【技术实现步骤摘要】
用于压力传感器的陶瓷垫片及压力传感器
本申请涉及仪表
,特别是涉及一种用于压力传感器的陶瓷垫片及压力传感器。
技术介绍
在自动化测量及控制领域,经常需要使用压力传感器来测量液体和气体类介质的压力。现有的压力传感器已逐渐从机械量传感器发展到MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem,微机电系统)压力传感器阶段。目前的封装结构集中在两大类形式,一种是耐受较高压力的圆柱形,这种形式轴向安装距离较长,另外一种是安装在电路板上的器件形式。针对圆柱形的压力传感器,其内通用的陶瓷垫片外形两端均为平面,端面上分布有数量不等的圆形引针通孔与芯片安放通孔(腔体),如图1和2所示,其中,图1内陶瓷垫片在进行压焊时,金线焊接在PCB电路上,对焊接的位置精度要求较低,但陶瓷垫片制作成本较高,为保证引针与PCB电路有效连接,需先将引针与PCB电路焊接,操作工艺复杂。图2内陶瓷垫片在进行压焊时,金线焊接在引针端部,对引针端面平行度与焊接设备定位精度要求较高,且陶瓷垫片制作成本低,操作工艺简单。然而,上述两 ...
【技术保护点】
1.一种用于压力传感器的陶瓷垫片,其特征在于,包括:/n圆柱形的陶瓷基体;/n在所述陶瓷基体中心嵌有贯穿该陶瓷基体的腔体;在所述腔体周围均匀分布多个对称的引针孔,所述引针孔的端面低于所述陶瓷基体的端面,所述引针孔两两之间通过陶瓷基体凸起形成隔档的隔离壁。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于压力传感器的陶瓷垫片,其特征在于,包括:
圆柱形的陶瓷基体;
在所述陶瓷基体中心嵌有贯穿该陶瓷基体的腔体;在所述腔体周围均匀分布多个对称的引针孔,所述引针孔的端面低于所述陶瓷基体的端面,所述引针孔两两之间通过陶瓷基体凸起形成隔档的隔离壁。
2.根据权利要求1所述的用于压力传感器的陶瓷垫片,其特征在于,所述腔体根据是否安装PCB电路板或芯片调节腔体大小和形状。
3.根据权利要求1所述的用于压力传感器的陶瓷垫片,其特征在于,所述引针孔的端面高度低于所述陶瓷基体的端面高度。
4.根据权利要求1或3所述的用于压力传感器的陶瓷垫片,其特征在于,所述隔离壁的端面与所述陶瓷基体的端面高度相同。
5.根据权利要求1或3所述的用于压力传感器的陶瓷垫片,其特征在于,所述腔体的端面与引针...
【专利技术属性】
技术研发人员:聂绍忠,许明洋,
申请(专利权)人:重庆四联传感器技术有限公司,
类型:新型
国别省市:重庆;50
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