一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件，属于微波传输技术领域。本波导元器件包括：介质板；金属微带，所述金属微带固定连接在所述介质板的一面上，所述金属微带的中部设有人工表面等离激元结构；复合薄膜谐振器，所述复合薄膜谐振器位于所述金属微带的中部侧边，所述复合薄膜谐振器与所述介质板的一面固定连接，所述复合薄膜谐振器与所述金属微带之间设有耦合间隙。本波导元器件结构简单，传输损耗低，带宽灵活可控，抗电磁干扰能力强，可实时调控传输通带带宽，适应于微波集成电路的发展。

【技术实现步骤摘要】
一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件
本技术属于微波传输
，具体涉及一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件。
技术介绍
随着大数据时代的到来，无线通讯信息容量迅猛增长，无线通讯系统要求能制造出集成度更高、工作特性更稳定、功能更多样化的微波器件，然而传统模拟微波器件随着加工的完成，其功能即已固定，无法实时调控，这不利于微波器件去适应复杂的应用。尤其在频分复用的可调谐信道中，需要独立地调谐波导结构的频段，以实现其灵活的可重构性。但是现有的波导元器件无法满足现目前通讯市场对动态可调谐和可切换功能的需求。因此，亟需提供一种具有可控可调的波导元器件。
技术实现思路
本技术为了解决上述技术问题提供一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件，结构简单，传输损耗低，带宽灵活可控，抗电磁干扰能力强，可实时调控传输通带带宽，适应于微波集成电路的发展。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件，包括：介质板；金属微带，所述金属微带固定连接在所述介质板的一面上，所述金属微带的中部的两侧边均设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件，其特征在于，包括：/n介质板(1)；/n金属微带，所述金属微带固定连接在所述介质板(1)的一面上，所述金属微带的中部的两侧边均设有人工表面等离激元结构；/n两个复合薄膜谐振器(5)，所述复合薄膜谐振器(5)位于所述金属微带的中部的两侧边，所述复合薄膜谐振器(5)与所述介质板(1)的一面固定连接，所述复合薄膜谐振器(5)与所述金属微带之间设有耦合间隙，所述复合薄膜谐振器(5)在加载外加电场时谐振频率改变。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于复合薄膜谐振器的波导元器件，其特征在于，包括：
介质板(1)；
金属微带，所述金属微带固定连接在所述介质板(1)的一面上，所述金属微带的中部的两侧边均设有人工表面等离激元结构；
两个复合薄膜谐振器(5)，所述复合薄膜谐振器(5)位于所述金属微带的中部的两侧边，所述复合薄膜谐振器(5)与所述介质板(1)的一面固定连接，所述复合薄膜谐振器(5)与所述金属微带之间设有耦合间隙，所述复合薄膜谐振器(5)在加载外加电场时谐振频率改变。


2.根据权利要求1所述的基于复合薄膜谐振器的波导元器件，其特征在于，所述复合薄膜谐振器(5)包括单晶基片(13)、复合膜(9)和矩形金属环(8)，所述单晶基片(13)与所述介质板(1)的一面固定连接，所述复合膜(9)铺设在所述单晶基片(13)上，所述矩形金属环(8)固定连接在所述复合膜(9)的表面上。


3.根据权利要求2所述的基于复合薄膜谐振器的波导元器件，其特征在于，所述复合膜(9)包括铁电膜(11)和铁磁膜(12)，所述铁磁膜(12)铺设在所述单晶基片(13)上，所述铁电膜(11)铺设在所述铁磁膜(12)上。


4.根据权利要求3所述的基于复合薄膜谐振器的波导元器件，其特征在于，所述铁电膜(11)的厚度为0.0001-0.009mm,所述铁磁膜(12)的厚度为0.0001-0.009mm。


5.根据权利要求2所述的基于复合薄膜谐振器的波导元器件，其特征在于，还包括金属块(10)，所述金属块(10)位于所述矩形金属环(8)的轴心处，所述金属块(10)位于所述复合膜(9)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡明哲，李伟民，苏荣，
申请(专利权)人：贵州民族大学，
类型：新型
国别省市：贵州;52