加热器支架以及加热器装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种加热器支架以及加热器装置，通过抑制或防止与加热器接触的部分的侵蚀，能够抑制或防止加热器的脱落、加热器的卷线间的短路。至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体来制成加热器支架。由于能够对与加热器的接触部分赋予高耐热性以及高耐腐蚀性，因此具有氧化铝的组成的晶体优选为蓝宝石单晶。进一步地，由于能够进一步提高加热器支架的强度和耐久性以及可靠性，由此更优选由蓝宝石单晶制成加热器支架整体。进一步地，具备与由钽、钨、钼或它们的合金构成的加热器接触的所述加热器支架而构成加热器装置。

【技术实现步骤摘要】
加热器支架以及加热器装置
本专利技术涉及加热器支架以及加热器装置。
技术介绍
在用于分子束外延(MBE：MolecularBeamEpitaxy)装置的分子束源中，为了填充并加热所要蒸发的原料而使用坩埚。为了对该坩埚进行加热，在坩埚的周围卷绕排列有线圈状的加热器。为了将该线圈状的加热器保持在固定位置，公开了形成有加热器排列用的槽的加热器支架(例如，参照专利文献1)。另外，作为形成这样的加热器支架的材料，例如使用PBN(PyrolyticBoronNitride，热解氮化硼)(例如，参照非专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特公平03-18734号公报非专利文献非专利文献1：“PBN的用途例”，[online]，信越化学工业株式会社，[平成29年9月1日检索]，因特网<URL:https://www.shinetsu.co.jp/jp/products/pdf/PBN-01_What_is_PBN.pdf>
技术实现思路
r>专利技术所要解决本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热器支架，其特征在于，至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体制成。/n

【技术特征摘要】
20190620 JP 2019-1143341.一种加热器支架，其特征在于，至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体制成。


2.根据权利要求1所述的加热器支架，其特征在于，所述具有氧化铝的组成的晶体...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎真行，小暮公男，松本康裕，风间良秋，市原正浩，
申请(专利权)人：安达满纳米奇精密宝石有限公司，株式会社桑尼克，佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP