本实用新型专利技术揭示了一种溶液供应装置，其包括底板、安装在所述底板端面上依次通过管道连通的储液桶、供液桶以及第一泵体，所述储液桶内设置有用于搅拌溶液搅拌器，所述供液桶内设置有用于冷却溶液的冷凝管。本实用新型专利技术提供的一种溶液供应装置，通过安装在所述底板端面上依次连通的储液桶、第一泵体、供液桶以及第二泵体，不需要借助人工操作就能完成整个溶液供应过程，能有效解决现有技术中人工配液导致工人成本高的技术问题和人工控制搅拌药液时气味挥发存在一定安全风险的技术问题。
【技术实现步骤摘要】
一种溶液供应装置及系统
本技术涉及溶液混合设备领域，尤其涉及一种溶液供应装置及系统。
技术介绍
作为第二代半导体材料的锗及砷化镓等，凭借其优越的电子特性已经在移动电话、红外光学及卫星通讯等领域展现出了越来越广阔的应用前景。在由锗晶体生长到锗晶片成品的实际生产过程中，要经过一系列复杂的加工工艺，例如在锗抛光工艺过程中，必须配制专用的抛光液用于晶片的抛光，在小批量产品加工中，药液配制都是以小作坊的方式配制抛光药液并供给药液，这种配药方式全程都需要人工参与控制，导致工人成本高和生产效率低，且人工控制搅拌药液时气味挥发存在一定安全风险。随着锗晶片的应用前景越来越广阔，高科技市场对晶片的需求量呈明显的增长趋势，而现有技术的抛光配药工艺因为效率低，已无法满足市场对晶片消耗量增长的需求，鉴于现有技术的不足，一种能提高生产效率且保证人工成本低的溶液供应装置是本行业内急需的。
技术实现思路
本技术的目的是为克服现有技术的不足，而提供一种能提高生产效率且保证人工成本低的溶液供应装置。为实现前述目的，本技术采用如下技术方案。本技术提供了一种溶液供应装置，其包括底板、安装在所述底板端面上依次通过管道连通的储液桶、供液桶以及第一泵体，所述储液桶内设置有用于搅拌溶液搅拌器，所述供液桶内设置有用于冷却溶液的冷凝管。作为本技术的进一步改进，所述溶液供应装置还包括第二泵体以及过滤器，所述储液桶、第二泵体以及过滤器通过管道依次首尾相连。作为本技术的进一步改进，所述溶液供应装置还包括用于为储液桶提供溶液的进液管，所述进液管与所述储液桶相连通，所述进液管的管道上设置有用于控制溶液进出的第一电动球阀。作为本技术的进一步改进，所述储液桶与所述第二泵体管道之间设置有用于控制溶液进出的第二电动球阀，所述储液桶与所述供液桶管道之间设置有用于控制溶液进出的第三电动球阀。作为本技术的进一步改进，所述溶液供应装置还包括用于控制溶液液位的液位传感器，所述液位传感器伸入所述储液桶中。作为本技术的进一步改进，所述溶液供应装置还包括用于控制冷水供应的电磁阀，所述电磁阀设置在所述冷凝管的管道上。作为本技术的进一步改进，所述溶液供应装置还包括手动球阀，所述手动球阀一端通过管道与所述第一泵体相连通，另一端通过管道与所述供液桶相连通。作为本技术的进一步改进，所述溶液供应装置还包括用于监测溶液供应速率的流量计，所述流量计与所述第一泵体相连通。作为本技术的进一步改进，所述溶液供应装置还包括控制面板、电器柜、脚轮以及底座，所述控制面板和所述电器柜安装在所述底板的端面上，所述脚轮和所述底座安装在所述底板的底面上。本技术还提供一种溶液供应系统，用于抛光液的供应，包含上述任意一项的所述的溶液供应装置。本技术提供的一种溶液供应装置，通过安装在所述底板端面上依次连通的储液桶、第一泵体、供液桶以及第二泵体，不需要借助人工操作就能完成整个溶液供应过程，能有效解决现有技术中人工配液导致工人成本高的技术问题和人工控制搅拌药液时气味挥发存在一定安全风险的技术问题。附图说明图1为本技术一种溶液供应装置的俯视结构示意图。图2为本技术一种溶液供应装置的立体结构示意图。其中：1-底板；2-储液桶；3-供液桶；4-第一泵体；5-搅拌器；6-冷凝管；601-冷凝管入水口；602-冷凝管出水口；7-第二泵体；8-过滤器；9-进液管；10-第一电动球阀；11-第二电动球阀；12-第三电动球阀；13-液位传感器；14-电磁阀；15-手动球阀；16-流量计；17-控制面板；18-电器柜；19-脚轮；20-底座；21-第一出液管；22-第二出液管；23-第三出液管。具体实施方式下面将结合本技术实施例对技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参照图1和图2，根据本技术的第一方面，提供了一种溶液供应装置，其包括底板1、安装在底板1端面上依次通过管道连通的储液桶2、供液桶3以及第一泵体4，储液桶2的材质为PVC，储液桶2的壁厚8mm、外径600mm、高度750mm、总容积200L、有效容积160L，供液桶3的材质为PVC，供液桶3的壁厚8mm、外径600mm、高度750mm、总容积200L、有效容积160L第一泵体4的流量为22L/min，管道都采用电子行业专用PVC管，储液桶2内设置有用于搅拌溶液搅拌器5，搅拌器5采用特氟龙外壳包裹不锈钢棒的独特设计，该材质具有耐磨的特性，相对普通搅拌桨的使用寿命更长，也满足了防锈的使用需求，供液桶3内设置有用于冷却溶液的冷凝管6，冷凝管6在供液桶3的内部环绕设置，至少环绕供液桶3一圈，通过在冷凝管6注入冷却水，使冷却水环绕供液桶3流动，达到了充分冷却供液桶3的效果，冷凝管入水口601和冷凝管出水口602均外接冷水箱（图中未示出），冷水箱的作用是给冷凝管6提供冷却水，冷凝管6的管道上安装用于控制冷水供应的电磁阀14，电磁阀14安装在冷凝管入水口601上，电磁阀14控制冷水箱中的冷水供应，供液桶3的桶内设置有测温探头（图中未示出），对溶液的温度进行实时监测，当监测到溶液的温度达到设定的上限值时，电磁阀14打开启动冷水箱中的冷却水供应，对溶液进行冷却，当监测到溶液的温度达到设定的下限值时，电磁阀14关闭停止启动冷水箱中的冷却水供应。在本技术的某些实施例中，溶液供应装置还包括用于为储液桶2提供溶液的进液管9，进液管9与储液桶2相连通，进液管9的管道上设置有用于控制溶液进出的第一电动球阀10，当需要为储液桶2提供溶液的时候，第一电动球阀10打开，进液管9向储液桶2输送溶液，溶液供应装置还包括用于监测溶液液位的液位传感器13，液位传感器13伸入储液桶中，当液位传感器13监测到向储液桶2输送溶液的液位达到预设的阈值后，就会控制第一电动球阀10关闭，停止溶液的继续输送。在本技术的某些实施例中，溶液供应装置还包括第二泵体7以及过滤器8，第二泵体7的流量为22L/min，储液桶2、第二泵体7以及过滤器8通过管道依次首尾相连，储液桶2与第二泵体7管道之间设置有用于控制溶液进出的第二电动球阀11，储液桶2与供液桶3管道之间设置有用于控制溶液进出的第三电动球阀12，溶液在进入储液桶2后需要进行循环过滤，在对溶液进行过滤时，第三电动球阀12关闭，第二电动球阀11打开，第二泵体7提供动力推动溶液从储液桶2流向过滤器8，如此循环达成循环过滤的效果，当过滤溶液完成后需要把储液桶2上的溶液输送到供液桶3时，第三电动球阀12打开，第二电动球阀11关闭，第二泵体7提供动力推动溶液从储液桶2流入过滤器8，此时溶液经过过滤器8再对溶液进行一次过滤，然后再流入供液桶3中去。在本技术的某些实施例中，溶本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种溶液供应装置，其特征在于，其包括底板、安装在所述底板端面上依次通过管道连通的储液桶、供液桶以及第一泵体，所述储液桶内设置有用于搅拌溶液搅拌器，所述供液桶内设置有用于冷却溶液的冷凝管。/n
【技术特征摘要】
1.一种溶液供应装置，其特征在于，其包括底板、安装在所述底板端面上依次通过管道连通的储液桶、供液桶以及第一泵体，所述储液桶内设置有用于搅拌溶液搅拌器，所述供液桶内设置有用于冷却溶液的冷凝管。
2.根据权利要求1所述的一种溶液供应装置，其特征在于，所述溶液供应装置还包括第二泵体以及过滤器，所述储液桶、第二泵体以及过滤器通过管道依次首尾相连。
3.根据权利要求2所述的一种溶液供应装置，其特征在于，所述溶液供应装置还包括用于为储液桶提供溶液的进液管，所述进液管与所述储液桶相连通，所述进液管的管道上设置有用于控制溶液进出的第一电动球阀。
4.根据权利要求3所述的一种溶液供应装置，其特征在于，所述储液桶与所述第二泵体管道之间设置有用于控制溶液进出的第二电动球阀，所述储液桶与所述供液桶管道之间设置有用于控制溶液进出的第三电动球阀。
5.根据权利要求1所述的一种溶液供应装置，其特征在于，所述溶液供应装置还包括用于控制溶液液位...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖进龙，周铁军，叶成文，杨士超，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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