微粒子的制造方法、及微粒子的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微粒子的制造方法及制造装置，能够制造并获得良好的粒度分布的微粒子。本发明专利技术的微粒子的制造方法是：将微粒子制造用原料间歇地供给至调制感应热等离子体焰中，使原料蒸发而成为气相状态的混合物，再将混合物冷却来制造所述微粒子；在该微粒子的制造方法中，产生温度状态受到时间调制后的调制感应热等离子体焰来作为热等离子体焰，并且使调制感应热等离子体焰周期性地成为高温状态及比高温状态温度更低的低温状态，当调制感应热等离子体焰处在高温状态的期间，将原料与载气一起供给，当调制感应热等离子体焰处在低温状态的期间，则停止供给原料，只供给与载气相同种类的气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微粒子的制造方法、及微粒子的制造装置
本专利技术涉及微粒子的制造方法及微粒子的制造装置，尤其关于：将微粒子制造用原料供给至热等离子体焰中来使该原料蒸发而产生气相状态的混合物，再将该混合物冷却来制造微粒子的微粒子的制造方法及微粒子的制造装置。
技术介绍
目前，硅微粒子、氧化物微粒子、氮化物微粒子及碳化物微粒子等微粒子已经被用于各种
中。用来制造这种微粒子的制造方法之一，可举出气相法。在气相法中，具有：将各种气体等利用高温使其产生化学反应的化学方法；以及照射电子光束或激光之类的光束来使物质分解或蒸发而生成微粒子的物理方法。作为气相法的其他方法，还有热等离子体法。所谓的热等离子体法，是将原材料在热等离子体焰中瞬间蒸发之后，再使得该蒸发物急速冷却凝固来制造微粒子的方法。根据热等离子体法，其具有：很干净而且生产性很高，因为是利用高温所以热容量很大因而也可以对应高融点的材料，与其他气相法相比，可更容易进行复合化等优点。因此，热等离子体法已经作为制造微粒子的方法积极地被采用。已知的使用热等离子体法的微粒子的制造方法，是采用粉末状的原材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微粒子的制造方法，将微粒子制造用原料间歇地供给至热等离子体焰中，使所述原料蒸发而成为气相状态的混合物，再将所述混合物冷却来制造所述微粒子，其特征在于，/n产生温度状态受到时间调制后的调制感应热等离子体焰作为所述热等离子体焰，使所述调制感应热等离子体焰周期性地成为高温状态及比高温状态温度更低的低温状态；/n当所述调制感应热等离子体焰处在所述高温状态的期间，将所述原料与载气一起供给，/n当所述调制感应热等离子体焰处在所述低温状态的期间，则停止供给所述原料，只供给与所述载气相同种类的气体。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180511 JP 2018-0924021.一种微粒子的制造方法，将微粒子制造用原料间歇地供给至热等离子体焰中，使所述原料蒸发而成为气相状态的混合物，再将所述混合物冷却来制造所述微粒子，其特征在于，
产生温度状态受到时间调制后的调制感应热等离子体焰作为所述热等离子体焰，使所述调制感应热等离子体焰周期性地成为高温状态及比高温状态温度更低的低温状态；
当所述调制感应热等离子体焰处在所述高温状态的期间，将所述原料与载气一起供给，
当所述调制感应热等离子体焰处在所述低温状态的期间，则停止供给所述原料，只供给与所述载气相同种类的气体。


2.根据权利要求1所述的微粒子的制造方法，其特征在于，对所述调制感应热等离子体焰发出的光进行分光分析，在根据分光分析的结果获得的时间点将所述原料供给至所述调制感应热等离子体焰中。


3.根据权利要求1或2所述的微粒子的制造方法，其特征在于，在将所述原料分散成粒子状的状态下，将所述原料间歇地供给至所述调制感应热等离子体焰中。


4.一种微粒子的制造装置，其特征在于，具备：
原料供给部，将微粒子制造用原料间歇地供给至热等离子体焰中；
等离子体炬，在内部产生所述热等离子体焰，并且利用所述热等离子体焰将所述原料供给部所供给的所述原料予以蒸发成为气相状态的混合物；
等离子体产生部，在所述等离子体炬的内部产生所述热等离子体焰；以及
气体供给部，将气体供给至所述等离子体炬的内部；
所述等离子体产生部，使所述等离子体炬的内部产生温度状态受到时间调制后的调制感应热等离子体焰作为...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中康规，儿玉直人，石坂洋辅，渡边周，中村圭太郎，末安志织，
申请(专利权)人：日清制粉集团本社股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP