一种多探测器的X射线荧光微区扫描仪器制造技术

本实用新型专利技术涉及X射线检测仪器的技术领域，尤其是涉及一种多探测器的X射线荧光微区扫描仪器。一种多探测器的X射线荧光微区扫描仪器，包括X射线发生装置、X射线收束装置、探测装置、移动装置及分析处理数据信息的计算机，所述探测装置包括至少两个探测器，所有探测器的探测面与X射线收束装置的射出焦点之间的距离相等。X射线发生装置产生X射线，产生的X射线通过X射线收束装置收束形成小焦斑。X射线照射样品后产生的荧光数据被探测器采集发送到计算机进行分析。通过设置多个探测器来增加探测面积和计数率，同时探测器的死时间并不会增加，实现高精度且高效率的扫描。

【技术实现步骤摘要】
一种多探测器的X射线荧光微区扫描仪器
本技术涉及X射线检测仪器的
，尤其是涉及一种多探测器的X射线荧光微区扫描仪器。
技术介绍
XRF技术具有无损、快速、分析范围广、定量精度高等优点，在冶金、建材、矿产开发等领域有着十分广泛的应用，XRF定量范围涵盖痕量到常量，并且对样品形态无要求，因此XRF扫描可以和直读光谱、电镜等其它类型的扫描技术形成互补。近年来，随着冶金、新材料研发等领域的产业升级和人们的认知不断向微观领域拓展，单纯的材料宏观元素含量检测已经不再满足需求，微区扫描型XRF的概念也随之应运而生。申请公布号为CN109298004A的专利技术专利公开了一种X射线荧光光谱仪。该方案中通过X射线管发生装置发射X射线到达样品台上的样品位置。样品被照射后，组成样品的原子的内层电子在X射线的照射下脱离原子的束缚，成为自由电子。此时其他的外层电子便会跃迁到这一空位，这个过程中会以荧光（次级X射线）的形式放出能量。由于每一种元素的原子能级结构都是特定的，因此发出的荧光的能量/波长也是特定的。通过测定荧光的能量/波长便可以确定相应元素的存在，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多探测器的X射线荧光微区扫描仪器，包括X射线发生装置(1)、X射线收束装置(2)、探测装置(4)、移动装置(5)及分析处理数据信息的计算机，其特征是：所述探测装置(4)包括至少两个探测器(11)，所有探测器(11)的探测面与X射线收束装置(2)的射出焦点之间的距离相等。/n

【技术特征摘要】
1.一种多探测器的X射线荧光微区扫描仪器，包括X射线发生装置(1)、X射线收束装置(2)、探测装置(4)、移动装置(5)及分析处理数据信息的计算机，其特征是：所述探测装置(4)包括至少两个探测器(11)，所有探测器(11)的探测面与X射线收束装置(2)的射出焦点之间的距离相等。


2.根据权利要求1所述的多探测器的X射线荧光微区扫描仪器，其特征是：所述X射线发生装置(1)包括小焦斑X射线管，所述X射线收束装置(2)为将X射线发生装置(1)产生的X射线汇聚的多毛细管X射线透镜。


3.根据权利要求2所述的多探测器的X射线荧光微区扫描仪器，其特征是：所述X射线发生装置(1)的下方连接有安装架(8)，所述安装架(8)下端面的中部成型有空腔(9)，所述多毛细管X射线透镜竖直向下伸入空腔(9)内。


4.根据权利要求3所述的多探测器的X射线荧光微区扫描仪器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明博，赵雷，胡学强，杨博赞，
申请(专利权)人：钢研纳克检测技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11