【技术实现步骤摘要】
扫描探针显微镜的测量装置和利用扫描探针显微镜对测量样品进行扫描探针显微测试的方法相关申请的交叉引用本专利技术要求于2019年6月18日提交德国专利商标局、申请号为102019116471.0的德国专利申请的优先权，该韩国专利申请的全部内容通过引用整体并入本文。
本专利技术涉及一种用于扫描探针显微镜的测量装置、一种扫描探针显微镜以及一种用于利用扫描探针显微镜对测量样品进行扫描探针显微测试的方法。
技术介绍
这样的扫描探针显微镜以不同的实施形式已知。所述扫描探针显微镜用于，扫描探针显微式地测试测量样品。这里，为了扫描测量样品在测量探针的探针尖与样品容纳部之间进行相对运动，测量样品为了进行测试而设置在所述样品容纳部。测量探针和样品容纳部借助于移位装置相对于彼此运动。探针尖和测量样品发生相互作用。针对这种相互作用探测测量信号。在探针显微式测试中，通过测量探针扫描测量样品。这里要注意的是，由测量探针在测试时实际执行的扫描也对应于对于测量技术上的测试预先规定和规划的扫描形式，从而在扫描时产生的测试样品图像...
【技术保护点】
1.用于扫描探针显微镜的测量装置(20；30)，具有/n-样品容纳部(7)，所述样品容纳部设置成，用于容纳要测试的测量样品(6)；/n-测量探针(2)，所述测量探头设置在探针支架(3)上并且具有探针尖(5)，利用所述探头尖能够测量所述测量样品(6)；/n-移位装置(8)，所述移位装置设置成，用于为了对测量样品(6)进行测量而使测量探针(2)和样品容纳部(7)相对于彼此运动，从而使得测量探针(2)相对于测量样品(6)沿至少一个空间方向实施扫描运动；/n-控制装置(23)，所述控制装置与移位装置(8)连接并且控制测量探针(2)和样品容纳部(7)之间的相对运动；以及/n-传感器装...
【技术特征摘要】
20190618 DE 102019116471.01.用于扫描探针显微镜的测量装置(20；30)，具有
-样品容纳部(7)，所述样品容纳部设置成，用于容纳要测试的测量样品(6)；
-测量探针(2)，所述测量探头设置在探针支架(3)上并且具有探针尖(5)，利用所述探头尖能够测量所述测量样品(6)；
-移位装置(8)，所述移位装置设置成，用于为了对测量样品(6)进行测量而使测量探针(2)和样品容纳部(7)相对于彼此运动，从而使得测量探针(2)相对于测量样品(6)沿至少一个空间方向实施扫描运动；
-控制装置(23)，所述控制装置与移位装置(8)连接并且控制测量探针(2)和样品容纳部(7)之间的相对运动；以及
-传感器装置(21)，所述传感器装置设置成，用于对于测量探针(2)的运动和/或样品容纳部(7)的运动以绝对测量的方式检测运动测量信号并将所述运动测量信号发送给控制装置(23)，在测量探针(2)与样品容纳部(7)之间发生相对运动时实施测量探针和/或样品容纳部的所述运动；
其中，所述控制装置(23)还设置成，根据所述运动测量信号控制测量探针(2)与样品容纳部(7)之间的相对运动。
2.根据权利要求1所述的测量装置(20、30)，其特征在于，所述传感器装置(21)具有第一加速传感器装置(22a)，所述第一加速传感器装置设置成，使得在测量所述测量样品(6)时与时间相关地检测为了执行测量探针(2)与样品容纳部(7)之间的相对运动而运动的测量探针(2)或样品容纳部(7)的运动的第一运动测量信号。
3.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(20、30)，其特征在于，所述传感器装置(21)具有第二加速传感器装置(22b)，所述第二加速传感器装置设置成，使得在测量所述测量样品(6)时与时间相关地检测为了执行测量探针(2)与样品容纳部(7)之间的相对运动而没有通过移位装置运动的样品容纳部(7)或测量探针(2)的运动的第二运动测量信号。
4.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(20、30)，其特征在于，所述传感器装置(21)至少部分地在所述探针支架(3)上构成。
5.根据上述权利要求中的至少一项所述的测量装置(20、30)，其特征在于，所述传感器装置(21)至少部分地在所述样品容纳部(7)上形成。
6.根据权利要求4和5所述的测量装置(20、30)，其特征在于，所述传感器装置(21)以第一传感器元件(22a)在探针支架(3)上构成并且以与第...
【专利技术属性】
技术研发人员：德特莱夫·克内贝尔，蒂洛·扬科夫斯基，弗雷德里克·布考，
申请(专利权)人：布鲁克纳米有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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