墨液液滴体积测量装置及薄膜层形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术的一实施例公开了一种墨液液滴体积测量装置及薄膜层形成装置。该墨液液滴体积测量装置包括：基板，向该基板投放墨液液滴；彩色共焦传感器，向投放至基板的墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及控制器，根据彩色共焦传感器扫描的信号，求出墨液液滴的三维形状。

【技术实现步骤摘要】
墨液液滴体积测量装置及薄膜层形成装置
本专利技术涉及墨液液滴体积测量装置及利用其的墨液液滴体积测量方法、利用该墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置以及利用所述薄膜层形成装置的显示装置的制造方法。
技术介绍
例如，如有机发光显示装置这样的显示装置以在阳极和阴极注入的空穴和电子在发光层再次结合而发光的原理生成光来实现图像，例如，具备以红色、绿色以及蓝色中的某一颜色发光的像素，根据它们的颜色组合来表现出期望的颜色。为此，在各像素，具备生成如白色或者蓝色这样的单色光的有机发光元件、作为用于将该单色光转换成红色、绿色以及蓝色之中的期望的颜色来射出光的光控制单元的量子点(QuantumDot)薄膜层以及滤色器(ColorFilter)等。即，若各像素的有机发光元件生成单色光，则该单色光通过量子点薄膜层和滤色器的同时被转换成红色、绿色以及蓝色中的一种颜色，从而被射出，根据这样以适当的颜色射出的像素的颜色组合，实现期望的颜色的图像。所述量子点薄膜层在喷墨打印中投放墨液液滴来形成，此时，若墨液液滴过大，则可能会超出其位置而产生斑点，若墨液液滴过小，则无法执行光控制单元的功能。因此，需正确测量墨液液滴的大小来进行反馈，从而保证喷出量，才能精密地形成量子点薄膜层，但是在现有技术中使用了如下方式：测量所投放的墨液液滴的一个底面的宽度，由此以大致的推定值计算出墨液液滴的体积。但是，这种方式只能使与实际的墨液液滴的体积之间的误差变大，无法实现精密的控制。
技术实现思路
因此，本专利技术的实施例提供一种改善成更准确地测量实际的墨液液滴的体积来反映到控制中的墨液液滴体积测量装置、利用该墨液液滴体积测量装置的墨液液滴体积测量方法、有效利用了墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置以及利用了所述薄膜层形成装置的显示装置的制造方法。本专利技术的实施例提供一种墨液液滴体积测量装置，包括：基板，向该基板投放墨液液滴；彩色共焦传感器，向投放到所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状。可以向所述基板投放多个所述墨液液滴。所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴，所述控制器可以求出针对多个所述墨液液滴各自的三维形状。所述墨液液滴可以含有纳米粒子。所述墨液液滴可以包括量子点薄膜层形成用墨液。另外，本专利技术的实施例提供一种薄膜层形成装置，包括：喷墨头，具备投放墨液液滴的喷嘴；基板，向该基板投放所述墨液液滴；彩色共焦传感器，向投放到所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状来对所述喷墨头的喷嘴的喷出量进行反馈控制。可以具备多个所述喷嘴，并且多个所述喷嘴可以向所述基板投放多个所述墨液液滴。所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴，所述控制器可以求出针对多个所述墨液液滴各自的三维形状来对各个所述喷嘴的喷出量进行反馈控制。所述墨液液滴可以含有纳米粒子。所述墨液液滴可以包含量子点薄膜层形成用墨液。另外，本专利技术的实施例提供一种墨液液滴体积测量方法，包括：向基板投放墨液液滴的步骤；由彩色共焦传感器向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描的步骤；以及根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状的步骤。可以向所述基板投放多个所述墨液液滴。所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴，并求出针对各墨液液滴的三维形状。所述墨液液滴可以含有纳米粒子。所述墨液液滴可以包含量子点薄膜层形成用墨液。另外，本专利技术的实施例提供一种显示装置的制造方法，包括：在第一基板形成多个发光元件的步骤；在第二基板形成多个量子点薄膜层的步骤；以及将所述第一基板和所述第二基板粘合使得所述多个发光元件和所述多个量子点薄膜对应的步骤，形成所述量子点薄膜层的步骤包括：由喷墨头的喷嘴向测试基板投放所述量子点薄膜层形成用墨液液滴的步骤；由彩色共焦传感器向投放至所述测试基板的墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描的步骤；根据所述彩色共焦传感器扫描的信号求出所述墨液液滴的三维形状来对所述喷嘴的喷出量进行反馈控制的步骤；以及将被反馈控制的所述墨液液滴投放至所述第二基板上使得变成所述量子点薄膜层的步骤。可以具备多个所述喷嘴，并且多个所述喷嘴可以向所述测试基板投放多个所述墨液液滴。所述彩色共焦传感器可以扫描多个所述墨液液滴并求出针对各墨液液滴的三维形状，并且对各所述喷嘴的喷出量进行反馈控制。所述墨液液滴可以含有纳米粒子。可以在相互不同的工作台安装所述第二基板和所述测试基板。根据以下的附图、权利要求书以及专利技术的详细说明，上述以外的其他侧面、特征以及优点会变得明确。附图说明图1是示意性表示具备本专利技术的一实施例涉及的墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置的构成的立体图。图2以及图3是表示图1所示的墨液液滴体积测量装置的体积测量原理的侧面图以及平面图。图4是利用图1所示的薄膜层形成装置制造的显示装置的剖视图。图5a至图5e是按顺序表示图4所示的显示装置的制造过程的剖视图。具体实施方式本专利技术可进行各种变换并且可具有多个实施例，在附图中例示出特定实施例，并进行详细说明。参照与附图一起详细后述的实施例，本专利技术的效果、特征以及达成这些效果及特征的方法会变得更明确。但是，本专利技术并不限于以下公开的实施例，可以具有各种方式。以下，参照附图，详细说明本专利技术的实施例，并且在参照附图进行说明时，对相同或对应的构成要素赋予相同的符号，并对其省略重复的说明。在以下的实施例中，单数的表现在文章中无明确不同的意思时，也包括多个的情况。在以下的实施例中，包括或者具有等用语表示记载于说明书上的特征或构成要素的存在，并不是提前排除附加一个以上的其他特征或者构成要素的可能性。在以下的实施例中，膜、区域、构成要素等部分位于其他部分上方或之上时，不仅包括直接位于其他部分之上的情况，还包括其间夹有其他膜、区域、构成要素等的情况。在附图中，为了便于说明，可能会放大或缩小构成要素的大小。例如，图中示出的各构成的大小以及厚度为了便于说明而任意示出，本专利技术并不一定限于图示的情况。在可以以不同方式实现某实施例的情况下，也可以与所说明的顺序不同地执行特定工序的顺序。例如，连续说明的两个工序实质上可以同时执行，也可以以与所说明的顺序相反的顺序进行。图1是示意性表示具备本专利技术的一实施例涉及的墨液液滴体积测量装置的薄膜层形成装置的构成的立体图。参照图1，墨液液滴体积测量装置具备：测试基板10，放置于辅助工作台31；彩色共焦传感器40，测量从喷墨头50的喷嘴51向所述测试基板10投放的墨液液滴的体积；控制器60，比较由该彩色共焦传感器40测量的值和参照值，对所述喷墨头50的喷嘴51的墨液喷出量进行反馈控制。即，实际的薄本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种墨液液滴体积测量装置，包括：/n基板，向该基板投放墨液液滴；/n彩色共焦传感器，向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及/n控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号，求出所述墨液液滴的三维形状。/n

【技术特征摘要】
20190617 KR 10-2019-00717671.一种墨液液滴体积测量装置，包括：
基板，向该基板投放墨液液滴；
彩色共焦传感器，向投放至所述基板的所述墨液液滴照射多个波长的光的同时进行扫描；以及
控制器，根据所述彩色共焦传感器扫描的信号，求出所述墨液液滴的三维形状。


2.根据权利要求1所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
向所述基板投放多个所述墨液液滴。


3.根据权利要求2所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
所述彩色共焦传感器扫描多个所述墨液液滴，
所述控制器求出针对多个所述墨液液滴各自的三维形状。


4.根据权利要求1所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
所述墨液液滴含有纳米粒子。


5.根据权利要求4所述的墨液液滴体积测量装置，其中，
所述墨液液滴包括量子点薄膜层形成用墨液。

【专利技术属性】
技术研发人员：韩政洹，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR