【技术实现步骤摘要】
一种基于微波谐振的薄膜检测装置
本技术涉及薄膜生产领域,具体涉及一种基于微波谐振的薄膜检测装置。
技术介绍
为了确保薄膜生产高效、经济、高质量,生产中物理参数的动态测量非常重要。传统生产中薄膜物理参量动态监测使用两种方法检测,一种是辐射法,另一种是光学法。辐射法会对环境造成辐射污染,对生产人员造成伤害,生产成本增加;光学法虽无污染,但是检测范围和精度受限,很难满足生产需要。如何高效、经济、安全的满足薄膜生产中物理参数的动态测量,是制约薄膜生产的一项关键技术。尤其是满足智能生产需求尤为迫切。微波可以用于薄膜物理参数动态测量早有定论,而且很多文献报道,但用于生产实际中仅只有微波水份检测产品,其他未见报道。薄膜生产中,人们第一关心的物理参量是厚度或单位平方的重量,第二是水份浓度,目前薄膜生产中厚度的动态测量主要采用辐射法少量采用光学法,薄膜厚度和水份浓度使用同一装置完成动态测量未见报道。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足,提出了一种基于微波谐振的薄膜检测装置,具体技术方案如下:一种基于微波谐振的薄膜检测装置,包括同步传输框架、设置在同步传输框架顶端并与同步传输框架滑动连接的上检测架、设置在同步传输框架底端并与同步传输框架滑动连接的下检测架以及设置在上检测架与下检测架之间的薄膜检测间隙;上检测架包括设置在同步传输框架顶端的上微调架、设置在上微调架内的上谐振腔、设置在上谐振腔内的谐振发生器以及设置在上微调架底侧的上导纸板,下检测架包括设置在同步传输框架底端的下微调架、设置在下微调架内的下谐振腔、设 ...
【技术保护点】
1.一种基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,包括同步传输框架(1)、设置在同步传输框架(1)顶端并与同步传输框架(1)滑动连接的上检测架(2)、设置在同步传输框架(1)底端并与同步传输框架(1)滑动连接的下检测架(3)以及设置在上检测架(2)与下检测架(3)之间的薄膜检测间隙(4);/n所述上检测架(2)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上微调架(21)、设置在上微调架(21)内的上谐振腔(22)、设置在上谐振腔(22)内的谐振发生器(23)以及设置在上微调架(21)底侧的上导纸板(24),所述下检测架(3)包括设置在同步传输框架(1)底端的下微调架(31)、设置在下微调架(31)内的下谐振腔(32)、设置在下谐振腔(32)内的谐振接收器(33)以及设置在下微调架(31)顶侧的下导纸板(34)。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,包括同步传输框架(1)、设置在同步传输框架(1)顶端并与同步传输框架(1)滑动连接的上检测架(2)、设置在同步传输框架(1)底端并与同步传输框架(1)滑动连接的下检测架(3)以及设置在上检测架(2)与下检测架(3)之间的薄膜检测间隙(4);
所述上检测架(2)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上微调架(21)、设置在上微调架(21)内的上谐振腔(22)、设置在上谐振腔(22)内的谐振发生器(23)以及设置在上微调架(21)底侧的上导纸板(24),所述下检测架(3)包括设置在同步传输框架(1)底端的下微调架(31)、设置在下微调架(31)内的下谐振腔(32)、设置在下谐振腔(32)内的谐振接收器(33)以及设置在下微调架(31)顶侧的下导纸板(34)。
2.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述上微调架(21)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上安装板(211)、设置在上安装板(211)底侧的多组上支架板(212)以及设置在上支架板(212)上并与上支架板(212)铰接的上挂耳板(213);
所述上支架板(212)上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔(214),所述上角度调节孔(214)的旋转圆心与上支架板(212)和上挂耳板(213)的铰接点重合,所述上支架板(212)上设有多组与上角度调节孔(214)对应的上固定孔(215),所述上固定孔(215)内设有上固定螺栓(216),所述上固定螺栓(216)依次穿过上角度调节孔(214)和上固定孔(215)并将上支架板(212)和上挂耳板(213)的相对位置固定。
3.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述下微调架(31)包括设置在同步传输框架(1)底端的下安装板(311)、设置在下安装板(311)底侧的多组下支架板(312)以及设置在下支架板(312)上并与下支架板(312)铰接的下挂耳板(313);
所述下支架板(312)上设有多组呈弧形分布的下角度调节孔(314),所述下角度调节孔(314)的旋转圆心与下支架板(312)和下挂耳板(313)的铰接点重合,所述下支架板(312)下设有多组与下角度调节孔(314)对应的下固定孔(315),所述下固定孔(315)内设有下固定螺栓(316),所述下固定螺栓(316)依次穿过下角度调节孔(314)和下固定孔(315)并将下支架板(312)和下挂耳板(313)的相对位置固定。
4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢明,徐程松,刘伟雄,张杨,肖伟,
申请(专利权)人:绵阳人众仁科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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