对称型色分离光栅制造技术

对称型色分离光栅，每个光栅周期内包含三个位相台阶，其特征在于它为中心对称结构，每个光栅周期中最底部槽口位于一种光栅周期中央，三个位相台阶的深度为： ｈ↓［１］＝ｈ↓［２］＝λ／ｎ－１， 各位相台阶的总宽度之和完全相等 Ｗ↓［１１］＋Ｗ↓［１２］＝Ｗ↓［２１］＋Ｗ↓［２２］＝Ｗ↓［３］ 而且各台阶的各部分相等 Ｗ↓［１１］＝Ｗ↓［１２］＝Ｗ↓［２１］＝Ｗ↓［２２］＝ｄ／６ 式中：λ为入射基频光波长， ｄ为光栅的周期， ｎ为基底材料的折射率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种将三倍频光从基频光和二倍频光中分离出来的色分离光栅，特别是一种采用二元光学技术制造的对称型色分离光栅，它可消除套刻模板间对准误差，提高成品率，降低成本，便于制造。采用二元光学技术制造的三台阶位相光栅是最简单的一种色分离光栅，如附图说明图1所示，色分离光栅是一种表面刻蚀的周期性位相光栅。它每个周期内有三个台阶，分别用201，202，203表示，它们的宽度都相等，即W1＝W2＝W3＝d/3 (1)其中d为光栅的周期。202到201的深度h1和203到202的深度h2相等，h1=h2=λ(n-1)----(2)]]>其中λ为入射基频光的波长，n为基底材料的折射率。色分离光栅工作原理如图2所示，1是包含有三种频率的激光，2是色分离光栅，3是会聚透镜。三种频率的激光经过色分离光栅2后，被色分离光栅2所衍射，衍射的光经过会聚透镜3，在会聚透镜3的焦平面上实现了不同频率光的分离。对于三倍频光来讲，台阶间的位相差正好是2π和4π，不同台阶间2π的位相差不会引起光束的偏折，因此光束仍按原来的光路行进。对于二倍频光来讲，台阶间的位相差正好为0，4π/本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周常河，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：