一种双面PERC太阳能电池及制备方法技术

技术编号:26848049 阅读:31 留言:0更新日期:2020-12-25 13:13
本发明专利技术公开了一种双面PERC太阳能电池及制备方法,所述制备方法包括:对P型硅片进行制绒、扩散、正面激光掺杂、背面抛光刻蚀、沉积背面钝化膜、沉积背面减反膜、沉积正面减反膜;还包括:在背面减反膜上印刷背面电极及背面栅线、在正面减反膜上印刷正面电极、烧结及电注入退火;所述背面栅线采用腐蚀型铝浆印刷;所述腐蚀型铝浆在烧结过程中蚀刻背面减反膜和背面钝化膜,与硅片形成欧姆接触。本发明专利技术通过在电池背面印刷腐蚀型铝浆,烧结时蚀刻穿透背面减反膜及钝化膜实现局部开口,替代现有的激光开口工艺,并结合背面硼掺杂实现了金属铝与硅片良好的欧姆接触,避免了激光开口带来机械损伤和碎片率;简化了生产工艺,降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种双面PERC太阳能电池及制备方法
本专利技术涉及一种PERC太阳能电池,尤其涉及一种双面PERC太阳能电池及制备方法。
技术介绍
钝化发射极背面接触太阳能电池(PERC电池)是近几年逐渐大规模量产的电池,其成熟的背面钝化技术适用于单晶和多晶硅片,使晶体硅太阳能电池转换效率提升1%以上。钝化发射极背面接触技术已经逐渐成为晶体硅太阳能电池的标准工艺,其核心技术点是在硅片背面覆盖氧化铝、氧化硅或氮氧化硅薄膜,在钝化硅片表面的同时,起到提高长波响应的作用。双面PERC太阳能电池,是兼顾背钝化技术和背面光照发电的新开发的高效太阳能电池,主要特点有:(1)利用背面的发射光及周围环境的漫反射光进行发电,较传统的单面太阳能电池所能够获得电池输出功率更高;(2)背面无整面铝背场,利于近红外的辐射光穿透,降低产品的工作温度;(3)背面金属的覆盖面积比传统单面电池少,有利于改善由于硅和金属的热膨胀系数不同而导致翘曲问题,利于硅片薄片化以及组件的制造。现有双面PERC太阳能电池的制备方法主要包括以下步骤:制绒、扩散、正面激光掺杂、背本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双面PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:对P型硅片进行制绒、扩散、正面激光掺杂、背面抛光刻蚀、沉积背面钝化膜、沉积背面减反膜、沉积正面减反膜;其特征在于,所述步骤还包括:/n在背面减反膜上印刷背面电极及背面栅线、在正面减反膜上印刷正面电极、烧结及电注入退火;/n所述背面栅线采用腐蚀型铝浆印刷;/n所述腐蚀型铝浆在烧结过程中蚀刻背面减反膜和背面钝化膜,与硅片形成欧姆接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种双面PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:对P型硅片进行制绒、扩散、正面激光掺杂、背面抛光刻蚀、沉积背面钝化膜、沉积背面减反膜、沉积正面减反膜;其特征在于,所述步骤还包括:
在背面减反膜上印刷背面电极及背面栅线、在正面减反膜上印刷正面电极、烧结及电注入退火;
所述背面栅线采用腐蚀型铝浆印刷;
所述腐蚀型铝浆在烧结过程中蚀刻背面减反膜和背面钝化膜,与硅片形成欧姆接触。


2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述沉积背面钝化膜之前还包括背面硼掺杂。


3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于:所述硼掺杂的浓度为5×1018cm-3~1×1020cm-3。


4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述背面钝化膜为AlOx薄膜或SiOx薄膜。


5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述背面钝化膜的厚度为3nm~60nm。


6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:孟祥熙许佳平
申请(专利权)人:常州时创能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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