一种基于微波谐振的薄膜检测装置制造方法及图纸

技术编号:26872654 阅读:20 留言:0更新日期:2020-12-29 13:04
本实用新型专利技术公开了一种基于微波谐振的薄膜检测装置,属于薄膜生产领域。包括同步传输框架、设置在同步传输框架顶端并与同步传输框架滑动连接的上检测架、设置在同步传输框架底端并与同步传输框架滑动连接的下检测架以及设置在上检测架与下检测架之间的薄膜检测间隙,本实用新型专利技术实现了薄膜物理参数动态测量,圆谐振腔上下两部分间隙和同轴度的微米级调节,并采用微波谐振方法同时测量薄膜厚度和水份浓度精度高,测量范围广。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微波谐振的薄膜检测装置
本技术涉及薄膜生产领域,具体涉及一种基于微波谐振的薄膜检测装置。
技术介绍
为了确保薄膜生产高效、经济、高质量,生产中物理参数的动态测量非常重要。传统生产中薄膜物理参量动态监测使用两种方法检测,一种是辐射法,另一种是光学法。辐射法会对环境造成辐射污染,对生产人员造成伤害,生产成本增加;光学法虽无污染,但是检测范围和精度受限,很难满足生产需要。如何高效、经济、安全的满足薄膜生产中物理参数的动态测量,是制约薄膜生产的一项关键技术。尤其是满足智能生产需求尤为迫切。微波可以用于薄膜物理参数动态测量早有定论,而且很多文献报道,但用于生产实际中仅只有微波水份检测产品,其他未见报道。薄膜生产中,人们第一关心的物理参量是厚度或单位平方的重量,第二是水份浓度,目前薄膜生产中厚度的动态测量主要采用辐射法少量采用光学法,薄膜厚度和水份浓度使用同一装置完成动态测量未见报道。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足,提出了一种基于微波谐振的薄膜检测装置,具体技术方案如下:一种基于微波谐振的薄膜检测装置,包括同步传输框架、设置在同步传输框架顶端并与同步传输框架滑动连接的上检测架、设置在同步传输框架底端并与同步传输框架滑动连接的下检测架以及设置在上检测架与下检测架之间的薄膜检测间隙;上检测架包括设置在同步传输框架顶端的上微调架、设置在上微调架内的上谐振腔、设置在上谐振腔内的谐振发生器以及设置在上微调架底侧的上导纸板,下检测架包括设置在同步传输框架底端的下微调架、设置在下微调架内的下谐振腔、设置在下谐振腔内的谐振接收器以及设置在下微调架顶侧的下导纸板。作为优选,上微调架包括设置在同步传输框架顶端的上安装板、设置在上安装板底侧的多组上支架板以及设置在上支架板上并与上支架板铰接的上挂耳板;上支架板上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔,上角度调节孔的旋转圆心与上支架板和上挂耳板的铰接点重合,上支架板上设有多组与上角度调节孔对应的上固定孔,上固定孔内设有上固定螺栓,上固定螺栓依次穿过上角度调节孔和上固定孔并将上支架板和上挂耳板的相对位置固定。作为优选,下微调架包括设置在同步传输框架底端的下安装板、设置在下安装板底侧的多组下支架板以及设置在下支架板上并与下支架板铰接的下挂耳板;下支架板上设有多组呈弧形分布的下角度调节孔,下角度调节孔的旋转圆心与下支架板和下挂耳板的铰接点重合,下支架板下设有多组与下角度调节孔对应的下固定孔,下固定孔内设有下固定螺栓,下固定螺栓依次穿过下角度调节孔和下固定孔并将下支架板和下挂耳板的相对位置固定。作为优选,下导纸板上设有与下导纸板垂直设置的涡流传感器,涡流传感器的测量端朝向上导纸板设置。作为优选,上导纸板以及下导纸板边侧并位于进纸侧和出纸侧分别设有上导纸辊以及下导纸辊。作为优选,同步传输框架包括外框架以及设置在外框架内的传输装置,外框架包括上梁、与上梁平行设置的下梁、分别设置在上梁两侧并位于上梁与下梁之间的左侧梁和右侧梁;传输装置包括设置在左侧梁上的输送电机、设置在右侧梁上的主动轮、设置在输送电机与主动轮之间的传动装置、分别设置在上梁和下梁靠近右侧梁一端的从动轮、分别设置在上梁和下梁靠近左侧梁一端的变向轮、分别设置在上梁和下梁内并依次绕过主动轮、变向轮以及从动轮的上传输带和下传输带,上微调架设置在上梁上并与上传输带下带面连接,下微调架设置在下梁内并与下传输带上带面连接。作为优选,上梁以及下梁内侧均设有高精度基准面。作为优选,上梁上设有行程开关。作为优选,左侧梁内侧设有分别与上微调架和下微调架平行设置的测距千分表。作为优选,上微调架和下微调架内均设有安装架、安装架上设有分别与上传输带和下传输带啮合的同步压板,同步压板上设有分别与上传输带和下传输带啮合的同步齿。本技术具有以下有益效果:本技术以传输框架顶端和底端两个端面为基准面,并以基准面为基准在传输框架上安装与其滑动连接的上微调架和下微调架,并分别固定上谐振腔和下谐振腔。并且本技术通过多组上固定螺栓配合上角度调节孔,对上支架板和上挂耳板的相对旋转角度进行固定,同时通过不同位置的上固定孔与上角度调节孔配合进行微米级的角度调节,完成谐振腔上下断面与纸张的角度调节,提高了调节精度以及微波测量过程中的测量精度。同时本技术使上微调架和下微调架能够以相同方向以及相同速度运动,进而跟随薄膜位置变换进行移动,避免了工作人员较长的生产准备时间以及校准时间,减少了工作人员工作量并提高了工作效率。本技术实现了薄膜物理参数动态测量,圆谐振腔上下两部分间隙和同轴度的微米级调节,并采用微波谐振方法同时测量薄膜厚度和水份浓度精度高,测量范围广。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的侧视图;图3为本技术的局部结构示意图;图4为图2中A处的局部放大图;图5为图2中B处的局部放大图;图6为本技术的正视图;图7为本技术的剖视图;图8为本技术中同步传输框架的结构示意图;图9为图8中C处的局部放大图。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本技术,并非用于限定本技术的范围。实施例为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不倡要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连通'、”相连”、“连接“应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面结合附图,对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下,下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。参见图1到图9,本技术包括同步传输框架1、设置在同步传输框架1顶端并与同步传输框架1滑动连接的上检测架2、设置在同步传输框架1底端并与同步传输框架1滑动连接的下检测架3以及设置在上检测架2与下检测架3之间的薄膜检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,包括同步传输框架(1)、设置在同步传输框架(1)顶端并与同步传输框架(1)滑动连接的上检测架(2)、设置在同步传输框架(1)底端并与同步传输框架(1)滑动连接的下检测架(3)以及设置在上检测架(2)与下检测架(3)之间的薄膜检测间隙(4);/n所述上检测架(2)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上微调架(21)、设置在上微调架(21)内的上谐振腔(22)、设置在上谐振腔(22)内的谐振发生器(23)以及设置在上微调架(21)底侧的上导纸板(24),所述下检测架(3)包括设置在同步传输框架(1)底端的下微调架(31)、设置在下微调架(31)内的下谐振腔(32)、设置在下谐振腔(32)内的谐振接收器(33)以及设置在下微调架(31)顶侧的下导纸板(34)。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,包括同步传输框架(1)、设置在同步传输框架(1)顶端并与同步传输框架(1)滑动连接的上检测架(2)、设置在同步传输框架(1)底端并与同步传输框架(1)滑动连接的下检测架(3)以及设置在上检测架(2)与下检测架(3)之间的薄膜检测间隙(4);
所述上检测架(2)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上微调架(21)、设置在上微调架(21)内的上谐振腔(22)、设置在上谐振腔(22)内的谐振发生器(23)以及设置在上微调架(21)底侧的上导纸板(24),所述下检测架(3)包括设置在同步传输框架(1)底端的下微调架(31)、设置在下微调架(31)内的下谐振腔(32)、设置在下谐振腔(32)内的谐振接收器(33)以及设置在下微调架(31)顶侧的下导纸板(34)。


2.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述上微调架(21)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上安装板(211)、设置在上安装板(211)底侧的多组上支架板(212)以及设置在上支架板(212)上并与上支架板(212)铰接的上挂耳板(213);
所述上支架板(212)上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔(214),所述上角度调节孔(214)的旋转圆心与上支架板(212)和上挂耳板(213)的铰接点重合,所述上支架板(212)上设有多组与上角度调节孔(214)对应的上固定孔(215),所述上固定孔(215)内设有上固定螺栓(216),所述上固定螺栓(216)依次穿过上角度调节孔(214)和上固定孔(215)并将上支架板(212)和上挂耳板(213)的相对位置固定。


3.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述下微调架(31)包括设置在同步传输框架(1)底端的下安装板(311)、设置在下安装板(311)底侧的多组下支架板(312)以及设置在下支架板(312)上并与下支架板(312)铰接的下挂耳板(313);
所述下支架板(312)上设有多组呈弧形分布的下角度调节孔(314),所述下角度调节孔(314)的旋转圆心与下支架板(312)和下挂耳板(313)的铰接点重合,所述下支架板(312)下设有多组与下角度调节孔(314)对应的下固定孔(315),所述下固定孔(315)内设有下固定螺栓(316),所述下固定螺栓(316)依次穿过下角度调节孔(314)和下固定孔(315)并将下支架板(312)和下挂耳板(313)的相对位置固定。


4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:谢明徐程松刘伟雄张杨肖伟
申请(专利权)人:绵阳人众仁科技有限公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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