一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于传感器测试领域，并具体公开了一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置。该性能测试装置包括上盖和底座，其中上盖中进气孔和出气孔与反应腔相连通；反应腔下方的上盖密封圈凹槽用于放置上盖密封圈，上盖限位凹槽用于与底座配合，以放置待测石英晶体微天平传感器；底座中底座限位凹槽与上盖限位凹槽配合用于放置待测石英晶体微天平传感器；底座密封圈凹槽用于放置底座密封圈；引线孔用于放置引线。本发明专利技术利用上盖限位凹槽和底座限位凹槽相互配合对石英晶体微天平传感器进行限位，并利用上盖密封圈和下盖密封圈增强气密性，并保证较好的电极接触性能，同时还能够缓解石英晶体微天平传感器的接触压力。

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置
本专利技术属于传感器测试领域，更具体地，涉及一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置。
技术介绍
随着时代的发展，尤其是物联网和5G技术的发展，高性能传感器是提供数字新基建有力保障。高性能的传感器意味着高质量源头数据。因此，开展高性能传感器的设计与制备尤为关键。其中，高性能传感器的性能测试是最重要的一环。由此，高性能传感器的测试部件设计与制造在某种程度上决定了高性能传感器的成功与否。高质量的测试部件能够真实反映出高性能传感器本身的性能，有助于研究者及时优化参数进一步提升高性能传感器的感知能力。近年来，全世界逐渐重视环境的保护，引起大量科研机构和企业投入大量的人力物力研究高质量的气敏传感器，例如，湿度传感器，二氧化氮传感器，乙醇传感器等等。其中，基于石英晶体微天平的气体传感器由于其传感性能高得到极大关注。大多数研究者基于网络分析仪或者自研设备进行传感器性能测试，得到传感器对应的性能。但这些研究基本无法做到高精度、自动测量气敏性能。比如湿度传感器，大多数研究者采用饱和盐溶液法进行切换测试湿度传感性能，密本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置，其特征在于，该微天平气体传感器包括上盖(1-1)和底座(2-3)，其中：/n所述上盖设置有进气孔(1-4)、出气孔(1-8)、反应腔(1-2)、上盖密封圈凹槽(1-6)和上盖限位凹槽(1-7)，所述进气孔(1-4)和出气孔(1-8)与所述反应腔(1-2)相连通，以将待测气体通入所述反应腔(1-2)，并在测试完成后排出；所述反应腔(1-2)的下方依次设置有上盖密封圈凹槽(1-6)和上盖限位凹槽(1-7)，所述上盖密封圈凹槽(1-6)用于放置上盖密封圈(4-1)，所述上盖限位凹槽(1-7)用于与所述底座(2-3)配合，以放置待测石英晶体微天平传感器；/n...

【技术特征摘要】
1.一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置，其特征在于，该微天平气体传感器包括上盖(1-1)和底座(2-3)，其中：
所述上盖设置有进气孔(1-4)、出气孔(1-8)、反应腔(1-2)、上盖密封圈凹槽(1-6)和上盖限位凹槽(1-7)，所述进气孔(1-4)和出气孔(1-8)与所述反应腔(1-2)相连通，以将待测气体通入所述反应腔(1-2)，并在测试完成后排出；所述反应腔(1-2)的下方依次设置有上盖密封圈凹槽(1-6)和上盖限位凹槽(1-7)，所述上盖密封圈凹槽(1-6)用于放置上盖密封圈(4-1)，所述上盖限位凹槽(1-7)用于与所述底座(2-3)配合，以放置待测石英晶体微天平传感器；
所述底座(2-3)从上至下依次设置有底座限位凹槽(2-1)、底座密封圈凹槽(2-5)和引线孔(2-2)，所述底座限位凹槽(2-1)与所述上盖限位凹槽(1-7)配合用于放置所述待测石英晶体微天平传感器；所述底座密封圈凹槽(2-5)用于放置底座密封圈(4-2)；所述引线孔(2-2)用于放置引线(8-1)，以将所述待测石英晶体微天平传感器与检测元件(8-2)连接，进行信号检测与读取。


2.如权利要求1所述的石英晶体微天平传感器的性能测试...

【专利技术属性】
技术研发人员：史铁林，林建斌，谭先华，廖广兰，罗京，孔令贤，段暕，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：湖北;42