轴承机构及应用其的制程机台制造技术

一种轴承机构及应用其的制程机台。轴承机构使用在一液体中。轴承机构包括一第一转动环、一第二转动环、数个滚动元件及一轴封元件。第一转动环用以耦接一轴心并与轴心同步转动。第二转动环设置于第一转动环的外围，用以耦接一传动元件并与传动元件同步转动。滚动元件设置于第一转动环及第二转动环之间。第一转动环及第二转动环借由这些滚动元件相对转动，并使传动元件及轴心相对转动。轴封元件紧密抵靠第二转动环的一侧面，但不抵靠第一转动环，用以避免液体经由侧面渗入第一转动环及第二转动环之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于 一种轴承机构及应用其的制程机台，且特别是有关于一 种使用于一液体内的轴承机构及应用其的制程机台
技术介绍
在工业发展过程中，大量地应用各种制程机台，使得生产效率提高并降 低人力成本。其中，部分的制程机台通过一化学液体进行预洗、澎润、水洗、 染色、延伸、固色及蚀刻等制程。请同时参照图l及图2，图1示出一种传统的制程机台900的示意图(即 X-Z平面示意图)，图2示出图1的制程机台900的另一角度的示意图(即 Y-Z平面示意图)。制程机台900包括一容置槽920、 一传动滚轮940、 一轴 心930及一轴承910。容置槽920用以容置一化学液体700，传动滚轮940 带动一待反应膜片800在化学液体700中移动，以进行各种制程.请参照图3及图4,图3示出图1的轴承910的正视图(即X-Z平面示 意图)。图4示出图2的传动滚轮940 、轴心930及轴承910的侧面剖面图。 如图3所示，轴承910具有一第一转动环911 、 一第二转动环912及数个滚 珠913，第一转动环9U及第二转动环912借由这些滚珠913而相对转动。 如图4所示，轴承910设置于传动滚轮940及轴心930之间。传动滚轮940 与第二转动环912相互卡合，轴心930与第一转动环911相互卡合。由于第 二转动环912及第一转动环911可相对转动，因此传动滚轮940即可通过轴 承910相对轴心930转动。如图l及图2所示，轴心930、传动滚轮940及轴承910均设置于容置 槽920内，并浸泡于化学液体700内。当传动滚轮940相对轴心930转动时， 即可带动待反应膜片800移动于容置槽700内，以进行各种制程。其中，轴承910为传动滚轮940顺畅运转的一关键元件。然而，设置于 化学液体700内的轴承910经常因化学液体700的侵蚀而损坏。此外，化学 液体700亦可能在轴承910内部累积结晶物或其他杂质，也会阻碍轴承910的正常运作。在上述情况下，不仅将造成待反应膜片800运转不顺畅，更可 能造成待反应膜片800发生断膜的现象。为了防范上述问题，则必须每隔一段时间(约二至三个月)更新轴承910 或清洗轴承90 。并且在发生传动滚轮940运转不顺畅时，则必须立即更新 轴承910。在实际操作上，每二至三个月更新轴承91()将造成设备成本的负 担。并且，更换或清洗轴承910的过程中，更造成制程机台卯0长时间的停 摆。再者、断膜的现象更大幅地提高产品不良率，因此，如何提供一轴承及应用其的制程机台，以解决上述种种问题实为 目前极待研发的一重要方向。
技术实现思路
有鉴在此，本专利技术的目的就是在提供一种轴承机构及应用其的制程机 台，其利用第二转动环的结构改良并搭配轴封元件的设计，以达到避免液体 渗入第 一转动环及第二转动环之间的目的，而使得轴承机构及应用其的制程 机台具延长轴承机构寿命、降低设备维护成本、降低产品不良率以及减少设 备停摆机率的优点。根据本专利技术的一个目的，提出一种轴承机构。轴承机构使用在一液体中。 轴承机构包括一第一转动环、 一第二转动环、数个滚动元件及一轴封元件。 第一转动环用以耦接一轴心并与轴心同步转动。第二转动环设置于第一转动 环的外围，用以耦接一传动元件并与传动元件同步转动。滚动元件设置于第 一转动环及第二转动环之间。第一转动环及第二转动环借由这些滚动元件相 对转动，并使传动元件及轴心相对转动。轴封元件紧密抵靠第二转动环的一 侧面，但不抵靠第一转动环，用以避免液体经由该侧面渗入第一转动环及第 二转动环之间。根据本专利技术另一目的，提出一种制程机台。制程机台包括一容置槽、鈾 心、 一传动滚轮及一轴承机构。容置槽用以容置一液体。轴心设置于容置槽 内。传动滚轮设置于容置槽内。轴承机构设置于容置槽内。轴承机构包括一 第一转动环、 一第二转动环、数个滚动元件及一轴封元件。第一转动环用以耦接轴心并与轴心同步转动。第二转动环设置于第一转动环的外围，用以耦 接传动滚轮并与传动滚轮同步转动。滚动元件设置于第一转动环及第二转动 环之间。第一转动环及第二转动环借由这些滚动元件相对转动，并使传动滚轮及轴心相对转动。轴封元件紧密抵靠第二转动环的一侧面，但不抵靠第一 转动环，用以避免液体经由此侧面渗入第一转动环及第二转动环之间。为让本专利技术的上述目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举一优选实》包例，并配合附图，作详细i兑明如下 附图说明图1示出一种传统的制程机台的示意图；图2示出图1的制程机台的另一角度的示意图；图3示出图1的轴承的正视图；图4示出图2的传动滚轮、轴心及轴承的侧面剖面图；图5示出依照本专利技术优选实施例的制程机台的示意图；图6示出图5的传动滚轮、轴心及轴承机构的放大示意图；以及图7示出图6的传动滚轮，轴心及轴承机构的剖面图。主要元件符号说明100:制程机台110: 川轴承4几构 第一转动环112:第二转动环112a:侧面112b:镜面薄膜113:滚动元件114:轴封元件114a:抵靠环114b:支撑元件U4c:弹性元件U4d:O型环H4e:垫片J14f:螺丝120:容置槽121:承载座130:轴心140:传动滚轮140a:凹口150:承载座160:防水性物质200:液体700化学液体800待反应膜片■制程机台911-第一转动环912第二转动环913滚珠910轴承920.容置槽930:轴心940:传动滚轮F:压力具体实施方式请同时参照图5及图6,图5示出依照本专利技术优选实施例的制程机台100 的示意图。图6示出图5的传动滚轮140、轴心130及轴承机构110的放大 示意图(轴承机构110的部分子元件示出于图7中)，图7示出图6的传动 滚轮140、轴心130及轴承机构110的剖面图。如图5所示，制程机台100 包括一容置槽120、 一轴心130、 一传动滚轮140及一轴承机构110。容置槽 120用以容置一液体200。轴心130、传动滚轮140及轴承机构IIO设置于容 置槽120内。如图7所示，轴承机构110包括一第一转动环111、 一第二转 动环112、数个滚动元件113及一轴封元件114。第 一转动环111用以耦接 轴心130并与轴心130同步转动。第二转动环112设置于第一转动环111的 外围，用以耦接传动滚轮140并与传动滚轮140同步转动。这些滚动元件113 设置于第一转动环111及第二转动环U2之间，在本实施例中，滾动元件113 为一滚珠。第一转动环111及第二转动环112借由这些滚动元件113相对转 动，并使传动滚轮140及轴心130相对转动。如图7所示，轴封元件114紧密抵靠第二转动环112的一侧面112a,但不抵靠第一转动环111,用以避免 液体经由侧面U2a渗入第一转动环111及第二转动环112之间。如图7所示，轴封元件114还包括一抵靠环114a、 一支撑元件114b及 一弹性元件U4c。抵靠环114a活动式套接于轴心130上，也就是说，抵靠 环114a可沿着轴心130来回移动。支撑元件114b是以一螺丝U4f'固设在轴 心130上(如图6所示)。在本实施例中，弹性元件114c为一弹簧。弹性元 件114c套接于轴心130上，并设置于4氐靠环114a及支撑元件114b之间。当 轴封元件114组装完成时，抵靠在抵靠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种轴承机构，使用在一液体中，该轴承机构至少包括：一第一转动环，用以耦接一轴心并与该轴心同步转动；一第二转动环，设置于该第一转动环的外围，用以耦接一传动元件并与该传动元件同步转动；多个滚动元件，设置于该第一转动环及该第二转动环之间，该第一转动环及该第二转动环借由该些滚动元件相对转动，并使该传动元件及该轴心相对转动；以及一轴封元件，紧密抵靠该第二转动环的一侧面，但不抵靠该第一转动环，用以避免该液体经由该侧面渗入该第一转动环及该第二转动环之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：庄建忠，
申请(专利权)人：达信科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]