减振装置制造方法及图纸

减振装置具备：壳体(1)；驱动侧致动器(4)，其具有驱动侧固定件(2)和驱动侧可动件(3)，并且与壳体(1)连接；减振侧致动器(7)，其具有减振侧固定件(5)和减振侧可动件(6)并且与壳体(1)连接；第一信号运算部(8)，其基于控制指令生成驱动侧致动器(4)的驱动信号；第二信号运算部(9)，其基于从振动抑制指令减去位移抑制指令而得到的信号来生成减振侧致动器(7)的驱动信号，所述振动抑制指令是用于通过由于减振侧致动器(7)的驱动而产生的壳体(1)的振动成分来减小或抵消由于驱动侧致动器(4)的驱动而产生的壳体(1)的固有振动成分的指令，所述位移抑制指令是用于在驱动侧致动器(4)的急动度从大时变化为小的情况下抑制减振侧可动件(6)的位移的指令。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】减振装置
本专利技术涉及一种控制与壳体连接的致动器来抑制壳体的振动的减振装置。
技术介绍
如今，在半导体制造装置、机床和搬送装置等各种装置中使用通过被控制器控制动作来使工件、产品等物体沿规定方向移动的致动器。具有想要尽可能缩短工件的移动花费的时间以在短时间内制造更多的产品这个要求。为了满足要求，需要使致动器的可动部高速地移动，动作时的加速度越大则在装置产生越大的反作用力(起振力)。尤其在加速度大的线性马达中，由于动作时的推力大，因此使物体移动时的加速时、减速时的起振力大。在该情况下，产生工件与装置的相对位置精度恶化、或由于振动传递至设置有装置的地面而使其它装置振动这样的问题。针对该课题，在以往的加工装置中，在支承装置中配置块驱动装置。通过利用控制器驱动配置的块驱动装置，抑制由于水平移动部的移动而在加工装置产生的振动(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2003-181739号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在以往的技术中具有如以下的课题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减振装置，其特征在于，具备：/n壳体；/n驱动侧致动器，其具有驱动侧固定件和驱动侧可动件，并且所述驱动侧致动器与所述壳体连接；/n减振侧致动器，其具有减振侧固定件和减振侧可动件，并且所述减振侧致动器与所述壳体连接；/n第一信号运算部，其基于控制指令来生成驱动侧致动器的驱动信号；以及/n第二信号运算部，其基于从振动抑制指令减去位移抑制指令而得到的信号来生成所述减振侧致动器的驱动信号，所述振动抑制指令是用于通过由于所述减振侧致动器的驱动而产生的所述壳体的振动成分减小或抵消由于所述驱动侧致动器的驱动而产生的所述壳体的固有振动成分的指令，所述位移抑制指令是用于在所述驱动侧致动器的急动度从大时变...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180831 JP 2018-1632331.一种减振装置，其特征在于，具备：
壳体；
驱动侧致动器，其具有驱动侧固定件和驱动侧可动件，并且所述驱动侧致动器与所述壳体连接；
减振侧致动器，其具有减振侧固定件和减振侧可动件，并且所述减振侧致动器与所述壳体连接；
第一信号运算部，其基于控制指令来生成驱动侧致动器的驱动信号；以及
第二信号运算部，其基于从振动抑制指令减去位移抑制指令而得到的信号来生成所述减振侧致动器的驱动信号，所述振动抑制指令是用于通过由于所述减振侧致动器的驱动而产生的所述壳体的振动成分减小或抵消由于所述驱动侧致动器的驱动而产生的所述壳体的固有振动成分的指令，所述位移抑制指令是用于在所述驱动侧致动器的急动度从大时变化为小的情况下抑制所述减振侧可动件的位移的指令。


2.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，
所述减振侧可动件的质量为所述驱动侧可动件的质量以下。


3.根据权利要求1或2所述的减振装置，其特征在于，
所述控制指令为位置指令或速度指令。


4.根据权利要求1至3中的任一项所述的减振装置，其特征在于，
所述第一信号运算部基于所述控制指令计算用于生成所述驱动侧致动器的驱动信号的驱动部控制指令，
所述第二信号运算部具备滤波器处理部，所述滤波器处理部包括基于所述减振装置的机械常数的第一滤波器处理部和第二滤波器处理部，
所述第二信号运算部通过使所述控制指令或所述驱动部控制指令通过所述第一滤波器处理部来计算所述振动抑制指令，通过使所述振动抑制指令通过所述第二滤波器处理部来计算所述位移抑制指令，基于从所述振动抑制指令减去所述振动抑制指令而...

【专利技术属性】
技术研发人员：古川晃，藤原弘，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP