一种连续可变波长标准球面镜头制造技术

本发明专利技术提供一种连续可变波长标准球面镜头，属于激光干涉仪用标准镜头领域，其特征在于，包括：复消色差透镜组；以及参考透镜，设置在复消色差透镜组一侧，其中，复消色差透镜组包括至少一片特殊色散透镜以及至少二片其它透镜，复消色差透镜组与参考透镜同轴设置，参考透镜的材料为融石英。复消色差透镜组与参考透镜使用复消色差原理设计，使较宽波段范围内的3个波长聚焦在同一位置，并且在这个波段范围内的其他工作波长聚焦位置相对这个位置的离焦量非常小使这个波段中的每个波长所产生的焦点与参考半径重合误差均在设计和实际检测要求范围内，即本发明专利技术的连续可变波长标准球面镜头可在一定波段范围内的任意波长下使用。

【技术实现步骤摘要】
一种连续可变波长标准球面镜头
本专利技术属于激光干涉仪用标准镜头领域，具体涉及一种可以在宽波段下工作的标准球面镜头。
技术介绍
不同的光学系统需要根据要求在特定波段设计，干涉仪可以对光学系统的波像差，系统整体成像质量进行检测，这个过程是系统最终调整和质量检验的关键。激光干涉仪的工作波长主要为单一波长，而光学系统的应用非常广泛且多变，如光刻系统、DVD和红外成像系统等都需要特定波长进行检测，以显示其所需要的波长变化的要求，因此干涉仪公司根据不同的波长制造特定的干涉仪。现有的产品包括405nm、543.5nm、632.8nm、1053nm和1064nm等干涉仪。标准球面镜头根据波长设计，标准镜头的性能指标很高，且需要保证参考面的球心与标准镜头的焦点重合，当改变使用波长时，由于镜头的焦点发生变化，导致标准镜头无法使用，因此标准球面镜头只能在其设计波长下使用，即标准球面镜头为单波长镜头。每种特殊波长激光干涉仪都需要额外配置相应的标准球面镜头，而标准球面镜头中的用于作为参考表面的透镜，由于需要使用高档材料且面形加工精度高，所以造价昂贵。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种连续可变波长标准球面镜头，其特征在于，包括：/n复消色差透镜组；以及/n参考透镜，设置在所述复消色差透镜组一侧，/n其中，所述复消色差透镜组包括至少一片特殊色散透镜以及至少二片其它透镜，/n所述复消色差透镜组与所述参考透镜同轴设置，/n所述参考透镜的材料为融石英。/n

【技术特征摘要】
1.一种连续可变波长标准球面镜头，其特征在于，包括：
复消色差透镜组；以及
参考透镜，设置在所述复消色差透镜组一侧，
其中，所述复消色差透镜组包括至少一片特殊色散透镜以及至少二片其它透镜，
所述复消色差透镜组与所述参考透镜同轴设置，
所述参考透镜的材料为融石英。


2.根据权利要求1所述的连续可变波长标准球面镜头，其特征在于：
其中，所述特殊色散透镜的材料为萤石。


3.根据权利要求1所述的连续可变波长标准球面镜头，其特征在于：
其中，所述连续可变波长标准球面镜头在500nm～800nm的波段范围内满足透射波前的PV值小于λ/10。


4.根据权利要求1所述的连续可变波长标准球面镜头，其特征在于：
其中，所述复消色差透镜组包括依次排列的第一透镜、特殊色散透镜、第三透镜以及第四透镜，
所述第一透镜的第一面半径范围为-120mm～-100mm，第二面半径范围为-200mm～-180mm，厚度范...

【专利技术属性】
技术研发人员：张齐元，韩森，王浩宇，朱怀康，
申请(专利权)人：苏州慧利仪器有限责任公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32