【技术实现步骤摘要】
一种单面抛光机全自动化生产线
本专利技术涉及抛光机
,具体涉及一种单面抛光机全自动化生产线。
技术介绍
单面抛光机是加工8寸硅片的主要设备,由于工件的尺寸越来越大,设备的尺寸也随之越来越大,人工逐渐无法满足生产效率;并且客户对8寸硅片的加工精度要求也越来越高,这就需要在加工过程中保证加压压力的稳定性。针对上述问题,本专利技术提供一种单面抛光机全自动化生产线,来满足上述需要,其能够完成粗抛、中抛、精抛五段工序的自动化进行,提高加工的效率、精度和便捷性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的问题,提供一种单面抛光机全自动化生产线。为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本专利技术通过以下技术方案实现:一种单面抛光机全自动化生产线,包括若干个单面抛光机,所述单面抛光机沿同一直线方向上等间隔放置并处于同一高度水平上,每个所述单面抛光机的中部下箱体上设有机械手,用于单面抛光机之间工件的抓取和传递,以保证每个单面抛光机对工件进行一道对应的抛光工序,若干个单面抛光机对工件沿传递方向形成连续的抛光工序,每个所述单面抛光机的后端液路进/出口上连接有对应的抛光液供给组件,用于提供抛光液,各个所述单面抛光机的后端液路进/出口还连通有液路系统,用于提供纯水和冷却水。进一步的,所述连续的抛光工序依次包括第一粗抛光工序、第二粗抛光工序、第一中抛光工序、第二中抛光工序和精抛光工序,其中每道抛光工序对应设置一个单面抛光机及相应的机械手和抛光液供给组件,所述机械手设置于单面抛光机 ...
【技术保护点】
1.一种单面抛光机全自动化生产线,其特征在于,包括若干个单面抛光机(1),所述单面抛光机(1)沿同一直线方向上等间隔放置并处于同一高度水平上,每个所述单面抛光机(1)的中部下箱体上设有机械手(2),用于单面抛光机(1)之间工件的抓取和传递,以保证每个单面抛光机(1)对工件进行一道对应的抛光工序,若干个单面抛光机(1)对工件沿传递方向形成连续的抛光工序,每个所述单面抛光机(1)的后端液路进/出口上连接有对应的抛光液供给组件(3),用于提供抛光液,各个所述单面抛光机(1)的后端液路进/出口还连通有液路系统,用于提供纯水和冷却水。/n
【技术特征摘要】
1.一种单面抛光机全自动化生产线,其特征在于,包括若干个单面抛光机(1),所述单面抛光机(1)沿同一直线方向上等间隔放置并处于同一高度水平上,每个所述单面抛光机(1)的中部下箱体上设有机械手(2),用于单面抛光机(1)之间工件的抓取和传递,以保证每个单面抛光机(1)对工件进行一道对应的抛光工序,若干个单面抛光机(1)对工件沿传递方向形成连续的抛光工序,每个所述单面抛光机(1)的后端液路进/出口上连接有对应的抛光液供给组件(3),用于提供抛光液,各个所述单面抛光机(1)的后端液路进/出口还连通有液路系统,用于提供纯水和冷却水。
2.根据权利要求1所述的单面抛光机全自动化生产线,其特征在于,所述连续的抛光工序依次包括第一粗抛光工序、第二粗抛光工序、第一中抛光工序、第二中抛光工序和精抛光工序,其中每道抛光工序对应设置一个单面抛光机(1)及相应的机械手(2)和抛光液供给组件(3),所述机械手(2)设置于单面抛光机(1)的中部下箱体同一侧面,使得相邻的单面抛光机(1)之间至少包括一个机械手(2),便于工件在单面抛光机(1)之间的抓取和传递。
3.根据权利要求2所述的单面抛光机全自动化生产线,其特征在于,所述单面抛光机(1)包括下箱体(101)、下盘(102)、顶台(103)、立柱(104)、上抛头(105)、触摸屏(106)、外导轮(107)、中心导轮(108)、高压刷盘组件(109)、电气柜(110)和液压站(111),所述下盘(102)设置于下箱体(101)中,所述下箱体(101)通过若干个立柱(104)连接位于其上方的顶台(103),所述外导轮(107)均布于下箱体(101)的上端面周边且位于所述立柱(104)的一侧,所述高压刷盘组件(109)设置于下箱体(101)的上端面的后侧边位置处,所述顶台(103)的上端面上设置若干个上抛头(105),所述中心导轮(108)设置于上抛头(105)间的中心位置,所述电气柜(110)设置于下箱体(101)和顶台(103)的后端面处,所述液压站(111)设置于下箱体(101)的后端且位于所述电气柜(110)的下方位置处,所述触摸屏(106)设置于顶台(103)前端并嵌入顶台(103)中。
4.根据权利要求2所述的单面抛光机全自动化生产线,其特征在于,所述机械手(2)包括安装架组件(201)、丝杠组件(202)、支架组件(203)、旋转台(...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙文杰,王和,陆柄宇,
申请(专利权)人:苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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