显示器用玻璃基板温度调节系统技术方案

本发明专利技术涉及快速有效地将单张玻璃的温度调节成设定温度的显示器用玻璃基板温度调节系统，包括：存放部，装载并保存多个玻璃基板；搬送部，单张地把持保存在存放部的玻璃基板来移送；温度调节部，调节搬送部供给的玻璃基板的温度；第一温度调节装置，向搬送部内部供给设定温度的空气来调节温度；第二温度调节装置，向温度调节部内部供给设定温度的空气来调节温度，温度调节部包括：温度调节部外罩，内部形成收容空间，上部形成有空气流入口，下部一侧形成有空气排出口；玻璃支撑单元，设置于温度调节部外罩内部，用于支撑搬送部供给的玻璃基板；空气供给装置，设置于温度调节部外罩外侧上部，以通过空气流入口均匀地供给空气的方式分配空气。

【技术实现步骤摘要】
显示器用玻璃基板温度调节系统
本专利技术涉及显示器用玻璃基板温度调节系统，更详细地，涉及如下的显示器用玻璃基板温度调节系统：在液晶显示器(LCD)制造工序中，在形成感光膜之后且在进行曝光处理之前，使玻璃的温度维持在最适合进行曝光处理的温度。
技术介绍
通常，液晶显示器制造工序包括用于在玻璃(glass)基板上形成薄膜晶体管(TFT)图案的光刻工序。在这种光刻工序中，为了在曝光工序中形成微细图案，需要精密地进行曝光处理，为此，均匀地维持在玻璃基板上形成的感光膜的温度和湿度尤为重要。在此情况下，若玻璃基板的温度和湿度没有维持在规定水平，则产生由感光膜的收缩和膨胀引起的歪曲现象，由此，当进行曝光处理时，将产生位置整列的误差(不良)，从而存在收益率大大降低的问题。因此，最近，正在研发并使用用于将玻璃基板的温度和湿度维持在规定水平的各种技术。如上所述的目的下的现有技术有韩国授权专利公报第0825967号，在这里公开了接口单元和利用其的基板处理装置及基板的温度调节方法(以下，称为“专利文献”)。在上述专利文献所公开的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，/n包括：/n存放部，装载并保存多个玻璃基板；/n搬送部，设置有搬送机器人，上述搬送机器人单张地把持保存在上述存放部的上述玻璃基板来移送；/n温度调节部，用于调节从上述搬送部供给的上述玻璃基板的温度；/n第一温度调节装置，向上述搬送部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度；以及/n第二温度调节装置，向上述温度调节部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度，/n上述温度调节部包括：/n规定大小的温度调节部外罩，在内部形成收容空间，在上部形成有空气流入口，在下部一侧形成有空气排出口；/n玻璃支撑单元，设置于上述温度调节部外罩的内部，用于支撑通...

【技术特征摘要】
20190614 KR 10-2019-00707441.一种显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，
包括：
存放部，装载并保存多个玻璃基板；
搬送部，设置有搬送机器人，上述搬送机器人单张地把持保存在上述存放部的上述玻璃基板来移送；
温度调节部，用于调节从上述搬送部供给的上述玻璃基板的温度；
第一温度调节装置，向上述搬送部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度；以及
第二温度调节装置，向上述温度调节部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度，
上述温度调节部包括：
规定大小的温度调节部外罩，在内部形成收容空间，在上部形成有空气流入口，在下部一侧形成有空气排出口；
玻璃支撑单元，设置于上述温度调节部外罩的内部，用于支撑通过上述搬送部供给的上述玻璃基板；以及
空气供给装置，设置于上述温度调节部外罩的外侧上部，以通过上述空气流入口均匀地供给空气的方式分配空气，
上述玻璃支撑单元以靠近上述空气流入口侧的方式上升，来直接露出于通过上述空气供给装置分配并排出的空气中。


2.根据权利要求1所述的显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，
上述空气供给装置包括：
箱形状的空气供给装置外罩，在内部形成有收容空间；
第一空气分配板，垂直设置于上述空气供给装置外罩的内部一侧，来均匀地分配向内部供给的空气；以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：金兴焕，金广硕，都会仲，
申请(专利权)人：LAT有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR