【技术实现步骤摘要】
一种立式高真空密封门
本技术涉及高真空密封
,具体为一种立式高真空密封门。
技术介绍
现今时代电子产品已深入我们的日常生活中,随着人民生活水平的不断提高,对电子化产品的要求也在逐渐上升,人们更倾向于电子产品轻型化,小型化。电子元件作为电子化产品的重要组成部分,需求量也逐渐提升。与此同时电子产品更新换代迅速,电子元件制造企业在不断追求节能高效的生产方式。部分电子元件在生产过程中需要其在高真空环境中进行,电子产品进出高真空环境一般通过密封门的开闭来实现,现有真空密封门机构复杂体积较大无形中会增大设备的整体尺寸,这样既增加了企业的生产成本同时增加了设备的维护人员成本。因此现在人们渴望一种更为简单稳定的高真空密封门机构。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种立式高真空密封门,它采用一个气缸与一个楔形板,气缸提供上下运动的动力,楔形板通过其斜面压紧密封圈实现门两侧隔绝密封,其结构简单,体积较小,并且大大节省了成本开支。为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种立式高真空密封门,包括气缸固定板、内侧封门板和外侧封门板,所述气缸固定板的底部固定安装有气缸,所述气缸的输出端通过浮动接头活动连接有固定块,所述气缸固定板的顶部通过导向轴滑动连接有楔形板,所述导向轴的顶部套设有密封套,所述导向轴的外侧套设有导向轴承,所述密封套的内部固定安装油封,所述导向轴上固定安装有两个密封圈,所述密封套的顶部固定安装有密封套密封圈,所述楔形板与导向轴浮动连接。所述内侧封门板的后表面通 ...
【技术保护点】
1.一种立式高真空密封门,包括气缸固定板(104)、内侧封门板(110)和外侧封门板(113),其特征在于:所述气缸固定板(104)的底部固定安装有气缸(105),所述气缸(105)的输出端通过浮动接头(106)活动连接有固定块(107),所述气缸固定板(104)的顶部通过导向轴(103)滑动连接有楔形板(111),所述导向轴(103)的顶部套设有密封套(101),所述导向轴(103)的外侧套设有导向轴承(102),所述密封套(101)的内部固定安装油封(116),所述导向轴(103)上固定安装有两个密封圈(115),所述密封套(101)的顶部固定安装有密封套密封圈(114),所述楔形板(111)与导向轴(103)浮动连接;/n所述内侧封门板(110)的后表面通过楔形板密封圈(109)与外侧封门板(113)密封连接,所述内侧封门板(110)的右侧通过内侧封门板密封圈(108)与其他机构密封连接,所述外侧封门板(113)的顶部通过外侧封门板密封圈(112)将楔形板(111)的运动区域进行密封。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种立式高真空密封门,包括气缸固定板(104)、内侧封门板(110)和外侧封门板(113),其特征在于:所述气缸固定板(104)的底部固定安装有气缸(105),所述气缸(105)的输出端通过浮动接头(106)活动连接有固定块(107),所述气缸固定板(104)的顶部通过导向轴(103)滑动连接有楔形板(111),所述导向轴(103)的顶部套设有密封套(101),所述导向轴(103)的外侧套设有导向轴承(102),所述密封套(101)的内部固定安装油封(116),所述导向轴(103)上固定安装有两个密封圈(115),所述密封套(101)的顶部固定安装有密封套密封圈(114),所述楔形板(111)与导向轴(103)浮动连接;
所述内侧封门板(110)的后表面通过楔形板密封圈(109)与外侧封门板(113)密封连接,所述内侧封门板(110)的右侧通过内侧封门板密封圈(108)与其他机构密封连接,所述外侧封门板(113)的顶部通过外侧封门板密封圈(112)将楔形板(111)的运动区域进行密封。
技术研发人员:刘金波,付玉磊,李向前,付廷喜,杨浩,万鑫,
申请(专利权)人:天津伍嘉联创科技发展股份有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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