一种RO+EDI高效除硼系统技术方案

本发明专利技术提供一种RO+EDI高效除硼系统，包括依次包括前处理系统、一级RO系统、二级RO系统、EDI系统、除硼装置、供水系统，所述一级RO系统包括保安过滤器、一级RO高压泵、一级RO装置，所述二级RO系统包括二级RO高压泵、二级RO装置、二级RO水箱，所述EDI系统包括EDI增压泵、EDI保安过滤器、EDI装置，所述供水系统包括超纯水箱、后端抛光系统，在一级RO装置的出水口与二级RO高压泵的进水口之间设置有PH调节装置。通过本发明专利技术，以解决现有技术存在的无法通过传统的二级RO+EDI的工艺，将硼离子降至目标值，无法保证系统的出水要求的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种RO+EDI高效除硼系统
本专利技术涉及一种水处理系统，具体涉及一种RO+EDI高效除硼系统。
技术介绍
随着硅片的尺寸越来越大，对超纯水水质的要求也在不断提升，在8”、12”半导体行业中，超纯系统出水对硼离子含量的要求提到了50ppt-10ppt之间，而各地自来水中的含硼量各不相同，像浙江地区、天津地区等地方的自来水中的硼含量已经达到了60000ppt，而硼离子为弱电性，非常不易被去除，而水中的硼大多是以硼酸(B(OH)3的形式存在，电性非常的弱，在水中常可以发生可逆水解反应，故需要在超纯水系统中改变特殊的针对除硼的工法，解决二级RO+EDI系统中对硼离子去除的难题。目前现有工艺方法中，对地区水质较恶劣的情况下，在考虑经济和实用性的前提下，会选用二级RO系统+EDI系统，当然根据水质要求的不同，还会配置对应的设备，但是选用一般的二级RO，对硼的去除效率不高，一般一级RO对硼的去除效率，仅为25％左右，而后端的二级RO，当PH到10时，会影响出水的电导率值，虽然对硼的去除率略有增加，但是二级RO出水水质变恶劣，故并不能一味地通过提高PH值来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种RO+EDI高效除硼系统，依次包括前处理系统(1)、一级RO系统、二级RO系统、EDI系统、除硼装置(11)、供水系统，其特征在于，所述一级RO系统包括保安过滤器(2)、一级RO高压泵(3)、一级RO装置(4)，所述二级RO系统包括二级RO高压泵(5)、二级RO装置(6)、二级RO水箱(7)，所述EDI系统包括EDI增压泵(8)、EDI保安过滤器(9)、EDI装置(10)，所述供水系统包括超纯水箱(12)、后端抛光系统(13)，所述一级RO装置(4)的出水管与所述二级RO高压泵(5)连通，所述二级RO水箱与EDI系统的EDI增压泵进水口连通，在一级RO装置的出水口与二级RO高压泵的进水...

【技术特征摘要】
1.一种RO+EDI高效除硼系统，依次包括前处理系统(1)、一级RO系统、二级RO系统、EDI系统、除硼装置(11)、供水系统，其特征在于，所述一级RO系统包括保安过滤器(2)、一级RO高压泵(3)、一级RO装置(4)，所述二级RO系统包括二级RO高压泵(5)、二级RO装置(6)、二级RO水箱(7)，所述EDI系统包括EDI增压泵(8)、EDI保安过滤器(9)、EDI装置(10)，所述供水系统包括超纯水箱(12)、后端抛光系统(13)，所述一级RO装置(4)的出水管与所述二级RO高压泵(5)连通，所述二级RO水箱与EDI系统的EDI增压泵进水口连通，在一级RO装置的出水口与二级RO高压泵的进水口之间设置有PH调节装置(15)。


2.如权利要求1所述的RO+EDI高效除硼系统，其特征在于，所述一级RO装置选用低压膜或增强型低污染低压反渗透复合膜。


3.如权利要求1所述的RO+EDI高效除硼系统，其特征在于，所述二级...

【专利技术属性】
技术研发人员：李彩娟，何嘉慧，孙震，戎宇舟，
申请(专利权)人：江苏中电创新环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32