沉积掩模和制造该沉积掩模的方法技术

技术编号:26692364 阅读:16 留言:0更新日期:2020-12-12 02:46
提供了一种沉积掩模和一种制造该沉积掩模的方法,所述方法包括:准备具有防水表面的导电基体板;将墨的液滴滴在导电基体板上的与图案孔对应的位置中并固化墨的液滴;通过对导电基体板的其上固化有墨的液滴的表面执行电镀来形成具有图案孔的沉积掩模的主体;以及将导电基体板与沉积掩模的主体分离。

【技术实现步骤摘要】
沉积掩模和制造该沉积掩模的方法本申请要求于2019年6月10日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0068260号韩国专利申请的权益,该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
一个或更多个实施例涉及一种用于沉积薄膜的掩模和一种制造该掩模的方法。
技术介绍
沉积掩模用于沉积例如有机发光显示设备的发射层。通常,有机发光显示设备可以基于其中分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在有机发射层中彼此复合从而发射光的原理来实现颜色。在有机发光显示设备中,像素具有其中发射层位于作为阳极的像素电极与作为阴极的对电极之间的堆叠结构。每个像素可以是例如红色像素、绿色像素和蓝色像素中的一个的子像素。可以通过组合包括红色像素、绿色像素和蓝色像素的三种颜色的像素的子像素的颜色来表示期望的颜色。即,每个子像素具有其中发射层布置在两个电极之间的结构,其中,发射层发射红色、绿色和蓝色之中的颜色的光。通过适当地组合诸如红色、绿色和蓝色的三种颜色的光,表现单元像素的颜色。每个子像素的区域由像素限定层限定。在所限定的区域中,形成发射层。通过执行沉积来形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造沉积掩模的方法,所述方法包括:/n准备具有防水表面的导电基体板;/n将墨的液滴滴在所述导电基体板上的与图案孔对应的位置中,并且固化所述墨的所述液滴;/n通过对所述导电基体板的其上固化有所述墨的所述液滴的表面执行电镀来形成具有图案孔的所述沉积掩模的主体;以及/n将所述导电基体板与所述沉积掩模的所述主体分离。/n

【技术特征摘要】
20190610 KR 10-2019-00682601.一种制造沉积掩模的方法,所述方法包括:
准备具有防水表面的导电基体板;
将墨的液滴滴在所述导电基体板上的与图案孔对应的位置中,并且固化所述墨的所述液滴;
通过对所述导电基体板的其上固化有所述墨的所述液滴的表面执行电镀来形成具有图案孔的所述沉积掩模的主体;以及
将所述导电基体板与所述沉积掩模的所述主体分离。


2.如权利要求1所述的方法,其中,
所述准备具有所述防水表面的所述导电基体板的步骤包括:
准备亲水导电基底;以及
在所述亲水导电基底的表面上形成疏水涂覆层。


3.如权利要求2所述的方法,所述方法还包括:
去除所述疏水涂覆层的未被所述墨的所述液滴覆盖的暴露部分。


4.如权利要求3所述的方法,其中,
所述去除所述疏水涂覆层的所述暴露部分的步骤包括干蚀刻。


5.如权利要求4所述的方法,其中,
所述干蚀刻包括等离子体蚀刻。


6.如权利要求1所述的方法,其中,
所述准备具有所述防水表面的所述导电基体板的步骤包括:
准备疏水导电基底。


7.如权利要求1所述的方法,其中,
所述准备具有所述防水表面的所述导电基体板的步骤包括:
准备非导电基底;
在所述非导电基底的表面上形成导电层;以及
在所述导电层上形成疏水涂覆层。


8.如权利要求7所述的方法,所述方法还包括:
去除所述疏水涂覆层的未被所述墨的所述液滴覆盖的暴露部分。


9.如权利要求8所述的方法,其中...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩政洹
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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