环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置与方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置与方法，沥青抛光盘表面的浅纹线槽具有规则的纹理结构和纹路特征，随着沥青抛光盘表面的逐渐钝化，其纹理结构和纹路特征也会随之减弱，因此可以通过沥青抛光盘表面的纹理分析来监测沥青抛光盘表面的钝化状态。本发明专利技术提出采集沥青抛光盘表面图像，采用灰度共生矩阵法来监测沥青抛光盘表面的纹理，采用灰度共生矩阵的特征参数定量地表征沥青抛光盘表面的钝化状态，从而实现沥青抛光盘表面钝化状态的实时在线监测。

【技术实现步骤摘要】
环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置与方法
本专利技术涉及光学加工
，更具体的说是涉及一种环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置与方法。
技术介绍
环形抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一。环形抛光机床通常采用大尺寸、热稳定性良好的天然花岗岩制成抛光盘基盘，基盘表面浇制环形的沥青胶层作为抛光盘。沥青抛光盘的环带表面依次放有修正盘和工件盘，其中修正盘用于修正和控制沥青抛光盘的形状误差，而工件盘则用于把持光学元件。加工时沥青抛光盘、修正盘、工件盘均以一定的转速绕逆时针方向匀速旋转，放在工件盘内的光学元件在沥青抛光盘及其承载的磨料颗粒作用下产生材料去除从而形成光学表面。沥青抛光盘表面的特征结构主要包括作为抛光液流道的沟槽以及用于把持磨料颗粒的浅纹线槽。抛光液沟槽的作用是将供给到沥青抛光盘表面局部区域的抛光液输送到各个区域，从而改善抛光液在沥青抛光盘表面的分布均匀性。浅纹线槽用于把持磨料颗粒，为磨料颗粒提供把持力，使其可以磨损去除光学元件表面材料。因此，浅纹线槽直接决定了沥青抛光盘对光学元件的材料去除能力。浅纹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置，其特征在于，包括L形连接架，所述L形连接架下端设置有圆形孔，在所述圆形孔内设置有环形平板；/n在所述L形连接架上设置有传感器安装架，在所述传感器安装架上安装有图像采集传感器，所述图像采集传感器对准所述环形平板；/n所述图像采集传感器通过信号与数据连接线连接至集成控制部件，所述集成控制部件控制所述图像采集传感器采集沥青抛光盘表面图像；/n所述图像采集传感器拍摄所述沥青抛光盘表面图像的取样区域位于所述环形平板的内部，所述环形平板与沥青抛光盘表面接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置，其特征在于，包括L形连接架，所述L形连接架下端设置有圆形孔，在所述圆形孔内设置有环形平板；
在所述L形连接架上设置有传感器安装架，在所述传感器安装架上安装有图像采集传感器，所述图像采集传感器对准所述环形平板；
所述图像采集传感器通过信号与数据连接线连接至集成控制部件，所述集成控制部件控制所述图像采集传感器采集沥青抛光盘表面图像；
所述图像采集传感器拍摄所述沥青抛光盘表面图像的取样区域位于所述环形平板的内部，所述环形平板与沥青抛光盘表面接触。


2.根据权利要求1所述的环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置，其特征在于，所述L形连接架上部设置有通孔，利用螺钉通过所述通孔将所述L形连接架固定在环形抛光机床上。


3.根据权利要求2所述的环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置，其特征在于，所述集成控制部件连接所述环形抛光机床的数控系统，实时获取和控制所述环形抛光机床的各个运动轴的位置和速度。


4.一种根据权利要求1-3任一项所述的环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：采用图像采集传感器拍摄沥青抛光盘表面图像；
步骤2：对所述沥青抛光盘表面图像进行预处理，获得灰度图像；
步骤3：根据所述灰度图像采用灰度共生矩阵法分析沥青抛光盘表面的纹理，获得所述沥青抛光盘的钝化状态。


5.根据权利要求4所述的在线监测方法，其特征在于，所述步骤1实现的具体过程为：
步骤11：采用螺钉通过L形连接架的通孔将在线监测装置固定于环形抛光机床的直线导轨溜板上，其中所述在线监测装置的集成控制部件连接所述环形抛光机床的数控系统，控制所述直线...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖德锋，李洁，谢瑞清，赵世杰，张明壮，陈贤华，周炼，张清华，王建，许乔，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川;51