一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及氧化锌制备技术领域，具体涉及一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置，为提供一种在弱氧化性或真空和较低温度的外部环境下实现ZnO:Li材料中富余间隙掺杂锂原子的氧化脱除方法，本发明专利技术提供一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，包括高压釜、一氧化氮气体供应装置、真空泵和气路管道；同时，本发明专利技术还提供一种基于上述退火装置实现氧化锌间隙锂去除的工艺，该工艺可以在一个相对弱氧化性以及较低温的环境中脱除氧化锌掺Li薄膜材料中的间隙Li原子，避免了强氧化气氛中锌空位的重新生成，造成材料p型转变的失败；同时在这种热力学条件下，已经形成的替位Li是稳定的。

【技术实现步骤摘要】
一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置
本专利技术涉及氧化锌制备
，具体涉及一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置。
技术介绍
众所周知，理论上，在氧化锌(ZnO)中掺杂锂元素(Li)实现Li替位Zn(LiZn)能够形成拥有浅受主的p型(空穴)导电材料(p-ZnO:Li)。但是，通常的Li掺杂形成的产物大多无法直接实现p-ZnO:Li，反而形成的是高阻的i型(半绝缘)或者n型(电子)导电材料。大多数的研究均表明，在现有的热力学条件下，Li元素的掺杂很容易形成LiZn和间隙Li(Lii)共存的状态。也就是说，虽然LiZn能够实现一种理想的p型浅受主，然而Lii的引入则会补偿了这一空穴产生机制。假如间隙Li与替位Li等量，则形成半绝缘态的ZnO；而过量的间隙Li则容易形成n型材料。因此，为改善间隙Li对ZnO:Li材料的影响，许多研究者效仿氮化镓(GaN)材料氮气(N2)后退火的经验，对ZnO:Li进行简单的O2高温退火处理以期望实现n型向i型向p型的转变。但很快就发现在O2高温(>500℃)退火下，容易使已形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，其特征在于，包括高压釜、一氧化氮气体供应装置、氮气供应装置、真空泵和气路管道，所述一氧化氮气体供应装置和真空泵均通过气路管道与高压釜相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，其特征在于，包括高压釜、一氧化氮气体供应装置、氮气供应装置、真空泵和气路管道，所述一氧化氮气体供应装置和真空泵均通过气路管道与高压釜相连。


2.根据权利要求1所述的一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，其特征在于，还包括加热装置。


3.根据权利要求1所述的一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，其特征在于，所述高压釜设置有加热丝。


4.根据权利要求3所述的一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，其特征在于，所述高压釜包括釜体、加热丝和外壳，所述加热丝设置在釜体和外壳之间。


5.根据权利要求1所述的一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置，其特征在于，所述高压釜的开口处设置有耐高温密封材料。


6.根据权利要求1所述的一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄丰，李悌涛，汪宏，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：广东;44