一种用于涂胶显影设备的废液收集系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，包括：废液收集箱、储液柜；废液收集箱顶部设有第一进液口，废液收集箱下部设有第一出液口，废液收集箱外壁上设有第一液位计；储液柜内固定连接水平隔板，水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层；第二隔层内设有储液箱，储液箱外壁上设有第二液位计；储液箱的下部设有第二出液口，第二出液口处设有阀门；储液箱顶部设有第二进液口，第二进液口通过第一管道连通有气动泵，气动泵通过第二管道与第一出液口连通；第一隔层内设有控制装置，控制装置分别与第一液位计、第二液位计、气动泵电连接，控制装置还电连接有液位警报装置。本实用新型专利技术能够及时提示工作人员对废液进行处理。

【技术实现步骤摘要】
一种用于涂胶显影设备的废液收集系统
本技术涉及废液收集装置领域，尤其涉及一种用于涂胶显影设备的废液收集系统。
技术介绍
目前，半导体设备的废液收集与排放分为人工参与收集以及系统自动收集。人工收集时，由于设备运作时产生的废液不集中，处理繁杂，且废液有较强的腐蚀性、黏着性，人工进行收集很大难度。另一方面，现有的设备具有自动收集系统但也只是笼统的将废液收集，在废液存储到一定程度时不能及时提示工作人员进行处理。
技术实现思路
为了解决上述
技术介绍
中所提到的问题，本技术提供了一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，能够收集涂胶显影设备的废液，且能够及时提示工作人员对废液进行处理。一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，包括：废液收集箱、储液柜；所述废液收集箱顶部设有第一进液口，所述废液收集箱下部设有第一出液口，所述废液收集箱外壁上设有第一液位计；所述储液柜内固定连接有水平隔板，所述水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层，所述第二隔层位于第一隔层下方；所述第二隔层内设有储液箱，所述储液箱外壁上设有第二液位计；所述储本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，包括：废液收集箱、储液柜；/n所述废液收集箱顶部设有第一进液口，所述废液收集箱下部设有第一出液口，所述废液收集箱外壁上设有第一液位计；/n所述储液柜内固定连接有水平隔板，所述水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层，所述第二隔层位于第一隔层下方；/n所述第二隔层内设有储液箱，所述储液箱外壁上设有第二液位计；所述储液箱的下部设有第二出液口，所述第二出液口处设有阀门；所述储液箱顶部设有第二进液口，所述第二进液口通过第一管道连通有气动泵，所述气动泵通过第二管道与第一出液口连通；/n所述第一隔层内设有控制装置，所述控制装置分别与第一液位计、第二液位计...

【技术特征摘要】
1.一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，包括：废液收集箱、储液柜；
所述废液收集箱顶部设有第一进液口，所述废液收集箱下部设有第一出液口，所述废液收集箱外壁上设有第一液位计；
所述储液柜内固定连接有水平隔板，所述水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层，所述第二隔层位于第一隔层下方；
所述第二隔层内设有储液箱，所述储液箱外壁上设有第二液位计；所述储液箱的下部设有第二出液口，所述第二出液口处设有阀门；所述储液箱顶部设有第二进液口，所述第二进液口通过第一管道连通有气动泵，所述气动泵通过第二管道与第一出液口连通；
所述第一隔层内设有控制装置，所述控制装置分别与第一液位计、第二液位计、气动泵电连接，所述控制装置还电连接有液位警报装置，所述液位警报装置设在储液柜的外壁上。


2.根据权利要求1所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述第二隔层两侧内壁上均设有滑轨，所述储液箱两侧外壁上设有与滑轨相配合的第一滑槽。


3.根据权利要求2所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述第二隔层底部开口，所述储液箱底部设有若干个滚轮。


4.根据权利要求1所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述废液收集箱底部固定连接有开口朝上的托盘，所述托盘的底部内壁上固定连接有漏液传感器，所述漏液传感器与控制装置电连接，所述控制装置电连接有漏液警报装置，所述漏液警报装置设在储液柜的外壁上。


5....

【专利技术属性】
技术研发人员：姚舜捷，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31