适用于光波导自动封装机器人系统的运动平台机构技术方案

本发明专利技术公开了一种适用于光波导自动封装机器人系统的运动平台机构，该平台机构是由宏动平台机构、微动圆盘、微动臂、六个压电陶瓷和三个电机构成，微动圆盘上安装有三个压电陶瓷，微动臂上安装有另外三个压电陶瓷，宏动平台机构上安装有三个电机，微动圆盘通过沉头孔安装在宏动平台机构的Ｚ轴运动平台上，微动圆盘的锥销安装在微动臂的销孔内。本发明专利技术的运动平台机构采用一个宏动平台和两个微动平台相结合的“宏－微”机构形式解决了高精度和大行程的矛盾；三自由度的宏动平台采用模块化结构设计，降低了加工成本，有利于系统的重构；由微动圆盘和微动臂组成的六自由度微动平台应用柔性铰链替代传统的运动副，并采用并联机构形式从而实现了亚微米级定位精度目标。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种运动平台机构，更具体地说，是指一种适用于光波导自动封装机器人系统的运动平台机构。
技术介绍
通信时代的来临使得光电子器件的需求大大增加，但难度较大的封装技术成为限制其应用的瓶颈。光波导的封装涉及光纤阵列和波导器件的六维精密对准，难度较大。由于波导器件中的通光通道只有数微米大小，因此用于此类器件对接的耦合封装机器人系统必须具有亚微米级别的定位精度才可以实现准确、可靠的对接操作。目前，大部分的封装系统的平台机构采用丝杠(滑动丝杠或滚珠丝杠)传动结构、电机(步进电机或交流伺服电机)驱动。由于受加工水平和加工成本所限，丝杠传动时其间隙的存在不可避免，运动平台很难达到亚微米级定位精度要求；还有些采用微驱动部件(如压电陶瓷、磁致伸缩等驱动器)构成的微动平台，但这类机构的行程较小、运动范围很受限，在实际使用过程中对夹具及初始位置的要求非常苛刻，有时难以满足。因而，如何解决大行程与高精度的矛盾是设计光波导自动封装机器人系统运动平台的过程中要解决的一个重要难题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种适用于光波导自动封装机器人系统的运动平台机构，所述运动平台机构采用三自由度宏动平台本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适用于光波导自动封装机器人系统的运动平台机构，其特征在于：由宏动平台机构（１）、微动圆盘（２）、微动臂（３）、六个压电陶瓷和三个电机构成，微动圆盘（２）上安装有三个压电陶瓷，微动臂（３）上安装有另外三个压电陶瓷，宏动平台机构（１）上安装有三个电机，微动圆盘（２）通过沉头孔（２０３）安装在宏动平台机构（１）的Ｚ轴运动平台（１１２）上，微动圆盘（２）的锥销（２０２）安装在微动臂（３）的销孔（３０２）内；所述宏动平台机构（１）由底座（１０１）、Ｘ轴运动平台（１０４）、Ｙ 轴运动平台（１０７）、Ｚ轴运动平台（１１２）、Ｘ轴驱动电机（１０３）、Ｙ轴驱动电机（１０６）、Ｚ轴驱动电机（１１...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘荣，晁代宏，霍光，宗光华，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]