【技术实现步骤摘要】
一种提升液体金属有机源使用量的装置
本技术涉及金属有机源领域，尤其涉及一种提升液体金属有机源使用量的装置。
技术介绍
目前在使用金属有机源时，需求量逐步增加，而限于机台尺寸以及配套恒温水槽规格，金属有机源包装钢瓶尺寸有限。以往一些专利设计需要增加复杂的控制系统，在生产过程中将金属有机源逐步补充到使用钢瓶中来加大使用量，伴随着一系列的控制风险和安全隐患。因此，解决目前生产过程中金属有机源包装瓶尺寸不足导致存在控制风险和安全隐患的问题就显得尤为重要了。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术的目的是提供一种提升液体金属有机源使用量的装置，通过对液态金属有机源使用状态的精确计算，提供了一种简便易行的装置，取消了复杂的液位监测和阀门控制系统，大大降低了成本并提高了操作的简便性，解决了目前生产过程中金属有机源包装瓶尺寸不足导致存在控制风险和安全隐患的问题。本技术提供一种提升液体金属有机源使用量的装置，包括备用钢瓶，所述备用钢瓶上设置有备用钢瓶进气阀门、备用钢瓶出气阀门及备用钢瓶旁路阀，所述备用钢瓶进气阀门和备...
【技术保护点】
1.一种提升液体金属有机源使用量的装置，包括备用钢瓶（4），所述备用钢瓶（4）上设置有备用钢瓶进气阀门（2）、备用钢瓶出气阀门（3）及备用钢瓶旁路阀（1），所述备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）分别设置在备用钢瓶（4）上端两侧，备用钢瓶旁路阀（1）设置在备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）之间，所述备用钢瓶（4）旁设置有使用瓶（9），所述使用瓶（9）上设置有使用瓶进气阀门（7）、使用瓶出气阀门（8）以及使用瓶旁路阀（6），使用瓶进气阀门（7）和使用瓶出气阀门（8）设置在使用瓶（9）的上端两侧，使用瓶旁路阀（6）设置在使用瓶进气阀门（7）和使用瓶出气阀门...
【技术特征摘要】
1.一种提升液体金属有机源使用量的装置，包括备用钢瓶（4），所述备用钢瓶（4）上设置有备用钢瓶进气阀门（2）、备用钢瓶出气阀门（3）及备用钢瓶旁路阀（1），所述备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）分别设置在备用钢瓶（4）上端两侧，备用钢瓶旁路阀（1）设置在备用钢瓶进气阀门（2）和备用钢瓶出气阀门（3）之间，所述备用钢瓶（4）旁设置有使用瓶（9），所述使用瓶（9）上设置有使用瓶进气阀门（7）、使用瓶出气阀门（8）以及使用瓶旁路阀（6），使用瓶进气阀门（7）和使用瓶出气阀门（8）设置在使用瓶（9）的上端两侧，使用瓶旁路阀（6）设置在使用瓶进气阀门（7）和使用瓶出气阀门（8）之间，其特征在于：所述备用钢瓶（4）直接在室温下使用，所述使用瓶（9）设置在恒温水槽（10）内使用。
2.如权利要求1所述的一种提升液体金属有机源使用量的装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞冬雷，
申请(专利权)人：安徽亚格盛电子新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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