二维微扫描器制造技术

一种二维扫描器，包括可围绕第一轴（４）旋转的第一反射镜（１）和可围绕第二轴（５）旋转的第二反射镜（２），所述第一和第二反射表面形成于同一衬底（３）上，其旋转轴（４，５）在公共平面上不平行；以及反射表面（６），布置为使得所述第一反射镜（１）所反射的光束随后被所述表面（６）反射，并最终被所述第二反射镜（２）反射。因此，根据本发明专利技术，第一反射镜能够在第一方向上扫描光束，第二反射镜能够在第二方向上扫描光束。其结果是非常小型化的二维扫描器，其中，两个单个反射镜相互独立，但是相互之间仍然能够非常接近，消除了或者至少减少了图像失真。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及包含至少两个采用可围绕轴旋转的反射镜形式的一维扫描器的二维扫描器。
技术介绍
在传统的用于激光投影系统的二维扫描器中，小型的高频率MEMS(微电子机械系统)反射镜常常与较慢且较大的传统反射镜结合在一起。通常，高频是在kHz量级的，低频是在Hz量级的。然而，这种系统太大，不能满足在大多数商业产品中所需要的尺寸减小要求。因此，希望用第二MEMS扫描器(或者任何其他同等尺寸的扫描器)来替代传统的反射镜。然而，将像MEMS扫描器这样小的两个独立扫描器对准极其困难，使得这种解决方案非常难以实现。我们的解决方案是2D MEMS扫描器，其中，在较大的扭转扫描器的表面上形成较小的扫描器。因而较小扫描器的反射面能够执行2D扫描。将两个扭转扫描器合并的2D扫描器的实例在US 5,629,790中示出。这种2D扫描器的问题在于，两个反射镜的特征是彼此紧密相关的。换而言之，不能相互独立地选择尺寸和频率。这就是为什么目前没有具有所需要的尺寸(mm量级)并满足所需要的频率(10kHz/100Hz量级)组合的2D MEMS反射镜的原因。因此，希望使用两个独立的1D扫描器。然而，由于MEMS扫描器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维扫描器，包括：可以围绕第一轴（４）旋转的第一反射镜（１）和可以围绕第二轴（５）旋转的第二反射镜（２），所述第一和第二反射表面形成于同一衬底（３）上，其旋转轴（４，５）在公共平面上不平行；以及反射表面（６），其布置为使 得所述第一反射镜（１）所反射的光束随后被所述表面（６）反射，并最终被所述第二反射镜（２）反射。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷纳图斯HM桑德斯，维伦霍温，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]