惯性传感器、电子设备及移动体制造技术

提供惯性传感器、电子设备及移动体。当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴和Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及突起，在从所述Z轴方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，其中所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，当所述可动体绕所述摆动轴相对于所述基板摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。

【技术实现步骤摘要】
惯性传感器、电子设备及移动体
本专利技术涉及惯性传感器、电子设备及移动体。
技术介绍
例如，在专利文献1中记载的惯性传感器是能够检测Z轴方向的加速度的传感器，其具有：基板、绕沿Y轴方向的摆动轴相对于基板进行跷跷板摆动的可动体、以及设置于基板的检测电极。此外，可动体具有隔着摆动轴设置并绕摆动轴的旋转力矩相互不同的第一可动部及第二可动部。此外，检测电极具有与第一可动部相对地配置于基板的第一检测电极和与第二可动部相对地配置于基板的第二检测电极。在这种构成的惯性传感器中，如果施加Z轴方向的加速度，则可动体绕摆动轴进行跷跷板摆动，伴随于此，第一可动部与第一检测电极之间的静电电容和第二可动部与第二检测电极之间的静电电容相互反相地变化。因此，能够基于该静电电容的变化来检测Z轴方向的加速度。此外，在专利文献1中记载的惯性传感器具有止动件，该止动件设置于基板，用于在可动体过度地进行跷跷板摆动时通过与可动体接触来限制可动体进一步的位移。此外，止动件具有第一止动件和与第一止动件相比位于远离摆动轴的侧的第二止动件。专利文献1：日本特开2015-031644号公报。但是，在专利文献1的惯性传感器中，第一止动件与第二止动件高度相同。因此，可动体如果过度地进行跷跷板摆动，则首先与距摆动轴为远端侧的第二止动件接触，在其冲击下向基板侧挠曲而与近端侧的第一止动件接触。由此，如果可动体先与远端侧的第二止动件接触，则接触时的冲击容易变大，在其冲击下可动体和/或基板容易破损。
技术实现思路
实施方式记载的惯性传感器的特征在于，当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴和Z轴时，具有：基板；可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及突起，在从所述Z轴方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，其中所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，当所述可动体绕所述摆动相对于所述基板轴摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。附图说明图1是示出第一实施方式的惯性传感器的俯视图。图2是图1中的A-A线剖视图。图3是示出惯性传感器所具有的突起的俯视图。图4是图3中的B-B线剖视图，是用于说明突起的功能的剖视图。图5是图3中的B-B线剖视图，是用于说明突起的功能的剖视图。图6是示出第二实施方式的惯性传感器的俯视图。图7是示出第三实施方式的惯性传感器的俯视图。图8是示出第四实施方式的惯性传感器的剖视图。图9是示出第五实施方式的作为电子设备的智能手机的俯视图。图10是示出第六实施方式的作为电子设备的惯性计测装置的分解立体图。图11是图10所示的惯性计测装置所具有的基板的立体图。图12是示出第七实施方式的作为电子设备的移动体位置测定装置的整体系统的框图。图13是示出图12所示的移动体位置测定装置的作用的图。图14是示出第八实施方式的移动体的立体图。符号说明1…惯性传感器，2…基板，21…凹部，22…安装头，25、26、27…槽，3…传感器元件，31…固定部，32…可动体，321…第一可动部，322…第二可动部，324…开口，325…贯通孔，33…摆动梁，5…盖，51…凹部，59…玻璃料，6…突起，61…第一突起，611…近端侧突起，612…远端侧突起，62…第二突起，621…近端侧突起，622…远端侧突起，75、76、77…布线，8…电极，81…第一检测电极，82…第二检测电极，83…第一虚设电极，84…第二虚设电极，89…绝缘膜，1200…智能手机，1208…显示部，1210…控制电路，1500…汽车，1502…控制电路，1510…系统，2000…惯性计测装置，2100…外壳，2110…螺纹孔，2200…接合部件，2300…传感器模块，2310…内壳，2311…凹部，2312…开口，2320…基板，2330…连接器，2340x、2340y、2340z…角速度传感器，2350…加速度传感器，2360…控制IC，3000…移动体位置测定装置，3100…惯性计测装置，3110…加速度传感器，3120…角速度传感器，3200…运算处理部，3300…GPS接收部，3400…接收天线，3500…位置信息获取部，3600…位置合成部，3700…处理部，3800…通信部，3900…显示部，Acc…箭头，Az…加速度，Ca、Cb…静电电容，F…假想平坦面，J…摆动轴，K…切口，P…电极焊盘，P1、P2…接触部，Rx…假想直线，Rx1…第一假想直线，Rx2…第二假想直线，S…收纳空间，T11、T12…高度，θ…倾斜度。具体实施方式下面，基于附图所示的实施方式，对本专利技术的惯性传感器、电子设备及移动体进行详细说明。第一实施方式图1是示出第一实施方式的惯性传感器的俯视图。图2是图1中的A-A线剖视图。图3是示出惯性传感器所具有的突起的俯视图。图4及图5分别是图3中的B-B线剖视图，是用于说明突起的功能的剖视图。以下，为了便于说明，将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴及Z轴。此外，将沿X轴的方向、即与X轴平行的方向也称为“X轴方向”，将沿Y轴的方向、即与Y轴平行的方向也称为“Y轴方向”，将沿Z轴的方向、即与Z轴平行的方向也称为“Z轴方向”。此外，将各轴的箭头方向前端侧也称为“正侧”，将相反侧也称为“负侧”。此外，将Z轴方向正侧也称为“上”，将Z轴方向负侧也称为“下”。此外，在本申请说明书中“正交”是指从技术常识来看能够视为正交的情况，但是具体地说除了包括以90°相交的情况以外，也包括从90°稍许倾斜的角度、例如在90°±5°左右的范围内相交的情况。同样，“平行”也是从技术常识来看能够视为平行的情况，但是具体地说除了两者所成的角度为0°的情况以外，也包括具有±5°左右的范围内的差的情况。图1所示的惯性传感器1是检测Z轴方向的加速度Az的加速度传感器。惯性传感器1具有基板2、配置在基板2上的传感器元件3、以及与基板2接合并覆盖传感器元件3的盖5。如图1所示，基板2具有在上表面侧开口的凹部21。此外，在从Z轴方向的俯视观察时，凹部21在内侧内包传感器元件3，并且形成为比传感器元件3大。此外，如图2所示，基板2具有从凹部21的底面突出的安装头22。并且，在安装头22的上表面接合有传感器元件3。此外，如图1所示，基板2具有在其上表面开口的槽25、26、27。例如能够使用由包含为Na+等可动离子的碱金属离子的玻璃材料、例如派热克斯玻璃、TEMPAX玻璃(均为注册商标)那样的硼硅酸玻璃构成的玻璃基板作为基板2。但是，作为基板2没有特别限制，例如也可以使用硅基板、陶瓷基板。此外，如图1所示，在基板2设置有电极8。电极8配置在凹部21的底面，在俯视观察时具有与传感器元件3重叠的第一检测电极81、第二检测电极82、第一虚设电极83及第二虚设电极84。此外，基板2具有配置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种惯性传感器，其特征在于，/n当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴及Z轴时，具有：/n基板；/n可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及/n突起，在从所述Z轴的方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，/n所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，/n当所述可动体绕所述摆动轴相对于所述基板摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。/n

【技术特征摘要】
20190626 JP 2019-1183871.一种惯性传感器，其特征在于，
当将相互正交的三个轴作为X轴、Y轴及Z轴时，具有：
基板；
可动体，绕沿所述Y轴的摆动轴摆动；以及
突起，在从所述Z轴的方向的俯视观察时与所述可动体重叠，并从所述基板向所述可动体侧突出设置，
所述突起具有近端侧突起和位于相比于所述近端侧突起远离所述摆动轴的侧的远端侧突起，
当所述可动体绕所述摆动轴相对于所述基板摆动时，所述近端侧突起及所述远端侧突起同时与所述可动体接触或在所述近端侧突起与所述可动体接触后所述远端侧突起与所述可动体接触。


2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
在沿所述摆动轴的方向上分开设置有多个所述近端侧突起。


3.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，
在沿所述摆动轴的方向上分开设置有多个所述远端侧突起。


4.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，
在从所述Z轴的方向的俯视观察时，所述远端侧突起设置在与一个所述近端侧突起相交且沿所述X轴的方向延伸的第一假想直线和与另一个所述近端侧突起相交且沿所述X轴的方向延伸的第二假想直线之间。


5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，
当所述可动体与所述近端侧突起接触时，所述可动体的所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP