【技术实现步骤摘要】
滚轮干燥装置
本技术涉及一种外表面形成有图案层的滚轮,特别是涉及一种滚轮干燥装置。
技术介绍
滚轮(转印滚轮)在制作的过程中,必须经过光阻涂布、曝光、显影及烘烤等制程,使滚轮的外表面形成有一图案层。部分的制程中,例如光阻涂布的制程中,必需进行干燥的操作,用以去除光阻剂(Photoresist,PR)中的溶剂,当不允许进行光阻剂烘烤时,则需干燥2至3天,以使溶剂蒸发,如此操作耗费较多的干燥时间。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于,针对现有技术的不足提供一种滚轮干燥装置,能使滚轮快速地干燥,以缩短滚轮干燥的时间。为了解决上述技术问题,本技术提供一种滚轮干燥装置,用于滚轮的外表面形成图案层的制程,所述滚轮干燥装置包括:一壳体,所述壳体定义出具有预定洁净等级的一容置空间,所述容置空间能用来容置所述滚轮,使所述滚轮能在预定洁净等级的环境下;一支撑架,所述支撑架设于所述容置空间内,所述支撑架能用于承载所述滚轮;一驱动装置,所述驱动装置能用以驱动所述滚轮旋转;以及一空气清净装置,所述空气清净装置与所述容置空间相连 ...
【技术保护点】
1.一种滚轮干燥装置,用于滚轮的外表面形成图案层的制程,其特征在于,所述滚轮干燥装置包括:/n一壳体,所述壳体定义出具有预定洁净等级的一容置空间,所述容置空间能用来容置所述滚轮,使所述滚轮能在预定洁净等级的环境下;/n一支撑架,所述支撑架设于所述容置空间内,所述支撑架能用于承载所述滚轮;/n一驱动装置,所述驱动装置能用以驱动所述滚轮旋转;以及/n一空气清净装置,所述空气清净装置与所述容置空间相连通,所述空气清净装置能将预定洁净等级的空气输送至所述容置空间内,并以洁净空气对所述滚轮进行吹风干燥的操作。/n
【技术特征摘要】
1.一种滚轮干燥装置,用于滚轮的外表面形成图案层的制程,其特征在于,所述滚轮干燥装置包括:
一壳体,所述壳体定义出具有预定洁净等级的一容置空间,所述容置空间能用来容置所述滚轮,使所述滚轮能在预定洁净等级的环境下;
一支撑架,所述支撑架设于所述容置空间内,所述支撑架能用于承载所述滚轮;
一驱动装置,所述驱动装置能用以驱动所述滚轮旋转;以及
一空气清净装置,所述空气清净装置与所述容置空间相连通,所述空气清净装置能将预定洁净等级的空气输送至所述容置空间内,并以洁净空气对所述滚轮进行吹风干燥的操作。
2.如权利要求1所述的滚轮干燥装置,其特征在于,所述壳体具有至少一个出入口,所述出入口与所述容置空间相连通,所述出入口处设置一门板,所述门板能用以开启及关闭所述出入口。
3.如权利要求1所述的滚轮干燥装置,其特征在于,所述驱动装置包含一马达及一传动件,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:林刘恭,
申请(专利权)人:光群雷射科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾;71
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