确定微型载物台位置的躯动装置制造方法及图纸

本发明专利技术与确定显微镜等的微型载物台位置的驱动装置有关．在本发明专利技术中，采用电磁力作为微型载物台的驱动源，根据安装在微型载物台上的位置传感器传递的载物台的位置信息控制流向线圈的电流，从而使电磁力有所变化，精确地确定位置．依靠本发明专利技术确定位置的精度可达微米级或超微米级．（*该技术在2005年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种确定微型载物台位置的驱动装置，其特征为，将线圈和磁回路的一端安装在微型载物台上，另一端安装在底座上，以该线圈与电磁回路所产生的电磁力驱动上述微型载物台，同时，依靠安装在微型载物台某部位的位置传感器，将微型载物台的位置信息反馈到驱动回路去，用该驱动回路控制流向上述线圈的电流方向及电流值。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三浦忠，丹羽猛，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]