【技术实现步骤摘要】
此专利技术涉及一种用准分子激光器制造用于聚合物光波导系统的平板光耦合器的方法。光耦合器是一种光学器件，可将N条输入光纤内的光强度分配给M条输出光纤。这类器件可在无源光波导网络中用作光强度分配器成光强度组合器。光强度的分配或多条光纤的光强度组合进入某一条光纤，是在该耦合器的混合区域内完成的。光纤光耦合器与平板光耦合器之间是有区别的。迄今主要有两种方法已为人所知可用来制造用于聚合物光波导系统的平板光耦合器。已知的一种制造用于聚合物光波导的平板光学器件的方法，是将一层250μm厚的光刻层沉积在一个衬底上的复合镀层上面，而光刻层是用一层掩膜和紫外光形成的(参见A.Boiarski，SPIE，840卷，29页(1987))。在显影之后，未曝光的区域就形成一个波导通道，其截面为正方形，而其中敷设有直径为250μm的聚合物光波导。然后在光纤之间的自由空间填上某种适当的光学充填树脂。另外已知的一种光耦合器是用这样一种方法制造的在一个透明衬底上加工出的沟槽内填上某种透光材料，以达到形成波导通道的目的，所述材料的折射率高于衬底的(参见JP61-73，109)。波导通道在技术上的实现未予...
【技术保护点】
一种通过在一块透明塑料片材表面上加工出通道，在通道内敷设聚合物光波导并用某种透明充填树脂填充光波导之间的自由空间来制造平板光耦合器的方法，其中包括用一台准分子激光器来刻蚀出通道。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约克恩康坦迪恩，沃纳尔格罗，皮特赫布莱施迈尔，约根泰斯，
申请(专利权)人：赫彻斯特股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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