【技术实现步骤摘要】
一种还原炉电极窝炉灰清理装置
本技术涉及多晶硅生产
,特别涉及一种还原炉电极窝炉灰清理装置。
技术介绍
在多晶硅生长之前,将硅芯插在石墨卡件上,石墨卡件套在铜电极上,硅芯按照一定的电极连接方式进行安装,安装完成后,按照工艺程序进行置换、击穿、进料,从而发生气相沉积反应,反应产生的晶粒沉积在硅芯上,经过规定时间生长后形成多晶硅棒,多晶硅生长过程中会产生一定的炉灰和不定型多晶硅会附着在还原炉底盘上,当一个生产周期完成后,需将硅棒移出底盘,并对底盘、电极等进行人工清扫、擦洗,由于电机与底盘用陶瓷环隔离,有一定缝隙,在清理底盘炉灰时,部分炉灰进入电机与底盘陶瓷环隔离夹层之中,出现瓷环垫高,电机导电、停炉、打火、运行失败等问题。同时,人工清扫费时费力,使多晶硅的生产效率大大降低。
技术实现思路
本技术提供一种还原炉电极窝炉灰清理的机械装置,为实现上述目的,本技术采用以下技术方案:一种还原炉电极窝炉灰清理装置,包括移动小车,其特征在于所述移动小车上设置有进风装置,清理装置和收尘装置,所述清理装置为桶钻,所述桶钻上设 ...
【技术保护点】
1.一种还原炉电极窝炉灰清理装置,包括移动小车,其特征在于所述移动小车上设置有进风装置,清理装置和收尘装置,所述清理装置为桶钻。/n
【技术特征摘要】
1.一种还原炉电极窝炉灰清理装置,包括移动小车,其特征在于所述移动小车上设置有进风装置,清理装置和收尘装置,所述清理装置为桶钻。
2.如权利要求1所述的一种还原炉电极窝炉灰清理装置,其特征在于还包括防尘罩,所述清理装置设置于所述防尘罩内。
3.如权利要求2所述的一种还原炉电极窝炉灰清理装置,其特征于所述进风装置与所述防尘罩相连,所述收尘装置与所述防尘罩相连。
4.如权利要求3所述的一种还原炉电极窝炉灰清理装置,其特征于所述桶钻上设有定位装置,达到设定位...
【专利技术属性】
技术研发人员:张福海,刘义科,朱唐茂,刘蕾,宋桂菊,宗冰,蔡延国,
申请(专利权)人:亚洲硅业青海股份有限公司,青海省亚硅硅材料工程技术有限公司,
类型:新型
国别省市:青海;63
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