一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列制造技术

本发明专利技术属于压力传感器技术领域，尤其为一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，包括上电极层，所述上电极层内横向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有上电极片，所述上电极层的下侧设有上压力敏感层，所述上压力敏感层的下端面阵列设有一组卡块，所述上压力敏感层的下侧设有下压力敏感层，所述下压力敏感层的上端面阵列设有与卡块相匹配的微结构，所述下压力敏感层的下端面固定连接有导电柔性层，所述导电柔性层内设有一组通孔。本发明专利技术通过上压力敏感层、卡块、下压力敏感层、微结构和导电柔性层，能够提高压阻式压力传感器的灵敏程度，提高压阻式压力传感器检测的精确性，还能够提高压阻式压力传感器的检测范围。

【技术实现步骤摘要】
一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列
本专利技术涉及压力传感器
，具体为一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列。
技术介绍
压力传感器(PressureTransducer)是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。压力传感器依其工作原理，可以分为压阻式、电容式与压电式等。压阻式压力传感器相比于其他传感器具有灵敏度高，测量范围大、结构简单等优点。但是现有技术当中的压阻式压力传感器在长时间的工作工作中，其微结构长时间进行工作，顶部容易出现变形的现象，降低压力传感器的灵敏程度，从而降低压力传感器检测的精确性，且现有技术当中的压力传感器的检测范围受限。(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，解决了现有技术当中的压阻式压力传感器的灵敏度不佳和检测范围受限的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，包括上电极层(1)，其特征在于：所述上电极层(1)内横向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有上电极片(2)，所述上电极层(1)的下侧设有上压力敏感层(3)，所述上压力敏感层(3)的下端面阵列设有一组卡块(4)，所述上压力敏感层(3)的下侧设有下压力敏感层(5)，所述下压力敏感层(5)的上端面阵列设有与卡块(4)相匹配的微结构(6)，所述下压力敏感层(5)的下端面固定连接有导电柔性层(7)，所述导电柔性层(7)内设有一组通孔(8)，所述导电柔性层(7)的下侧设有下电极层(9)，所述下电极层(9)内纵向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有下电极片(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，包括上电极层(1)，其特征在于：所述上电极层(1)内横向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有上电极片(2)，所述上电极层(1)的下侧设有上压力敏感层(3)，所述上压力敏感层(3)的下端面阵列设有一组卡块(4)，所述上压力敏感层(3)的下侧设有下压力敏感层(5)，所述下压力敏感层(5)的上端面阵列设有与卡块(4)相匹配的微结构(6)，所述下压力敏感层(5)的下端面固定连接有导电柔性层(7)，所述导电柔性层(7)内设有一组通孔(8)，所述导电柔性层(7)的下侧设有下电极层(9)，所述下电极层(9)内纵向设有一组凹槽，且凹槽内固定设有下电极片(10)。


2.根据权利要求1所述的一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，其特征在于：所述上电极片(2)横向平行设置，且相邻上电极片(2)之间的间距相同。


3.根据权利要求1所述的一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列，其特征在于：所述下电极片(10)纵向平行设置，且相邻下电极片(10)之间的间距相同。


4.根据权利要求1所述的一种压阻式压力传感器及压阻式压力传感阵列...

【专利技术属性】
技术研发人员：余德丰，杨成，王政平，
申请(专利权)人：上海域丰传感仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31