【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体工艺方法，尤其涉及一种。
技术介绍
现今社会多媒体技术相当发达，多半受惠于半导体元件或显示装置的 进步。就显示器而言，具有高画质、空间利用效率佳、低消耗功率、无辐 射等优越特性的液晶显示器已逐渐成为市场的主流。液晶显示器主要是由显示面板与背光模块所构成，其中显示面板包括 有源阵列显示基板与彩色滤光片。彩色滤光片是用以将背光模块所发出的 光进行过滤，而使液晶显示器具有全彩的功能。彩色滤光片通常可分为单一膜层的滤光片与具有复合层结构的滤光 片。 一般来说，具有复合层结构的滤光片是藉由将不同折射率的膜层交错 叠合而成，以达成对特定波长过滤的目的。通常，复合层的光学特性若要符合所需，其制作的温度通常在摄氏150度以上。然而，在高温环境下形 成的复合层，其结构致密，难以蚀刻，而复合层的厚度又高达8000A(800nm), 其蚀刻速率过低，往往使得蚀刻工艺耗费过多的时间，严重影响产能。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种，其做为滤光片的复 合层的结构致密，具有所需的光学特性，且易于蚀刻，可以有效地缩短蚀刻时间。本专利技术提出一种，此方法是先在较低的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴沂庭，
申请(专利权)人：联华电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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