一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备制造技术

技术编号:26816767 阅读:36 留言:0更新日期:2020-12-25 11:37
本实用新型专利技术属于氯硅烷处理设备技术领域,公开了一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,包括内部为中空腔体、顶部设置有可开启顶盖的过滤罐体,过滤罐体侧壁上部靠近其顶盖处设置有带有阀口的氯硅烷液体入口,过滤罐体内部的中空腔体自上而下依次设置有带孔漏板和若干层内部含有活性炭粉的过滤板;过滤罐体底部设置有带有阀门的氯硅烷液体出口,是一种基于过滤方法、且内部结构简明、便于维护使用的用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备。

【技术实现步骤摘要】
一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备
本技术属于氯硅烷处理设备
,具体涉及一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备。
技术介绍
氯硅烷是一种化学品,通常用作硅外延片生产过程中的硅源及制备有机氯硅烷的原料,能与含活泼氢的化合物进行激烈反应。氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应,如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等,放出氯化氢;与有机金属化合物反应,氯原子被相应的有机基取代,生成有机氯硅烷或有机硅烷。氯硅烷的生产成本很低,但是在它们生产过程中容易生成卤化物,如氯化铝。氯硅烷中含有的氯化铝容易受温度影响析出,析出的氯化铝呈白色晶体,容易吸附在阀门、管道上面,阻塞管道和阀门,影响设备的使用寿命。虽然可通过蒸馏来移除氯化铝,但是非常困难,因为蒸馏系统内往往会形成固态沉积物,并且不可能直接产生高浓度铝液态废物,因此需要处理的废物较多,费用高昂并且造成环境问题。如现有技术中,公开号为CN203866043U,名称为“一种从氯硅烷中去除三氯化铝的装置”的技术专利文献,提供一种从氯硅烷中去除三氯化铝的装置,该装置依次包括原液储罐、第一蒸馏塔、第一除杂器、缓冲罐、第二蒸馏塔、第二除杂器、冷凝器和提纯储罐,原液储罐与第一蒸馏塔下部连接,第一蒸馏塔顶部与第一除杂器连接,第一除杂器与缓冲罐顶部连接,缓冲罐底部与第二蒸馏塔连接,第二蒸馏塔与第二除杂器顶部连接,第二蒸馏塔顶部与冷凝器顶部连接,冷凝器与提纯储罐连接,各部件均通过管路连接。现有技术的这种方案就是依然是基于蒸馏的方式对氯硅烷中的氯化铝进行去除,并且这种方案整体设备结构复杂,实现成本较高,也有比较高的维护要求。
技术实现思路
本技术是针对现有技术的不足,提出一种基于过滤方法、且内部结构简明、便于维护使用的用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备。为了实现上述技术目的,其具体的技术方案如下:一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,其特征在于:包括内部为中空腔体、顶部设置有可开启顶盖的过滤罐体,过滤罐体侧壁上部靠近其顶盖处设置有带有阀口的氯硅烷液体入口,过滤罐体内部的中空腔体自上而下依次设置有带孔漏板和若干层内部含有活性炭粉的过滤板;过滤罐体底部设置有带有阀门的氯硅烷液体出口;将含有氯化铝的氯硅烷液体通过氯硅烷液体入口放入设备当中,缓慢通入,氯硅烷液体经过带孔漏板,将氯硅烷液体均匀的流到下面的过滤板,当氯硅烷液体流过过滤板中的活性炭时,氯化铝便会吸附在活性碳上面,经过若干层过滤板的氯硅烷流到过滤罐体的下部,等积攒到一定量时,关闭进口,打开下面的阀门一次性排出即可,此过滤器设备顶部可以打开,方便更换滤片。而所述带孔漏板为形状和尺寸与过滤罐体内中空腔体对应、具有一定厚度且带有若干通孔作为漏孔的塑料材板,塑料板材具有较好的耐腐蚀性,且轻便好更换,便于拆装且成本低,同时带孔漏板还能兼顾将输入的氯硅烷液体缓慢滴入过滤板以及拦截大颗粒残渣的作用。对应的,所述过滤板为形状和尺寸与过滤罐体内中空腔体对应、具有一定厚度带有若干通孔,且通孔中填有活性炭粉的橡胶滤板,橡胶材质耐腐蚀,成本低并且便于拆换,还具有较好的封闭性,氯硅烷液体只能通过其填有活性炭粉的通孔向下。优选地,所述过滤板为四层且均匀间隔设置在过滤罐体的中空腔体内,四层过滤的实际效果已经满足使用,并且还能保证较好的过滤速率。进一步的,所述顶盖为通过铰接结构可开合设置在过滤罐体顶部的向上突起的弧形顶盖,且顶盖与过滤罐体之间还通过锁扣连接,向上突起便于布置隔断或者密闭件,有锁扣也更保证稳定。如上所述,所述顶盖与过滤罐之间设置有橡胶垫片作为密封。优选地,所述过滤罐体侧壁为圆柱形、底部为向下收拢的圆锥形体便于布置过滤板同时也方便拆卸和提供最大内部尺寸,所述氯硅烷液体出口设置在过滤罐体底部圆锥形体锥尖位置,保证能够流出所有过滤后的氯硅烷液体。优选地,所述氯硅烷液体入口的阀口通过法兰可拆卸的与带有阀门的氯硅烷液体输入管道相连,即设备整体也可以从生产线上快速拆装,具有更好的适用性。附图说明本技术的前述和下文具体描述在结合以下附图阅读时变得更清楚,附图中:图1为本技术一种优选方案的基本结构示意图;图2为本技术过滤板一种优选方案的基本结构示意图;图中:1、法兰盘;2、阀门;3、顶盖;4、橡胶垫片;5、锁扣;6、带孔漏板;7、过滤板;8、活性碳粉。具体实施方式下面通过几个具体的实施例来进一步说明实现本技术目的技术方案,需要说明的是,本技术要求保护的技术方案包括但不限于以下实施例。实施例1作为本技术一种最基本的实施方案,如图1,提供了一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,包括内部为中空腔体、顶部设置有可开启顶盖3的过滤罐体,过滤罐体侧壁上部靠近其顶盖3处设置有带有阀口的氯硅烷液体入口,过滤罐体内部的中空腔体自上而下依次设置有带孔漏板6和若干层内部含有活性炭粉的过滤板7;过滤罐体底部设置有带有阀门2的氯硅烷液体出口;将含有氯化铝的氯硅烷液体通过氯硅烷液体入口放入设备当中,缓慢通入,氯硅烷液体经过带孔漏板6,将氯硅烷液体均匀的流到下面的过滤板7,当氯硅烷液体流过过滤板7中的活性炭时,氯化铝便会吸附在活性碳上面,经过若干层过滤板7的氯硅烷流到过滤罐体的下部,等积攒到一定量时,关闭进口,打开下面的阀门2一次性排出即可,此过滤器设备顶部可以打开,方便更换滤片。实施例2作为本技术一种优选地实施方案,在上述实施例1的技术方案基础上,进一步的,所述带孔漏板6为形状和尺寸与过滤罐体内中空腔体对应、具有一定厚度且带有若干通孔作为漏孔的塑料材板,塑料板材具有较好的耐腐蚀性,且轻便好更换,便于拆装且成本低,同时带孔漏板6还能兼顾将输入的氯硅烷液体缓慢滴入过滤板7以及拦截大颗粒残渣的作用。对应的,如图2,所述过滤板7为形状和尺寸与过滤罐体内中空腔体对应、具有一定厚度带有若干通孔,且通孔中填有活性炭粉的橡胶滤板,橡胶材质耐腐蚀,成本低并且便于拆换,还具有较好的封闭性,氯硅烷液体只能通过其填有活性炭粉的通孔向下。优选地,所述过滤板7为四层且均匀间隔设置在过滤罐体的中空腔体内,四层过滤的实际效果已经满足使用,并且还能保证较好的过滤速率。进一步的,所述顶盖3为通过铰接结构可开合设置在过滤罐体顶部的向上突起的弧形顶盖3,且顶盖3与过滤罐体之间还通过锁扣5连接,向上突起便于布置隔断或者密闭件,有锁扣5也更保证稳定。如上所述,所述顶盖3与过滤罐之间设置有橡胶垫片4作为密封。优选地,所述过滤罐体侧壁为圆柱形、底部为向下收拢的圆锥形体便于布置过滤板7同时也方便拆卸和提供最大内部尺寸,所述氯硅烷液体出口设置在过滤罐体底部圆锥形体锥尖位置,保证能够流出所有过滤后的氯硅烷液体。优选地,所述氯硅烷液体入口的阀口通过法兰可拆卸的与带有阀门2的氯硅烷液体输入管道相连,即设备整体也可以从生产线上快速拆装,具有更好的适用性。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,其特征在于:包括内部为中空腔体、顶部设置有可开启顶盖(3)的过滤罐体,过滤罐体侧壁上部靠近其顶盖(3)处设置有带有阀口的氯硅烷液体入口,过滤罐体内部的中空腔体自上而下依次设置有带孔漏板(6)和若干层内部含有活性炭粉的过滤板(7);过滤罐体底部设置有带有阀门(2)的氯硅烷液体出口。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,其特征在于:包括内部为中空腔体、顶部设置有可开启顶盖(3)的过滤罐体,过滤罐体侧壁上部靠近其顶盖(3)处设置有带有阀口的氯硅烷液体入口,过滤罐体内部的中空腔体自上而下依次设置有带孔漏板(6)和若干层内部含有活性炭粉的过滤板(7);过滤罐体底部设置有带有阀门(2)的氯硅烷液体出口。


2.如权利要求1所述的一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,其特征在于:所述带孔漏板(6)为形状和尺寸与过滤罐体内中空腔体对应、且带有若干通孔作为漏孔的塑料材板。


3.如权利要求1所述的一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,其特征在于:所述过滤板(7)为形状和尺寸与过滤罐体内中空腔体对应、带有若干通孔且通孔中填有活性炭粉的橡胶滤板。


4.如权利要求1或3所述的一种用于除掉氯硅烷中氯化铝的过滤器设备,其特征在于:所述过滤...

【专利技术属性】
技术研发人员:王文柳军强吴梅
申请(专利权)人:四川绿源聚能环保科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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