装置的收纳物镜系统的内筒外周设置螺纹部、而安装于明视场显微镜的转换器为佳。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是，使用暗视场照明，接收其漫反射光或衍射光，进 行观察或检查的暗视场物镜及暗视场照明装置。
技术介绍
在检查集成电路线路(IC pattern)或液晶用玻璃上有无伤痕或灰尘等 异物时，常使用暗视场照明来观察，因为暗视场照明适合这类观察对象 物的观察。该暗视场照明，与对观察对象物进行以光轴方向上照射的明 视场照明不同，是从观察对象物的横向或倾斜方向进行照射、并将来自 观察对象物的衍射光或漫反射光收入物镜而进行观察的照明。该暗视场观察用的物镜镜筒，由装有接收来自观察对象物的衍射光 或漫反射光的物镜系统的内筒、和将暗视场照明用的平行光导入的导光 用的中空外筒构成(专利文献1)。专利文献1 专利文献2 专利文献3 专利文献4日本公开公报、特开平7-281098号 日本公开公报、特开2006-039418号 日本公开公报、特开2000-121949号 日本公开公报、特开2001-154103号
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如专利文献1所示，在将暗视场照明用的平行光从物镜系统的外侧 与物镜系统的光轴平行地导入的方式的暗视场物镜中，存在以下的问题。专利文献1中，在显微镜的光学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种暗视场物镜装置，在可放入物镜系统的同时，能够进行暗视场照明，其特征在于，设有　可放入上述物镜系统的内筒、和与上述内筒形成为同心圆的外筒，　其中，外筒内有呈环状地设置于上述内筒的外侧且出射照明光的光源、和将来自该光源的光通过子午面转换为平行光并倾斜地出射于观察对象物的光学元件。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王政，
申请(专利权)人：株式会社涉谷光学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]