一种大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口制造技术

本发明专利技术属于光学薄膜技术领域，公开了一种大角度入射红外硬质保护薄膜窗口，通过在Si基底一面设计大角度入射红外减反射硬质保护薄膜，其中选择高硬度的Si

【技术实现步骤摘要】
一种大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口
本专利技术属于光学薄膜
，涉及一种大角度入射范围红外硬质保护薄膜光学窗口的设计，具体涉及一种工作波段3700-4800nm、工作角度0°-70°的新型红外硬质保护薄膜窗口设计。
技术介绍
随着现代战争信息化、网络化、空天化的发展，战机和导弹等高速飞行器的红外探测成像装置的生存环境越来越恶劣。多功能一体化的红外光学窗口是红外探测成像技术发展中的瓶颈技术。为满足现代复杂、恶劣的战场环境中武器的应用需求，在对光学窗口材料性能筛选评测的基础上，必须通过使用光学薄膜技术提高光学窗口的大角度入射范围时的光学特性和力学防护特性。现阶段，改进光学元件的大角度入射光学特性的方法主要是在元件表面制备高性能的大角度入射增透膜，目前的研究大多集中于60°以下的增透膜，对于入射角达到70°以上的增透膜未见报道。此外，当前的研究单一针对薄膜的光学特性进行优化，并没有结合薄膜的多功能性和稳定性提出合理的设计方案。近年来，纳米复合膜和纳米多层膜是纳米结构薄膜中人们重点研究的两个方向，众多的科研工作者在实验方面做出了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口，其特征在于，包括：基底，基底一面形成有大角度入射红外硬质保护薄膜FilmA，膜系结构为Sub/(H L)^m M/Air，参考波长为λ

【技术特征摘要】
1.一种大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口，其特征在于，包括：基底，基底一面形成有大角度入射红外硬质保护薄膜FilmA，膜系结构为Sub/(HL)^mM/Air，参考波长为λ1，m为2～10，λ1为1000nm～5000nm；基底另一面形成有大角度入射红外减反射薄膜FilmB，膜系结构为Sub/(HL)^n/Air，参考波长为λ2，n为2～10，λ2为1000nm～5000nm；其中，大角度指入射角在0°～70°，H为高折射率薄膜材料，L为低折射率薄膜材料，M为硬质保护薄膜最外层薄膜材料。


2.如权利要求1所述的大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口，其特征在于，所述基底选择Si基底，高折射率薄膜材料选择氧化硅薄膜，低折射率薄膜材料选择氧化硅薄膜，硬质保护薄膜最外层薄膜材料为Si3N4。


3.一种大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：确定基底、硬质保护薄膜最外层薄膜材料和高、低折射率薄膜材料；
S2：确定高低折射率薄膜材料和高硬度保护薄膜材料的光学常数；
S3：确定大角度入射红外减反射硬质保护薄膜和大角度入射红外减反射薄膜的基本膜系结构；根据光学窗口的技术指标参数，优化膜系结构，获得最终的大角度入射红外硬质保护薄膜和大角度入射红外减反射薄膜膜系结构；
S4：将红外硬质保护薄膜、红外减反射薄膜和基底相结合，获得大角度入射红外硬质保护薄膜窗口。


4.如权利要求3所述的大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口，其特征在于，所述步骤S1中，选择Si基底，选择SiOx-1为高折射率薄膜材料H，SiOx-2为低折射率薄膜材料L，Si3N4为硬质保护薄膜最外层薄膜材料M。


5.如权利要求4所述的大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口，其特征在于，所述步骤S3中，在基底一面设计大角度入射红外硬质保护薄膜FilmA，膜系结...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘华松，姜玉刚，杨霄，白金林，孙鹏，何家欢，
申请(专利权)人：天津津航技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：天津;12