一种放空废气中硅烷回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；增压机的入口与废气出口导通连接，用于对废气进行加压；增压机的第一出口与深冷装置的入口导通连接；深冷装置的气体出口与废气洗涤塔的入口导通连接，深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机进行增压后，再进入深冷装置进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔进行洗涤。本实用新型专利技术通过现将废气增压，再进入深冷装置进行冷凝，提高了废气的冷凝率。

【技术实现步骤摘要】
一种放空废气中硅烷回收系统
本技术涉及尾气回收
，尤其是涉及一种放空废气中硅烷回收系统。
技术介绍
在多晶硅生产过程中包括还原、冷氢化、精馏、回收等多处工序产生的废气均通过尾气罐后进入深冷装置冷凝回收部分氯硅烷后再进入废气洗涤塔。然而，由于深冷后的废气中含约3％左右的氯硅烷无法回收冷凝为液体，一方面造成氯硅烷损耗，另一方面会增加检修清堵的频次，排到大气中还会造成环境污染。因此，如何提高废气在深冷装置内的冷凝率是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是提供一种放空废气中硅烷回收系统，能够提高废气在深冷装置内的冷凝率。为了实现上述目的，本技术提供了如下方案：一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；所述增压机的入口与废气出口导通连接，用于对所述废气进行加压；所述增压机的第一出口与所述深冷装置的入口导通连接；所述深冷装置的气体出口与所述废气洗涤塔的入口导通连接，所述深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。在另一个具体的实施方案中，所述增压机为压缩机。在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括调节阀；所述调节阀的入口与所述压缩机的第二出口导通连接；所述调节阀的出口与所述压缩机的入口导通连接。在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括输送泵；所述输送泵的入口与所述深冷装置的液体出口导通连接，所述输送泵用于将所述液体硅烷输送至待使用设备中回收使用。在另一个具体的实施方案中，所述深冷装置的出口设置在所述深冷装置的底端。在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括第一开关阀；所述第一开关阀的出口与所述压缩机的入口导通连接；所述第一开关阀的入口与所述废气出口导通连接。在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括第二开关阀；所述第二开关阀的入口与所述废气出口导通连接；所述第二开关阀的出口与所述第一开关阀的入口导通连接。在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括第三开关阀；所述第三开关阀的入口与所述压缩机的第二出口导通连接；所述第三开关阀的出口与所述调节阀的入口导通连接。在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括温度调节装置；所述温度调节装置用于控制所述深冷装置内的温度。在另一个具体的实施方案中，所述放空废气中硅烷回收系统还包括温度检测器；所述温度检测器置于所述深冷装置内，用于检测所述深冷装置内的温度。根据本技术的各个实施方案可以根据需要任意组合，这些组合之后所得的实施方案也在本技术范围内，是本技术具体实施方式的一部分。在本技术的一个具体实施例中，放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机进行增压后，再进入深冷装置进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔进行洗涤。本技术通过现将废气增压，再进入深冷装置进行冷凝，提高了废气的冷凝率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出新颖性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术提供的放空废气中硅烷回收系统的结构示意图。其中，图1：增压机1、深冷装置2、废气洗涤塔3、调节阀4、输送泵5、第一开关阀6、第二开关阀7、第三开关阀8。具体实施方式为了使本领域的技术人员更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图1和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。实施例一本技术提供了一种放空废气中硅烷回收系统。其中，放空废气中硅烷回收系统包括增压机1、深冷装置2和废气洗涤塔3。增压机1的入口与废气出口导通连接，用于对废气进行加压，需要说明的是，增压机1可以是任意能够实现增压的装置。增压机1的第一出口与深冷装置2的入口导通连接，用于将废气增压后排到深冷装置2中进行冷凝。深冷装置2的气体出口与废气洗涤塔3的入口导通连接，深冷装置2的液体出口用于排出液体硅烷回收使用，即废气在深冷装置2上冷凝成液体硅烷的那部分能够直接回收利用，而还是气体的部分则排到废气洗涤塔3中进行洗涤。放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机1进行增压后，再进入深冷装置2进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔3进行洗涤。本技术通过现将废气增压，再进入深冷装置2进行冷凝，提高了废气的冷凝率。实施例二在本技术提供的第二实施例中，本实施例中的放空废气中硅烷回收系统和实施例一中的放空废气中硅烷回收系统的结构类似，对相同之处就不再赘述了，仅介绍不同之处。在本实施例中，本技术具体公开了增压机1为压缩机，增压机1不限于为压缩机，也可以是其它增压装置。进一步地，本技术公开了放空废气中硅烷回收系统还包括调节阀4，调节阀4的入口与压缩机的第二出口导通连接，调节阀4的出口与压缩机的入口导通连接。即控制调节阀4的开度能够实现压缩机的入口处的压力调节。进一步地，本技术公开了放空废气中硅烷回收系统还包括输送泵5，输送泵5的入口与深冷装置2的液体出口导通连接，输送泵5用于将液体硅烷输送至待使用设备中回收使用，便于液体硅烷的输送。需要说明的是，也可以直接将待使用设备设置在深冷装置2的液体出口的下方，在高度差的作用下实现液体硅烷的输送。进一步地，本技术公开了深冷装置2的出口设置在深冷装置2的底端，便于将液体硅烷输出。具体地，可以设置深冷装置2的出口为锥形口，且沿着从上到下的方向出口直径逐渐变小。进一步地，本技术公开了放空废气中硅烷回收系统还包括第一开关阀6，第一开关阀6的出口与压缩机的入口导通连接，第一开关阀6的入口与废气出口导通连接。第一开关阀6能够实现对废气输入量的控制。进一步地，本技术公开了放空废气中硅烷回收系统还包括第二开关阀7，第二开关阀7的入口与废气出口导通连接，第二开关阀7的出口与第一开关阀6的入口导通连接。第二开关阀7的设置便于实现废气通断的控制。进一步地，本技术公开了放空废气中硅烷回收系统还包括第三开关阀8，第三开关阀8的入口与压缩机的第二出口导通连接，第三开关阀8的出口与调节阀4的入口导通连接。第三开关阀8能够在调节阀4关闭失效时，代替调节阀4关闭。进一步地，本技术公开了放空废气中硅烷回收系统还包括温度调节装置，温度调节装置用于控制深冷装置2内的温度。温度调节装置为任意调节深冷装置2内部温度的装置。进一步地，本技术公开了放空废气中硅烷回收系统还包括温度检测器，温度检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；/n所述增压机的入口与废气出口导通连接，用于对所述废气进行加压；/n所述增压机的第一出口与所述深冷装置的入口导通连接；/n所述深冷装置的气体出口与所述废气洗涤塔的入口导通连接，所述深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。/n

【技术特征摘要】
1.一种放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；
所述增压机的入口与废气出口导通连接，用于对所述废气进行加压；
所述增压机的第一出口与所述深冷装置的入口导通连接；
所述深冷装置的气体出口与所述废气洗涤塔的入口导通连接，所述深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。


2.根据权利要求1所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，所述增压机为压缩机。


3.根据权利要求2所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，还包括调节阀；
所述调节阀的入口与所述压缩机的第二出口导通连接；
所述调节阀的出口与所述压缩机的入口导通连接。


4.根据权利要求1所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，还包括输送泵；
所述输送泵的入口与所述深冷装置的出口导通连接，所述输送泵用于将所述液体硅烷输送至待使用设备中回收使用。


5.根据权利要求4所述的放空废气中硅烷回收系统，其特征在于，所述深冷装置的液体出口设置在所述深冷装置的底端。

【专利技术属性】
技术研发人员：官健，袁野，刘品强，汪云清，
申请(专利权)人：四川永祥多晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51