一种用于薄膜检测的微米级调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于薄膜检测的微米级调节装置，属于薄膜检测领域。包括传输框架、设置在传输框架顶端的上固定架以及设置在传输框架底端的下固定架；上固定架包括设置在传输框架顶端并与传输框架滑动连接的上安装板、设置在上安装板底侧的多组上支架板、设置在上支架板上并与上支架板铰接的上挂耳板、设置在上挂耳板底侧的上导纸板以及设置在上导纸板内侧的上谐振腔；本实用新型专利技术通过不同位置的上固定孔与上角度调节孔配合进行微米级的角度调节，完成谐振腔上下断面与纸张的角度调节，提高了调节精度以及微波测量过程中的测量精度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于薄膜检测的微米级调节装置
本技术涉及薄膜检测
，具体涉及一种用于薄膜检测的微米级调节装置。
技术介绍
为了确保薄膜生产高效、经济、高质量，生产中物理参数的动态测量非常重要。传统生产中薄膜物理参量动态监测使用两种方法检测，一种是辐射法，另一种是光学法。辐射法会对环境造成辐射污染，对生产人员造成伤害，生产成本增加；光学法虽无污染，但是检测范围和精度受限，很难满足生产需要。如何高效、经济、安全的满足薄膜生产中物理参数的动态测量，是制约薄膜生产的一项关键技术。尤其是满足智能生产需求尤为迫切。微波可以用于薄膜物理参数动态测量早有定论，而且很多文献报道，但用于生产实际中仅只有微波水份检测产品，其他未见报道。薄膜生产中，人们第一关心的物理参量是厚度或单位平方的重量，第二是水份浓度，目前薄膜生产中厚度的动态测量主要采用辐射法少量采用光学法，薄膜厚度和水份浓度使用同一装置完成动态测量未见报道。采用微波谐振腔方法同时测量薄膜厚度和水份浓度精度高，范围广，但是对上下两个端面的平行度和上下两部分间隙提出很高的精度要求，上下间隙变化0.1mm,被测薄膜厚度变化20%；同轴度变化0.1mm,被测薄膜厚度变化15%，但现有装置很难实现如此高精度的调节。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提出了一种用于薄膜检测的微米级调节装置，具体技术方案如下：一种用于薄膜检测的微米级调节装置，包括传输框架、设置在传输框架顶端的上固定架以及设置在传输框架底端的下固定架；上固定架包括设置在传输框架顶端并与传输框架滑动连接的上安装板、设置在上安装板底侧的多组上支架板、设置在上支架板上并与上支架板铰接的上挂耳板、设置在上挂耳板底侧的上导纸板以及设置在上导纸板内侧的上谐振腔；上支架板上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔，上角度调节孔的旋转圆心与上支架板和上挂耳板的铰接点重合，上支架板上设有多组与上角度调节孔对应的上固定孔，上固定孔内设有上固定螺栓，上固定螺栓依次穿过上角度调节孔和上固定孔并将上支架板和上挂耳板的位置固定。作为优选，上安装板包括设置在传输框架顶端并与传输框架滑动连接的上连接板、设置在上连接板与上支架板之间的上箱底板以及设置在上连接板与上箱底板之间的上高度调节螺杆，上高度调节螺杆上并位于上箱底板底侧设有上限位块。作为优选，上导纸板上并位于进纸侧和出纸侧均设有上导纸棍。作为优选，上挂耳板的两侧设有上弧形销，上支架板上设有与上弧形销对应且形状为弧形的上销孔。作为优选，下固定架包括设置在传输框架底端并与传输框架滑动连接的下安装板、设置在下安装板底侧的多组下支架板、设置在下支架板上并与下支架板铰接的下挂耳板、设置在下挂耳板顶侧并与上导纸板平行的下导纸板以及设置在下导纸板内侧的下谐振腔。作为优选，下支架板下设有多组呈弧形分布的下角度调节孔，下角度调节孔的旋转圆心与下支架板和下挂耳板的铰接点重合，下支架板下设有多组与下角度调节孔对应的下固定孔，下固定孔内设有下固定螺栓，下固定螺栓依次穿过下角度调节孔和下固定孔并将下支架板和下挂耳板的位置固定。作为优选，下安装板包括设置在传输框架底端并与传输框架滑动连接的下连接板、设置在下连接板与下支架板之间的下箱底板以及设置在下连接板与下箱底板之间的下高度调节螺杆，下高度调节螺杆下并位于下箱底板顶侧设有下限位块。作为优选，下导纸板上设有与下导纸板垂直设置的涡流传感器，涡流传感器的测量端朝向上导纸板。作为优选，下导纸板上并位于其进纸侧和出纸侧均设有下导纸棍。作为优选，下挂耳板的两侧设有下弧形销，下支架板下设有与下弧形销对应且形状为弧形的下销孔。本技术具有以下有益效果：本技术以传输框架顶端和底端两个端面为基准面，并以基准面为基准在传输框架上安装与其滑动连接的上固定架和下固定架，并分别固定谐振腔。并且本技术通过多组上固定螺栓配合上角度调节孔，对上支架板和上挂耳板的相对旋转角度进行固定，同时通过不同位置的上固定孔与上角度调节孔配合进行微米级的角度调节，完成谐振腔上下断面与纸张的角度调节，提高了调节精度以及微波测量过程中的测量精度。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的局部结构示意图；图3为本技术的侧视图；图4为图3中A处的局部放大图；图5为图3中B处的局部放大图。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。实施例为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不倡要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连通'、”相连”、“连接“应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。参见图1到图5，本技术包括传输框架1、设置在传输框架1顶端的上固定架2以及设置在在传输框架1底端的下固定架3。传输框架1为“口”字形且，上固定架2和下固定架3分别安装在传输框架1的上梁以及下梁并与传输框架1滑动连接，由此上固定架2以及下固定架3可分别沿着传输框架1的上梁以及下梁进行滑动以调整位置。在安装之前工作人员需分别在传输框架1的上梁和下梁内侧设置两个高精度基准面，其不平行度小于±0.05mm，然后将上固定架2和下固定架3分别安装在上梁和下梁上并分别固定谐振腔，确保谐振腔上下两部分的端面，在运动时与各自基准面不行平度小于0.1mm,上下两部分不同轴度小于0.1mm。进一步参见图1到图2，上固定架2包括设置在传输框架1顶端并与传输框架1滑动连接的上安装板21、设置在上安装板21底侧的多组上支架板22、设置在上支架板22上并与上支架板22铰接的上挂耳板23、设置在上挂耳板23底侧的上导纸板24以及设置在上导纸板24内侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于薄膜检测的微米级调节装置，其特征在于，包括传输框架（1）、设置在传输框架（1）顶端的上固定架（2）以及设置在传输框架（1）底端的下固定架（3）；/n所述上固定架（2）包括设置在传输框架（1）顶端并与传输框架（1）滑动连接的上安装板（21）、设置在上安装板（21）底侧的多组上支架板（22）、设置在上支架板（22）上并与上支架板（22）铰接的上挂耳板（23）、设置在上挂耳板（23）底侧的上导纸板（24）以及设置在上导纸板（24）内侧的上谐振腔（25）；/n所述上支架板（22）上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔（4），所述上角度调节孔（4）的旋转圆心与上支架板（22）和上挂耳板（23）的铰接点重合，所述上支架板（22）上设有多组与上角度调节孔（4）对应的上固定孔（41），所述上固定孔（41）内设有上固定螺栓（42），所述上固定螺栓（42）依次穿过上角度调节孔（4）和上固定孔（41）并将上支架板（22）和上挂耳板（23）的位置固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于薄膜检测的微米级调节装置，其特征在于，包括传输框架（1）、设置在传输框架（1）顶端的上固定架（2）以及设置在传输框架（1）底端的下固定架（3）；
所述上固定架（2）包括设置在传输框架（1）顶端并与传输框架（1）滑动连接的上安装板（21）、设置在上安装板（21）底侧的多组上支架板（22）、设置在上支架板（22）上并与上支架板（22）铰接的上挂耳板（23）、设置在上挂耳板（23）底侧的上导纸板（24）以及设置在上导纸板（24）内侧的上谐振腔（25）；
所述上支架板（22）上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔（4），所述上角度调节孔（4）的旋转圆心与上支架板（22）和上挂耳板（23）的铰接点重合，所述上支架板（22）上设有多组与上角度调节孔（4）对应的上固定孔（41），所述上固定孔（41）内设有上固定螺栓（42），所述上固定螺栓（42）依次穿过上角度调节孔（4）和上固定孔（41）并将上支架板（22）和上挂耳板（23）的位置固定。


2.根据权利要求1所述的用于薄膜检测的微米级调节装置，其特征在于，所述上安装板（21）包括设置在传输框架（1）顶端并与传输框架（1）滑动连接的上连接板（211）、设置在上连接板（211）与上支架板（22）之间的上箱底板（212）以及设置在上连接板（211）与上箱底板（212）之间的上高度调节螺杆（213），所述上高度调节螺杆（213）上并位于上箱底板（212）底侧设有上限位块（214）。


3.根据权利要求1所述的用于薄膜检测的微米级调节装置，其特征在于，所述上导纸板（24）上并位于进纸侧和出纸侧均设有上导纸棍（5）。


4.根据权利要求1所述的用于薄膜检测的微米级调节装置，其特征在于，所述上挂耳板（23）的两侧设有上弧形销（6），所述上支架板（22）上设有与上弧形销（6）对应且形状为弧形的上销孔（61）。


5.根据权利要求1所述的用于薄膜检测的微米级调节装置，其特征在于，所述下固定架（3）包括设置在传输框架...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杨，徐程松，刘伟雄，曾来荣，肖伟，
申请(专利权)人：绵阳人众仁科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51