波长可选择调节的光电滤波器制造技术

一种波长可选择调节的光电滤波器，它包括形成在两个部分反射器（１０，１２）之间的一个谐振腔，所述反射器由堆积成的具有实用波长的透明层构成；以及将电场施加到反射器（１０，１２）端子上以便对滤波器波长进行调节的施加设备，其特征在于所述谐振腔由一个具有所述波长和具有高折射率的透明固体材料的盘（１６）构成，该盘在反射器（１０，１２）之间形成波导，其特征还在于这些反射器中的至少第一个为活动部分或可变形部分（２６），第一反射器与形成谐振腔的盘（１６）由一个空气薄层（３２）隔开。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】波长可选择调节的光电滤波器本专利技术涉及波长可选择调节的光电滤波器，主要是用于WDM式 (Wavelength Division Multiplexing)或DWDM ( Dense Wavelength Division Multiplexing)式的光学通讯系统不同波导的波长信息分离。我们知道，波长可选4奪调节的滤波器由许多元件MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mecanical System )组成，这些元件用常规的微技术制成， 并且通过这些元件材料的机械变形进行调节。这些光纤是法布里-珀罗 (Fabry-Perot)型，包括一个由空气薄层形成的谐振腔，空气薄层处在两个平 行的部分反射器例如布拉格反射镜之间。利用两个部分反射器之间施加的控制 电压所产生的静电压，通过移动至少一个用弹性变形方法安装的反射器实现谐 振波长的调节。这种移动体现在谐振腔的厚度的变化上，因而也就体现在滤波 器中心波长的变化上。当限定谐振腔的反射器为平面，而且侧部尺寸很小时，不可能获得比 0.5nm好的光谱选择性，而对于DWDM的信息分离信号来讲，必须力求达到 低于或等于0.2nm的数值。这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：米歇尔·加里格，让路易·勒克莱尔，
申请(专利权)人：国家科学研究中心，
类型：发明
国别省市：