【技术实现步骤摘要】
一种PPB级超纯水过滤供应系统
本技术涉及超纯水过滤
,尤其涉及一种PPB级超纯水过滤供应系统。
技术介绍
超纯水,又称UP水,电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水,常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等,此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水,应用范围广泛,且对超纯水的质量也要求较高。超纯水过滤系统第一步需要将原水进行预处理,以去除一些较大的颗粒杂质和异味,预处理过程中使用的过滤网一般与装置为固定连接,无法活动,在长时间的过滤进程中,过滤网上会附着一些颗粒杂质,影响过滤效果,进而影响后续超纯水的净化过程,一般为了处理过滤网上附着的颗粒杂质,需要停机,通过人工清扫的方式进行清除,这种方式极为浪费工作效率,且操作极为繁杂,为此,我们提出一种PPB级超纯水过滤供应系统解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中超纯水过滤系统预处理环节存在过滤网易被杂质颗粒附着的问题,而提出的一种PPB级超纯水
【技术保护点】
1.一种PPB级超纯水过滤供应系统,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)的下端内壁固定连接有隔板(2),所述壳体(1)的上端内顶面和隔板(2)的上端侧壁均对称设置有两个滑轨(3),所述滑轨(3)上滑动连接有与其相匹配的滑动夹具(4),所述滑动夹具(4)的侧壁转动连接有连接杆(5),且连接杆(5)之间相互铰接,所述壳体(1)的上端内顶面转动连接有双向往复丝杠(6),且双向往复丝杠(6)的下端贯穿隔板(2)转动连接于壳体(1)的下端内顶面,所述双向往复丝杠(6)的两端均螺纹连接有套筒(7),且连接杆(5)的铰接处转动连接于套筒(7)的侧壁,所述双向往复丝杠(6)贯穿隔板的 ...
【技术特征摘要】
1.一种PPB级超纯水过滤供应系统,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)的下端内壁固定连接有隔板(2),所述壳体(1)的上端内顶面和隔板(2)的上端侧壁均对称设置有两个滑轨(3),所述滑轨(3)上滑动连接有与其相匹配的滑动夹具(4),所述滑动夹具(4)的侧壁转动连接有连接杆(5),且连接杆(5)之间相互铰接,所述壳体(1)的上端内顶面转动连接有双向往复丝杠(6),且双向往复丝杠(6)的下端贯穿隔板(2)转动连接于壳体(1)的下端内顶面,所述双向往复丝杠(6)的两端均螺纹连接有套筒(7),且连接杆(5)的铰接处转动连接于套筒(7)的侧壁,所述双向往复丝杠(6)贯穿隔板的一端连接有驱动机构,位于两侧所述滑动夹具(4)之间分别固定连接有杂质过滤网(8)和活性炭过滤网(9),所述杂质过滤网(8)位于进水口一侧,且活性炭过滤网(9)位于出水口一侧。
2.根据权利要求1所述的一种PPB级超纯水过滤供应系统,其特征在于,所述驱动机构...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁红伟,
申请(专利权)人:上海亿鼎电子系统集成有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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