制造一个分光模制体并且在一个光电模块中使用分光模制体的方法技术

制造至少一个含有透明材料的分光模制体的方法，其中嵌入一层分光层（１０）。这里提供两个允许射线通过的片（８０、８１），其中一个具有一个分光层（１０），这两个片相互连接，方式如下：分光层（１０）位于这两个片（８０、８１）之间。接下来，将这些片组合物进一步处理成各个棱镜条（５２），例如使用锯生成条和磨削／研磨侧面或者使用截面锯。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种根据权利要求1前序部分制造一个分光模制体的方法。已经公开了这种方式的分光模制体例如棱镜立方体。已经公开的制造这种棱镜立方体的方法十分复杂的并且因此费用高。因此为了制造性能价格比最佳的光电元件，目前没有使用棱镜立方体。基于本专利技术的任务是改进一种开始时提到方式的方法，这种方法具有尽可能少的技术上简单的方法步骤。通过具有权利要求1或者权利要求2特征的方法解决这个任务。根据本专利技术，在第一个方案中，提供下面连续的方法步骤a) 制造第一个片，其含有允许射线通过的材料，b) 在第一个片的主平面上涂敷分光层，c) 在含有允许射线通过的材料的第二个片上涂敷分光层，d) 沿着相互平行延伸的倾斜于或者垂直于分光层的分离线，切开第一个片、分光层和第二个片构成的片组合物，具体形式为形成相互分开的条，它们分别具有第一个片条和第二个片条，在它们之间安排了分光层，e) 分别磨削和/或者研磨条的第一个和第二个片条，具体方式为条的垂直于分光层的横截面基本上保持分光模制体一个预定的相应的横截面，并且f) 假设，在各个分光模制体中，横向于条的纵向轴线切开条。第二个根据本专利技术的解决方案具有下面连续的处理步骤a) 制造第一个片，其含有允许射线通过的材料，b) 在第一个片的一个主平面上涂敷分光层，c) 在第二个含有允许射线通过的材料的片上涂敷分光层，d) 切开第二个片并且沿着相互平行延伸分离线，借助于一个具有V形截面图的分离工具锯开分光层，形成相互分离的第一个片条，e) 在一个底片上如下固定具有第一个片、第二个片和分光层的组合物第一个片条面向底片，f) 按如下方式沿着相互平行延伸的分离线，借助于一个V形截面的分离工具切开第一个片和分光层，具体方式如下相互分离地产生与第一个片条相面对的第二个片条，因此构成相互分离的分光模制体，它的垂直于分光层的横截面基本上具有一个分光模制体的预先提供的相应的横截面，和g) 假设，横向于纵向轴线切割条。根据本专利技术方法的优选的另外设计和实施形式是从属权利要求3至5的主题。在权利要求6至13中说明优选使用根据本专利技术方法制造的分光模制体。下面根据两个实施例，结合附图说明图1和2详细说明根据本专利技术的方法，并且根据两个实施例结合图3至5详细说明优选使用根据本专利技术方法制造的分光模制体。图中图1第一个根据本专利技术方法的一个实施例过程的图示说明，图2第二个根据本专利技术方法的一个实施例过程的图示说明，图3一个具有一个根据本专利技术方法制造的分光模制体的第一个光电模块的图示说明，图4一个具有一个根据本专利技术方法制造的分光模制体的第二个光电模块的图示说明，图5示出同时制造大量根据图3的光电模块的方法过程的示意说明。在图中分别使用同一个符号表示相同的或者相同作用的元件。在图1中图示说明的方法中，首先(分图A)在第一个允许射线通过的片80上涂敷一个分光层10，上述片80含有例如石英、硼硅玻璃、蓝宝石、硅、GaP或者含有另一个适合的半导体材料。这个分光层10例如可以是一个3dB分离层或者一个WDM(波分复用)过滤层，例如作为短波滤波器、长波滤波器或者阻尼滤波器构成这个WDM过滤层。在图1的分图A中使用箭头91表示对分光层10的涂敷。随后(分图B)，在分光层10上涂敷第二个允许射线通过的片81，该片例如也含有石英、硼硅玻璃、蓝宝石、硅、GaP或者含有另一适合的半导体材料。例如可以使用胶粘剂(例如热固性材料，环氧树脂、硅橡胶)将它固定在分光层10上。如果面向第二个片81的分光层10的表面是一个硅层(例如α硅)，而第二层81是玻璃，那么这两个元件可能借助于阳极接线进行连接。在这个已经公开的技术中，相互重叠放置两个将被连接的表面，例如在大约450℃温度上加热，玻璃相对于硅例如电压差为-1000V。因此，含有第一个片80、分光层10和第二个片81的组合物通过或者是片80的，或者是片81的一个敞开的主平面以附着薄膜92分层，并且沿着相互平行延伸的分离线82，垂直于分光层10例如使用锯切开组合物，形成一个单独的仅通过附着薄膜92相互连接的条83。每个这样的条83包括第一个片条84、一个分光层10和第二个片条85(比较分图C)。通过磨削和/或研磨第一个和第二个片条的侧面，接下来以预期形状实现条83垂直于分光层10的横截面，例如六角形、矩形或者正方形。例如存在着所谓的棱镜条52，这个条包括第一个棱镜15和第二个棱镜16和一个位于棱镜之间的分光层10。例如这个可能象在图5中所说明的进一步处理，或者通过锯断，立即实现它们最终的长度，并且接下来对它进一步处理。优选的例如可以借助于厚钢板或者水热分离等等使用一种反射材料覆盖棱镜15、16侧面。在图2中说明的方法不同于所述的方法，特别是在附着薄膜92上粘贴组合物(分图B)后，在分光层10与附着薄膜相面对一侧上安排片81，借助于一个具有V形截面87的锯条86，提供了相互限制的第一个V槽93(分图C)。第一个V槽93一直深入到分光层10。此后，组合物例如借助于蜡94固定在一个底盘88上，方式如下组合物第一个V槽93的侧面面向底盘。在底盘88上位于在底盘88和组合物之间的例如是纸片95。接着(分图D)，同样借助于一个具有V形横截面87的锯条86，片80正好面对于第一个V槽的中心，提供相互限制的第二个V槽99，这个V槽99同样伸进分光层10，并且切开分光层。因此存在着若干个棱镜条52，这些棱镜条基本上具有垂直于分光层10的预定的分光模制体的横截面的最终形式。为了在一个有序的组合物中固定用于另外处理步骤的棱镜条52，在底盘88上固定的棱镜条52，例如借助于环氧树脂96将棱镜条固定在支柱88上(图E)。因此从底盘88上分开组合物，所以构成若干个固定在支柱97上的各个棱镜52。然后可以对此进一步任意处理，例如通过切开棱镜条52形成棱镜立方体或者棱镜长方体或者象在图5中说明的，为了制造光电模块在一个衬底片上涂敷。上面说明的根据本专利技术方法的一个特别优点是可以制造若干个在片组合物中也就是槽中具有任意横截面的分光模制体。可选的，这里例如借助于厚钢板或者水热分离等等使用一种反射材料覆盖棱镜15、16的侧面。显而易见，可以借助于上面说明的方法，不仅制造正方形横截面的分光模制体，而且通过改变磨削/研磨处理或者锯条横截面，制造不同方式的横截面形状例如正方形、六角形等等。在图3的光电模块中，在一个载体部分1的第一个主平面30上，构成一个凹槽31，在与载体部分1的第一个主平面32相面对的第二个主平面30上，构成一个聚焦射线的射线聚焦装置8，在这种情况下是一个球面聚焦透镜。在凹槽31的底平面49上，通过使用一种允许射线通过的连接工具29，例如一种透明的胶粘剂，作为分光设备4固定一个分光模制体，在这种情况下是一个棱镜立方体14。棱镜立方体14包括两个连接的光学棱镜15、16，在这两个棱镜之间安排分光层10。分光层10位于棱镜立方体14的一个对角平面上。显而易见，这个实施例不唯一限制于使用一个棱镜立方体14。同样代替棱镜立方体14，例如使用一个棱镜立方体，它具有一个垂直于分光层10的正方形或者长方形的截面。在载体部分1的第一个主平面30上相邻于棱镜六面体14的第一个侧面5固定一个发射元件2，例如一个法布里-帕本文档来自技高网...

【技术保护点】
制造至少一个分光模制体（１４）的方法，这个分光模制体（１４）允许电磁射线通过，并且在这个分光模制体（１４）中嵌入一层分光层（１０），其特征在于，下面的方法步骤： ａ）制造第一个片（８０），其含有允许射线通过的材料， ｂ）在第一个片（８０）的主平面上涂敷分光层（１０）， ｃ）在含有允许射线通过的材料的第二个片（８１）上涂敷分光层（１０）， ｄ）沿着相互平行延伸的倾斜于或者垂直于分光层的分离线（８２），切开由第一个片（８０）、分光层（１０）和第二个片（８１）构成的片组合物，方式为：形成相互分开的条（８３），它们分别具有第一个片条（８４）和第二个片条（８５），在它们之间安排了分光层（１０）， ｅ）沿着分离线（８２）分别磨削和／或者研磨条（８３）的第一个（８４）和第二个片条（８５）至分光模制体（１４）的预期的横截面， ｆ）在各个分光模制体（１４）中，横向于条的纵向轴线，切开条（８３）。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：W格拉曼，W思佩斯，
申请(专利权)人：西门子公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]