一种放空废气中硅烷回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；增压机的入口与废气出口导通连接，用于对废气进行加压；增压机的第一出口与深冷装置的入口导通连接；深冷装置的气体出口与废气洗涤塔的入口导通连接，深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机进行增压后，再进入深冷装置进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔进行洗涤。本实用新型专利技术通过现将废气增压，再进入深冷装置进行冷凝，提高了废气的冷凝率。

【技术实现步骤摘要】
一种放空废气中硅烷回收系统
本技术涉及尾气回收
，尤其是涉及一种放空废气中硅烷回收系统。
技术介绍
在多晶硅生产过程中包括还原、冷氢化、精馏、回收等多处工序产生的废气均通过尾气罐后进入深冷装置冷凝回收部分氯硅烷后再进入废气洗涤塔。然而，由于深冷后的废气中含约3％左右的氯硅烷无法回收冷凝为液体，一方面造成氯硅烷损耗，另一方面会增加检修清堵的频次，排到大气中还会造成环境污染。因此，如何提高废气在深冷装置内的冷凝率是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是提供一种放空废气中硅烷回收系统，能够提高废气在深冷装置内的冷凝率。为了实现上述目的，本技术提供了如下方案：一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；所述增压机的入口与废气出口导通连接，用于对所述废气进行加压；所述增压机的第一出口与所述深冷装置的入口导通连接；所述深冷装置的气体出口与所述废气洗涤塔的入口导通连接，所述深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。在另一个具体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；/n所述增压机的入口与废气出口导通连接，用于对所述废气进行加压；/n所述增压机的第一出口与所述深冷装置的入口导通连接；/n所述深冷装置的气体出口与所述废气洗涤塔的入口导通连接，所述深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。/n

【技术特征摘要】
1.一种放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；
所述增压机的入口与废气出口导通连接，用于对所述废气进行加压；
所述增压机的第一出口与所述深冷装置的入口导通连接；
所述深冷装置的气体出口与所述废气洗涤塔的入口导通连接，所述深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。


2.根据权利要求1所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，所述增压机为压缩机。


3.根据权利要求2所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，还包括调节阀；
所述调节阀的入口与所述压缩机的第二出口导通连接；
所述调节阀的出口与所述压缩机的入口导通连接。


4.根据权利要求1所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，还包括输送泵；
所述输送泵的入口与所述深冷装置的出口导通连接，所述输送泵用于将所述液体硅烷输送至待使用设备中回收使用。


5.根据权利要求4所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，所述深冷装置的液体出口设置在所述深冷装置的底端。

【专利技术属性】
技术研发人员：官健，袁野，刘品强，汪云清，
申请(专利权)人：四川永祥多晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51