环境微粒侦测装置及微粒捕捉器制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种环境微粒侦测装置及微粒捕捉器，所述环境微粒侦测装置适用于存在多个微粒的一无尘室中，并且所述无尘室内所生产的一产品，其具有可沾附所述微粒的一沾附层。所述环境微粒捕捉装置包括多个微粒捕捉器，并且每个微粒捕捉器包含一载体及形成于所述载体顶承载面的一仿沾附层。所述仿沾附层能用来沾附粒径介于100微米～1500微米的所述微粒。多个所述微粒捕捉器用来设置于所述无尘室内，并且所述环境微粒侦测装置能通过多个所述微粒捕捉器所捕捉的所述微粒数量，用以测得所述无尘室中的多个所述微粒的分布状态。据此，微粒捕捉器结构简单且对应于所述产品，所以能够以较低成本来实现不同产品的微粒侦测。

【技术实现步骤摘要】
环境微粒侦测装置及微粒捕捉器
本技术涉及一种侦测装置，尤其涉及一种环境微粒侦测装置及微粒捕捉器。
技术介绍
现今的许多产品都必须在无尘室中生产，以避免上述产品沾附微粒而报废。然而，众多的产品所欲避免沾附的微粒种类与尺寸繁多，但现有侦测装置大但价格较高且仅能针对预定种类或预定尺寸的微粒进行侦测，所以如果要侦测不同产品时，则必须以不同的侦测装置或是更为高昂的侦测装置来实现微粒侦测。于是，本专利技术人认为上述缺陷可改善，于是潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本技术。
技术实现思路
本技术实施例在于提供一种环境微粒侦测装置及微粒捕捉器，其能有效地改善现有侦测装置所可能产生的缺陷。本技术实施例公开一种环境微粒侦测装置，其适用于存在多个微粒的一无尘室中，并且无尘室内所生产的一产品，其具有可沾附微粒的一沾附层，环境微粒捕捉装置包括：多个微粒捕捉器，其各包含有：一载体，其具有一顶承载面；及一仿沾附层，其形成于载体的顶承载面；其中，仿沾附层能用来沾附微粒，并且仿沾附层所能沾附的微粒的粒径介于100微米～1500微米；其中，多个微粒捕捉器用来设置于无尘室内，并且环境微粒侦测装置能通过多个微粒捕捉器所捕捉的微粒数量，用以测得无尘室中的多个微粒的分布状态。优选地，在每个微粒捕捉器中，载体呈板状，并且顶承载面呈平面状。优选地，在每个微粒捕捉器中，载体为一塑料板，并且仿沾附层为喷涂于顶承载面的一光阻层。优选地，在每个微粒捕捉器中，载体包含有位于顶承载面相反侧的一底设置面；任一个微粒捕捉器能通过载体的底设置面而用以置放在无尘室内的一预定位置。优选地，每个微粒捕捉器在底设置面上形成有一黏着层，以使多个微粒捕捉器能通过黏着层而分别设置于不同高度位置。优选地，每个微粒捕捉器的载体包含有位于顶承载面相反侧的一底承载面，并且每个微粒捕捉器包含有形成于底承载面的另一仿沾附层；在每个微粒捕捉器中，另一仿沾附层能用来沾附微粒，并且另一仿沾附层所能沾附的微粒的粒径介于100微米～1500微米。本技术实施例也公开一种微粒捕捉器，其适用于存在多个微粒的一无尘室中，并且无尘室内所生产的一产品，其具有可沾附微粒的一沾附层，微粒捕捉器包括：一载体，其具有一顶承载面；以及一仿沾附层，其形成于载体的顶承载面；其中，仿沾附层能用来沾附微粒，并且仿沾附层所能沾附的微粒的粒径介于100微米～1500微米。优选地，载体为一塑料板，并且仿沾附层为喷涂于顶承载面的一光阻层。优选地，载体包含有位于顶承载面相反侧的一底设置面，微粒捕捉器能通过载体的底设置面而用以置放在无尘室内的一预定位置。优选地，微粒捕捉器的载体包含有位于顶承载面相反侧的一底承载面，并且微粒捕捉器包含有形成于底承载面的另一仿沾附层，并且另一仿沾附层能用来沾附微粒，并且另一仿沾附层所能沾附的微粒的粒径介于100微米～1500微米。综上所述，本技术实施例所公开的环境微粒侦测装置及微粒捕捉器，其结构简单且对应于所述产品，所以能够以较低成本来实现不同产品的微粒侦测。再者，所述微粒捕捉器所沾附的所述微粒的情况能够接近所述产品所可能被污染的微粒分布情况，更利于使用者进行针对性的改善措施。为能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本技术，而非对本技术的保护范围作任何的限制。附图说明图1为本技术实施例一的环境微粒捕捉装置应用在无尘室的平面示意图。图2为本技术实施例一的微粒捕捉器的立体示意图。图3为本技术实施例二的微粒捕捉器的立体示意图。图4为本技术实施例二的微粒捕捉器的应用在无尘室的立体示意图。图5为本技术实施例三的微粒捕捉器的立体示意图。图6为本技术实施例三的微粒捕捉器的应用在无尘室的立体示意图。{符号说明}微粒P无尘室E产品200微粒捕捉器100载体1顶承载面11底设置面12底承载面12’仿沾附层2另一仿沾附层2’黏着层3具体实施方式以下是通过特定的具体实施例来说明本技术所公开有关“环境微粒侦测装置及微粒捕捉器”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本技术的优点与效果。本技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本技术的保护范围。应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。[实施例一]请参阅图1和图2所示，其为本技术的实施例一；本实施例公开一种环境微粒侦测装置，其适用于存在多个微粒P的一无尘室E中，并且所述无尘室E内所生产的一产品200，其具有可沾附所述微粒P的一沾附层。其中，所述环境微粒捕捉装置在本实施例中包括适用于存在多个微粒P的无尘室E中的多个微粒捕捉器100；也就是说，多个所述微粒捕捉器100用来设置于所述无尘室E内，并且所述环境微粒侦测装置能通过多个所述微粒捕捉器100所捕捉的所述微粒P数量，用以测得所述无尘室E中的多个所述微粒P的分布状态。再者，多个所述微粒捕捉器100可以依据实际需求而用来间隔地设置于所述无尘室E，并且多个所述微粒捕捉器100能分别位于不同高度位置。举例来说，基于现有侦测装置仅能对其所处的区域附近进行微粒侦测，并无法确切地得知所述产品200是在无尘室E的哪个区域受到污染或沾附微粒P，但本实施例的多个所述微粒捕捉器100可以设置在所述产品200在所述无尘室E中的动作路径上，据以准确地测得所述产品200在所述无尘室E的不同位置的受污染情况，进而有效地改善所述产品200的生产良率。需说明的是，所述环境微粒侦测装置在本实施例中是以包含有多个所述微粒捕捉器100来说明，但本技术不受限于此。举例来说，在本技术未绘示的其他实施例中，任一个所述微粒捕捉器100也可以被单独地应用(如：贩卖)或搭配其他构件使用。再者，由于多个所述微粒捕捉器100的构造在本实施例中大致相同，所以为了便于说明，以下先介绍单个所述微粒捕捉器100的构造，但本技术不受限于此。举例来说，在本技术未绘示的其他实施例中，所述环境微粒侦测装置也可以包含构造略有差异的多个所述微粒捕捉器100。所述微粒捕捉器100包含有一载体1与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环境微粒侦测装置，其特征在于，所述环境微粒侦测装置适用于存在多个微粒的一无尘室中，并且所述无尘室内所生产的一产品，其具有可沾附所述微粒的一沾附层，环境微粒捕捉装置包括：/n多个微粒捕捉器，其各包含有：/n一载体，其具有一顶承载面；及/n一仿沾附层，其形成于所述载体的所述顶承载面；其中，所述仿沾附层能用来沾附所述微粒，并且所述仿沾附层所能沾附的所述微粒的粒径介于100微米～1500微米；/n其中，多个所述微粒捕捉器用来设置于所述无尘室内，并且所述环境微粒侦测装置能通过多个所述微粒捕捉器所捕捉的微粒数量，用以测得所述无尘室中的多个所述微粒的分布状态。/n

【技术特征摘要】
1.一种环境微粒侦测装置，其特征在于，所述环境微粒侦测装置适用于存在多个微粒的一无尘室中，并且所述无尘室内所生产的一产品，其具有可沾附所述微粒的一沾附层，环境微粒捕捉装置包括：
多个微粒捕捉器，其各包含有：
一载体，其具有一顶承载面；及
一仿沾附层，其形成于所述载体的所述顶承载面；其中，所述仿沾附层能用来沾附所述微粒，并且所述仿沾附层所能沾附的所述微粒的粒径介于100微米～1500微米；
其中，多个所述微粒捕捉器用来设置于所述无尘室内，并且所述环境微粒侦测装置能通过多个所述微粒捕捉器所捕捉的微粒数量，用以测得所述无尘室中的多个所述微粒的分布状态。


2.根据权利要求1所述的环境微粒侦测装置，其特征在于，在每个所述微粒捕捉器中，所述载体呈板状，并且所述顶承载面呈平面状。


3.根据权利要求1所述的环境微粒侦测装置，其特征在于，在每个所述微粒捕捉器中，所述载体为一塑料板，并且所述仿沾附层为喷涂于所述顶承载面的一光阻层。


4.根据权利要求1所述的环境微粒侦测装置，其特征在于，在每个所述微粒捕捉器中，所述载体包含有位于所述顶承载面相反侧的一底设置面；任一个所述微粒捕捉器能通过所述载体的所述底设置面而用以置放在所述无尘室内的一预定位置。


5.根据权利要求4所述的环境微粒侦测装置，其特征在于，每个所述微粒捕捉器在所述底设置面上形成有一黏着层，以使多个所述微粒捕捉器能通过所述黏着层而分别设置于不同高度位置。


6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：林刘恭，
申请(专利权)人：光群雷射科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71