一种油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统技术方案

本发明专利技术公开的油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，包括：底座、止推板组件、溜板、压力盖板、温度传感装置和位移传感装置；底座、止推板组件和溜板构成主油膜腔；温度传感装置采集主油膜腔的温度数据；压力盖板与止推板组件构成辅助油膜腔，位移传感装置采集辅助油膜腔处止推板组件的位移数据进而得到主油膜的厚度数据；基于主油膜的温度和厚度的实时数据，调节辅助油膜腔的压力和流量，而不改变主油膜腔的压力和流量，这样即可在实现控制主油膜厚度的同时保证静压导轨的承载能力和刚度。通过控制辅助油膜来间接控制主油膜，既实现了主油膜的控制，又避免了导轨的刚度和负载能力的变化。

【技术实现步骤摘要】
一种油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统
本专利技术涉及光学零件超精密加工设备
，具体涉及一种油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统。
技术介绍
液体静压导轨是一种将具有压力的液压油，经节流器输入到导轨工作面的油腔，形成压力油膜，使导轨面之间形成纯液体摩擦的直线运动导轨。与传统的直线导向装置相比，它具有工作速度范围宽、运动精度高、摩擦系数小、驱动功率低、工作寿命长和动静刚度良好等特点。基于此，液体静压导轨在精密加工、超精密加工和测量领域应用非常广泛。静压导轨一般是由底座、止推板和溜板组成，三者共同作用形成压力油膜。压力油膜的厚度对整个导轨的刚度和承载能力具有重要影响，进而影响工件加工的精度，因此保证精确的油膜厚度十分关键。影响油膜厚度的主要因素包括：1)液压油压力下导轨的结构变形；2)长时间运动摩擦后液压油粘度的降低及导轨的热变形；3)导轨加工和装配误差；4)导轨的负载变化。目前在工程中，为保证最佳初始设计油膜厚度，一般有以下几种方法：1)在设计阶段增大结构尺寸抵抗高压油膜作用下的结构变形；2)在设计阶段补偿压力和温度作用下导轨的变形，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，其特征在于，包括：底座(1)、止推板组件(2)、溜板(4)、压力盖板(6)、温度传感装置(7)和位移传感装置(8)；/n止推板组件(2)安装在底座(1)上方，底座(1)与止推板组件(2)共同形成左右对称的第一导轨(90)和第二导轨(91)，溜板(4)在第一导轨(90)和第二导轨(91)内滑动；底座(1)、止推板组件(2)和溜板(4)构成主油膜腔(3)；温度传感装置(7)采集主油膜腔的温度数据；/n压力盖板(6)安装在止推板组件(2)上方；压力盖板(6)与止推板组件(2)构成辅助油膜腔(5)，位移传感装置(8)采集辅助油膜腔(5)处止推板组件(2)的位...

【技术特征摘要】
1.一种油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，其特征在于，包括：底座(1)、止推板组件(2)、溜板(4)、压力盖板(6)、温度传感装置(7)和位移传感装置(8)；
止推板组件(2)安装在底座(1)上方，底座(1)与止推板组件(2)共同形成左右对称的第一导轨(90)和第二导轨(91)，溜板(4)在第一导轨(90)和第二导轨(91)内滑动；底座(1)、止推板组件(2)和溜板(4)构成主油膜腔(3)；温度传感装置(7)采集主油膜腔的温度数据；
压力盖板(6)安装在止推板组件(2)上方；压力盖板(6)与止推板组件(2)构成辅助油膜腔(5)，位移传感装置(8)采集辅助油膜腔(5)处止推板组件(2)的位移数据。


2.根据权利要求1所述的一种油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，其特征在于，所述止推板组件(2)包括两个对称的上止推板(21)和两个对称的下止推板(22)，底座(1)左右两侧各安装一组上止推板(21)和下止推板(22)，底座(1)左侧的上止推板(21)、下止推板(22)及底座(1)形成半包围“C”型结构作为第一导轨(90)，底座(1)右侧的上止推板(21)、下止推板(22)及底座(1)形成半包围“C”型结构作为第二导轨(91)。


3.根据权利要求1所述的一种油膜厚度主动可控的液体静压导轨系统，其特征在于，在第一导轨(90)和第二导轨(91)内，底座(1)含有导轨的表面上设置凹槽作为下主油膜腔(31)，下止推板(22)含有导轨的侧面上设置凹槽作为侧主油膜腔(32)；所述下主油膜腔(31)至少设置2组，所述侧主油膜腔(32)至少设置2组；
在上止推板(21)上方和压力盖板(6)下方分别对应设置相同规格的凹槽作为辅助油膜腔(5)，所述辅助油膜腔(5)至少设置2组；
下主油膜腔(31)、侧主油膜腔(32)、和辅助油膜腔(5)的四周设有相同宽度封油边(10)。


4.根据权利要求3所述的一种油膜厚度主动可...

【专利技术属性】
技术研发人员：李星占，岳友飞，苏星，魏巍，李加胜，阳红，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51