MEMS光开关制造技术

本实用新型专利技术涉及一种ＭＥＭＳ光开关，它的基座上端面为工作平台，基座中间设有下陷的凹腔；输入透镜光纤、第一输出透镜光纤和第二输出透镜光纤放置于工作平台上；凹腔设置有永磁环，永磁环中心孔处的基座上设有通孔，永磁环中心孔中设置有线圈，线圈为矩形线圈，矩形线圈以输入和输出端向下，闭合端向上的形式设置于通孔中，且闭合端的上端面高于输入透镜光纤的下端面。本光开关切换时间短，典型的切换时间是０．１ｍｓ，最长切换时间为０．５ｍｓ。在技术上解决了在光路耦合时光束相互干涉问题，光纤移动不稳定性问题等，从而提高了生产效率。本实用新型专利技术专利结构紧凑，插入损耗低，串扰大，体积小便于系统的集成化及开关阵列。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光开关，特别是MEMS光开关。
技术介绍
随着通信和信息网络技术的快速发展，人们对容量、通信速度等的要求越来越高，传统的电通信已难以满足要求。目前出现的一种全新的光纤通信技术—光交叉互连技术将从根本上解决电子瓶颈问题，从而实现全光通信。光开关是光交叉互连和密集波分复用(DWDM)系统中的关键器件。光开关与密集波分复用器配合，可以实现各个波长的自由路由，实现全光交换。近几年来，有关光开关的研究报道日益见多，许多厂商也开始推出或正在研制各类光开关。一般地，光开关可分为电动机械式开关、微机电阵列开关、磁光开关、液晶开关、热光开关、电光开关和声光开关等。依据光开关的交换介质来分，光开关可分为自由空间交换光开关和波导交换光开关。电动机械式开关结构简单，成本低廉，但开关速度慢(1～10ms级)；微机电阵列开关制作工艺要求极高，器件价格昂贵；磁光开关和液晶开关同样存在速度较慢的问题(0.1～1ms级)。另外，电动机械式开关和微机电阵列开关中都有移动部件，因此长期使用会影响性能和寿命。有关液晶开关的介绍可以参见由贝尔通信实验室申请的专利(U.S.Patent 5,414,540)Fr本文档来自技高网...

【技术保护点】
ＭＥＭＳ光开关，包括基座、输入透镜光纤、第一输出透镜光纤和第二输出透镜光纤，其特征在于：基座（５）上端面为工作平台（５－１），基座（５）中间设有下陷的凹腔（５－２）；输入透镜光纤（１）以输出端口（ａ）朝向凹腔（５－２）、且输出端口（ａ）端悬空于凹腔（５－２）上的形式放置于工作平台（５－１）上、凹腔（５－２）的一端；第一输出透镜光纤（２）和第二输出透镜光纤（３）以输入端口（ｂ、ｃ）朝向凹腔（５－２）的形式放置于工作平台（５－１）上、凹腔（５－２）的另一端；凹腔（５－２）处设置有驱动器；驱动器包括永磁环（６）和设置于永磁环（６）中心孔中的线圈（８），线圈（８）的运动范围与输入透镜光纤（１）相交，线...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁联长，
申请(专利权)人：梁联长，唐欣文，
类型：实用新型
国别省市：45[中国|广西]