【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光电控制机械刻划领域中的一种变间距刻划的方法及装置。随着现代科学技术的发展，在光谱学研究和高技术应用中变间距光栅的应用越来越多了。现有的变间距刻划方法主要是全息干涉法和机械刻划法。全息刻划法制作简单，但难以制出特定的槽形，衍射效率低，应用在凹球面消象散光栅上时消象散波长受到激光波长的限制。机械刻划方法可刻出特定的槽形，衍射效率高，可在任意波长上消象散。但实现机械变间距刻划却十分困难，特别是刻线间距变化量非常小时就更困难了(如凹球面变间距消象散光栅理论要求相邻间距的变化量约为10-13米的数量级)。如图1所示，一九七五年日本在激光干涉控制等间距刻划系统〔7〕的基础上用数值计算机〔2〕、脉冲发生器〔3〕、步进电机〔4〕、差动齿轮系〔5〕、标准信号发生器〔6〕构成的系统按穿孔纸带〔1〕上编制好的程序给等间距刻划系统〔7〕附加进运动量而实现了变间距光栅的机械刻划(精密机械(日本)1976，VOl 42，No9，P888-892)。由于机构的限制，间距最小变化量仍不能满足理论要求，而且所需设备精度高、数量多、系统复杂，刻划机制造十分困难。为了克服上述缺点，寻求一种简单的方法并建立其装置。本专利技术的方法如图2所示在工作台〔1〕上的平面变间距样板〔4〕、相干光源〔5〕和分光元件〔7〕组成干涉仪。相干光源〔5〕发出的光经过分光元件〔7〕后，分出两束光分别照射在平面变间距样板〔〔4〕上，它们衍射回来的两束光经过分光元件〔7〕后发生干涉而产生明暗相间的干涉条纹，并被光电转换器〔9〕接收。当工作台〔1〕运动时干涉条纹明暗发生变化，明暗变化的次数与工作台〔1〕...
【技术保护点】
一种变间距刻划的方法其特征在于，用置于工作台［１］上的平面变间距样板［４］，相干光源［５］和分光元件［７］组成干涉仪，由此干涉仪产生的干涉条纹信号被光电转换器［９］接收并通过计数控制工作台［１］做变速或变间距运动而使工作台［１］上的毛坯件［３］获得变间距刻划。
【技术特征摘要】
1.一种变间距刻划的方法其特征在于，用置于工作台[1]上的平面变间距样板[4]，相干光源[5]和分光元件[7]组成干涉仪，由此干涉仪产生的干涉条纹信号被光电转换器[9]接收并通过计数控制工作台[1]做变速或变间距运动而使工作台[1]上的毛坯件[3]获得变间距刻划。2.一种变间距刻划的装置由光源、分光元件、样板、光电转换器和工作台组成，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：花清印，张庆英，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：22[中国|吉林]
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