【技术实现步骤摘要】
一种PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法
本专利技术涉及一种PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法,属于化学工程
技术介绍
随着时代的进步,电子科技、信息技术和控制技术得到了快速的发展,即不断朝着微型化、高集成化方向的发展,以及高科技领域对于快速制冷和高储能密度高效率的需求,基于铁电/反铁电薄膜/厚膜的研究越来越多。电卡制冷在过去很长一段时间里几乎没有进展,因为只能观察到较小的△T和△S,这是由于在块体陶瓷中低介电击穿强度的限制;传统的体相陶瓷材料因自身相材料微观结构和性能的影响,难以承受高的击穿电场,因而储能密度值比较低,基于以上的种种限制,紧迫需要寻找一种具有超高电场击穿强度的材料。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法。本专利技术通过利用具有超高电场击穿强度的铁电体材料nPb(MgxNb(1-x))O3-(1-n)Pb(ScyNb(1-y))O3(PMN-PSN),通过溶胶凝胶法在Pt(111)衬底上面制备出有超高电场击 ...
【技术保护点】
1.一种PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:/n1)将PMN-PSN前驱体溶液旋涂于衬底上制得湿膜;/n2)将步骤1)所得的湿膜按照如下任一步骤进行处理制备一层PMN-PSN薄膜,/n2-1)、将湿膜干燥、热解、晶化制得一层PMN-PSN薄膜,/n2-2)、将湿膜干燥、热解制得一层PMN-PSN薄膜;/n3)按照如下任一步骤进行处理制备多层PMN-PSN薄膜,/n3-1)、重复步骤1)和步骤2-1)制得多层PMN-PSN薄膜,/n3-2)、重复步骤1)和步骤2-2)制得未完全晶化的PMN-PSN薄膜、晶化制得完全晶化的多层PMN- ...
【技术特征摘要】
1.一种PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
1)将PMN-PSN前驱体溶液旋涂于衬底上制得湿膜;
2)将步骤1)所得的湿膜按照如下任一步骤进行处理制备一层PMN-PSN薄膜,
2-1)、将湿膜干燥、热解、晶化制得一层PMN-PSN薄膜,
2-2)、将湿膜干燥、热解制得一层PMN-PSN薄膜;
3)按照如下任一步骤进行处理制备多层PMN-PSN薄膜,
3-1)、重复步骤1)和步骤2-1)制得多层PMN-PSN薄膜,
3-2)、重复步骤1)和步骤2-2)制得未完全晶化的PMN-PSN薄膜、晶化制得完全晶化的多层PMN-PSN薄膜;
4)将步骤3)所得的产品进行退火,即得所需薄膜材料。
2.根据权利要求1所述的PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法,其特征在于,所述PMN-PSN通式为nPb(MgxNb(1-x))O3-(1-n)Pb(ScyNb(1-y))O3,其中0<n<1、0<X<1、0<Y<1。
3.根据权利要求1所述的PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法,其特征在于,所述PMN-PSN前驱体溶液浓度为0.2-0.3M。
4.根据权利要求1所述的PMN-PSN超高击穿电场薄膜材料的制备方法,其特征在于,步骤1)所述旋涂包括第一次旋涂...
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