靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，包括定位板，以及位于所述定位板上且向外凸起、用于供待加工工件第一端套设其中的定位块，还包括贴覆在所述待加工工件第一端外表面的保护层，以及套设于所述保护层上、用于对所述待加工工件内腔流出的水进行隔挡及引流的挡板，当待加工工件在拆卸或喷涂过程时,该装置的挡板可以将工件管内流出的冷却水隔挡并引流到地面,避免冷却水流向或溅射到靶材加工段上,避免了工件的开裂,提高了工件质量以及良品率。

【技术实现步骤摘要】
靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置
本技术涉及靶材加工
，尤其涉及一种靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置。
技术介绍
在相关技术中，靶材一端安装到工装上，其内腔冷却水流动，靶材在拆卸或喷涂过程中漏水时管内冷却水流向或者溅射到保护区域外的靶材上，因为靶材外部温度较高，遇冷可能会开裂，使得靶材质量降低。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，包括定位板，以及位于所述定位板上且向外凸起、用于供待加工工件第一端套设其中的定位块，还包括贴覆在所述待加工工件第一端外表面的保护层，以及套设于所述保护层上、用于对所述待加工工件内腔流出的水进行隔挡及引流的挡板。优选地，所述挡板呈环形平板结构。优选地，所述挡板呈方形平板结构。优选地，所述挡板呈异形平板结构。优选地，所述挡板具有一开缝，所述开缝两侧可相对位移。优选地，所述挡板包括中心开设定位孔的板状主体，以及由所述定位孔边缘面向所述定位块延本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，包括定位板(100)，以及位于所述定位板(100)上且向外凸起、用于供待加工工件(200)第一端套设其中的定位块(101)，其特征在于，还包括贴覆在所述待加工工件(200)第一端外表面的保护层(1)，以及套设于所述保护层(1)上、用于对所述待加工工件(200)内腔流出的水进行隔挡及引流的挡板(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，包括定位板(100)，以及位于所述定位板(100)上且向外凸起、用于供待加工工件(200)第一端套设其中的定位块(101)，其特征在于，还包括贴覆在所述待加工工件(200)第一端外表面的保护层(1)，以及套设于所述保护层(1)上、用于对所述待加工工件(200)内腔流出的水进行隔挡及引流的挡板(2)。


2.根据权利要求1所述的靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，其特征在于，所述挡板(2)呈环形平板结构。


3.根据权利要求1所述的靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，其特征在于，所述挡板(2)呈方形平板结构。


4.根据权利要求1所述的靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，其特征在于，所述挡板(2)呈异形平板结构。


5.根据权利要求1-4任一项所述的靶材喷涂拆卸工装的防溅水装置，其特征在于，所述挡板(2)具有一开缝，所述开缝两侧可相对位移。

【专利技术属性】
技术研发人员：李宝英，黄勇彪，林文宝，
申请(专利权)人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44