用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和相应的微机械设备技术

本发明专利技术涉及一种用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和一种相应的微机械设备。所述制造方法包括以下步骤：提供具有前侧(VS)和后侧(RS)的第一衬底(S1)；在所述第一衬底(S1)中形成多个间隔开的通孔(F1、F2)，所述通孔沿着多个间隔开的列(R1、R2)布置在所述第一衬底(S1)中；沿着所述列(R1、R2)中的每一列形成相应的连续的斜的槽(N1、N2)，所述槽确定用于倾斜的光学窗(G1、G2)的支座；并且将所述光学窗(G1、G2)在所述通孔(F1、F2)上方接合到所述槽(N1、N2)中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和相应的微机械设备
本专利技术涉及一种用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法和相应的微机械设备。
技术介绍
虽然也可以应用任意的光学设备和系统，但本专利技术和基于本专利技术的问题参照光学微机械微镜扫描器设备进行阐释。微机械MEMS构件必须针对有害的外部环境影响(例如湿气、侵蚀性介质等)受到保护。同样必要的是针对机械触碰/损害以及为了实现由晶片复合结构通过锯切分离成芯片的防护。在许多情况下也必须通过严密封装才能够实现确定的气氛(例如气体类型和/或气体压力)的调设。具有带腔和通孔的罩晶片的MEMS构件在晶片复合结构中的封装已经详细地设定。为此将罩晶片关于具有MEMS结构的晶片进行调整并且与该晶片接合在一起。所述接合例如可以通过阳极键合或直接键合(在玻璃和硅之间的无接合剂的连接)、通过共晶接合层或通过玻璃焊剂或粘接剂实现。MEMS构件位于罩晶片的腔下方，其中，用于借助细线材连接MEMS构件的电键合垫可以通过罩晶片中的通孔接近。对于光学微机械MEMS构件(MOEMS)、如微镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法，该制造方法具有以下步骤：/n提供具有前侧(VS)和后侧(RS)的第一衬底(S1)；/n在所述第一衬底(S1)中形成多个间隔开的通孔(F1、F2)，所述通孔沿着多个间隔开的列(R1、R2)布置在所述第一衬底(S1)中；/n沿着所述列(R1、R2)中的每一列形成相应的连续的斜的槽(N1、N2)，所述槽确定用于倾斜的光学窗(G1、G2)的支座；并且/n将所述光学窗(G1、G2)在所述通孔(F1、F2)上方接合到所述槽(N1、N2)中。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180509 DE 102018207201.91.用于具有倾斜的光学窗的微机械设备的制造方法，该制造方法具有以下步骤：
提供具有前侧(VS)和后侧(RS)的第一衬底(S1)；
在所述第一衬底(S1)中形成多个间隔开的通孔(F1、F2)，所述通孔沿着多个间隔开的列(R1、R2)布置在所述第一衬底(S1)中；
沿着所述列(R1、R2)中的每一列形成相应的连续的斜的槽(N1、N2)，所述槽确定用于倾斜的光学窗(G1、G2)的支座；并且
将所述光学窗(G1、G2)在所述通孔(F1、F2)上方接合到所述槽(N1、N2)中。


2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，相邻的槽(N1、N2)沿相反的方向倾斜。


3.根据权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述光学窗(G1、G2)沿着所述光学窗的整个周边严密密封地接合。


4.根据前述权利要求中任一项所述的制造方法，其中，所述槽(N1、N2)以机械磨削过程形成。


5.根据前述权利要求中任一项所述的制造方法，其中，在形成所述槽(N1、N2)之后将第二衬底(S2)键合到所述前侧(VS)上，其中，在所述第二衬底(S2)中形成用于装入所述光学窗(G1、G2)的装入开口(D1、D2)。


6.根据权利要求5所述的制造方法，其中，所述槽(N1、N2)和所述第二衬底(S2)这样构型，使得所述光学窗(G1、G2)完全沉降在所述第二衬底(S2)中。


7.根据权利要求5或6所述的制造方法，其中，所述装入开口(D1、D2)构造为用于所述光学窗(G1、G2)的侧面导向部。


8.根据前述权利要求中任一项所述的制造方法，其中，所述光学窗(G1、G2)为了接合在边缘上环绕地设有玻璃焊剂，然后通过取放过程装入到所述槽(N1、N...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·施托伊尔，S·平特，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE