一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，它包括：固定架；板卡，所述板卡可拆卸地设置在所述固定架上，所述板卡上开设有第一孔；输入信号源，所述输入信号源连接在所述固定架上，所述输入信号源对应于所述第一孔设置；快门，所述快门对应于所述第一孔而设置。通过输入信号源可输入光、温度等信号，输入信号源将光或温度穿过第一孔而到达板卡另一侧的待测试晶圆上，通过快门可以控制第一孔打开或关闭，从而对输入信号进行控制，另外由于将板卡可拆卸地设置在固定架上，从而方便于更换板卡，这样可针对不同的晶圆更换不同的板卡，适用性更强。

【技术实现步骤摘要】
一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件
本技术涉及一种晶圆测试装置，具体涉及一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件。
技术介绍
晶圆测试，是通过对完成半导体工艺的晶圆进行测试，目的是在划片封装前把有问题的祼片挑出来，以减少封装和芯片成品测试成本，同时统计出晶圆上的管芯合格率、不合格管芯的确切位置和各类形式的合格率等，能直接反应晶圆制造良率、检验晶圆制造能力。每年晶圆测试产值有几百亿之多，而传感器由于种类多，稳定性差异大，在被需要测试晶圆中占比较大，预计红外和温度传感晶圆占整体测试产值的1%左右，且每年占比都在增长中，现有市场和市场前景都是巨大的。通常的晶圆测试，探针测试法是最普遍、最常用的一个测试方法，通过多根探针接触管芯的测试点，电源供电给探针，再通过其它探针测量电学输出信号，适用于大多数电压供电管芯的测量，测量后通过配置的打点器，可以同时对标注的坏点进行打点。虽然每种不同结构的管芯，都有不同的探针结构，但只是探针的根数、位置、针尖和距离不同而已，板卡的结构上没有大的变化，而对于一些特殊传感器，输入信号不是通过探针供给的，如红外传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于，它包括：/n固定架（1）；/n板卡（2），所述板卡（2）可拆卸地设置在所述固定架（1）上，所述板卡（2）上开设有第一孔（5）；/n输入信号源（3），所述输入信号源（3）连接在所述固定架（1）上，所述输入信号源（3）对应于所述第一孔（5）设置；/n快门（4），所述快门（4）对应于所述第一孔（5）而设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于，它包括：
固定架（1）；
板卡（2），所述板卡（2）可拆卸地设置在所述固定架（1）上，所述板卡（2）上开设有第一孔（5）；
输入信号源（3），所述输入信号源（3）连接在所述固定架（1）上，所述输入信号源（3）对应于所述第一孔（5）设置；
快门（4），所述快门（4）对应于所述第一孔（5）而设置。


2.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述固定架（1）上开设有插槽（7），所述板卡（2）插置在所述插槽（7）中。


3.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述快门（4）与所述板卡（2）之间的距离为可调节设置。


4.根据权利要求3所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述快门（4）与所述板卡（2）之间的距离最小为零。


5.根据权利要求1所述的易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，其特征在于：所述输入信号源（3）连接在多轴臂（8）上，所述多轴臂（8）连接在所述固定架（1）上。

【专利技术属性】
技术研发人员：王媛，
申请(专利权)人：苏州容启传感器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32